Способ изготовления оптического отражающего фильтра
ОПИСАНИЕ п)447658
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 19.12.72 (21) 1863714/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет
Опубликовано 25.10.74. Бюллетень № 39
Дата опубликования описания 05.03.75 (51) М. Кл. G 02Ь 5. 28
Государственный комитет
Совета Министров СССР (53) УДК 535.345.67 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения
Ш. А, Фурман, Н. Ф, Макаров и Е. Г. Столов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ОТРАЖАЮЩЕГО
ФИЛЬТРА
Предмет изобретения
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может найти применение для изготовления отражающих фильтров, используемых в инфракрасных приборах, космической технике и т. и.
Известны способы изготовления фильтров, основанные на фотометрическом методе контроля толщин наносимых пленок и смене контрольных образцов.
Цель изобретения — увеличение крутизны спектральной характеристики.
Для этого по предлагаемому способу после нанесения каждой пары слоев металла и диэлектрика, начиная со второй, меняют контрольный образец с двухслойным покрытием, параметры слоев которого идентичны параметрам одноименных слоев первой пары, причем нанесение слоя металла прекращают после прохождения минимума отражения и достижения коэффициента отражения, равного
5 — 20%, на длине волны, расположенной в зоне меньшего отражения, а осаждение диэлектрика прерывают в момент достижения наибольшей крутизны спектральной характеристики.
Сущность предлагаемого способа заключается в следующем, Изготовляют четырехслойный фильтр и контрольные образцы, содержащие по одному слою металла с диэлектриком. Параметры образцов идентичны параметрам одноименных слоев первой пары четырехслойного фильтра (m в количестве, равном — — 2, где ьт — чпс, 2
5 ло слоев в изготовляемом фильтре. Затем наносят два последующих слоя металла и диэлектрика, для этого используют изготовленный ранее контрольный образец.
Металл напыляют до тех»ор, пока коэффи10 циент отражения, пройдя через минимум, не достигнет величины 5 — 20%, а диэлектрик— до достижения максимальной крутизны фронта спектральной характеристики. После этого операция нанесения последующих двух
15 слоев повторяется каждый раз с новым контрольным образцом до нанесения требуемого числа слоев.
Предлагаемый способ позволяет наносить чередующиеся пленки металла и диэлектрика
20 заданной оптической толщины и изготовлять отражающие фильтры с высокой крутизной спектральной характеристики.
Способ изготовления оптического отражающего фильтра, заключающийся в нанесении чередующихся слоев металла и диэлектрика, с фотоэлектрическим контролем толЗО щпн слоев « последовательной сменой конт4476:58
Составитель В, Вайторин
Техред В, Рыбакова Корректор Т. Добровольская
Редактор Т. Иванова
Заказ 433/5 Изд, Мз 3I4 Тираж 555 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
3 рольных образцов, отличающийся тем, что, с целью увеличения крутизны спектральной характеристики, после нанесения каждой пары слоев металла и диэлектрика, начиная со второй, меняют контрольный образец с двухслойным покрытием, параметры слоев которого идентичны параметрам одноименных слоев первой пары, причем нанесение слоя металла прекращают после прохождения минимума отражения и достижения коэффициента отражения, равного 5—
20%, на длине волны, расположенной в зо5 не меньшего отражения, а осаждение диэлектрика прерывают в момент достижения наибольшей крутизны спектральной характеристики.
