Растовый электронный микроскоп

 

(и) 456325

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Соктз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 25.01.73 (21) 1876892/26-25 с присоединением заявки М (32) Приоритет

Опубликовано 05.01.75. Бюллетень М 1

Дата опубликования описания 25.02.75 (51) М. Кл, Н Olj 37/26

Государственный комитет oeera Министров СССР по делам изобретений и OTKpblTHil (53) УДК 621 385 833 (088,8) (72) Авторы изобретения

К. А. Макаров и Л. Ф. Вяль (71) Заявитель (54) РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

Изобретение относится к электронно-оптическим приборам и может быть использовано в растровых электронных микроскопах.

Известны растровые электронные микроскопы, в которых сканирование электронного зонда по объекту и отклонение электронного луча в кинескопе видеоконтрольного устройства производят по схеме построчной пли чересстрочной развертки. Недостатком известного микроскопа является нечеткость изображения в направлении луча,по строке.

Цель изобретения — повышение четкости изображения на кинескопе видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа.

Поставленная цель достигается благодаря тому, что между генераторами пилообразного напряжения вертикальной и горизонтальной разверток и отклоняющими системами, размещенными в колонне микроскопа и видеоконтрольном устройстве, установлен коммутатор, с помощью которого синхронно переключают токи разверток в отклоняющих системах для получения пзотропного растра.

На чертеже показана блок-схема предложен ого растрового электронного микроскопа.

Микроскоп состоит из колонны 1 и видеоконтрольного устройства. В вакуумно-герметичной колонне размещены электронная пушка 2 и фокусирующая линза 3, составляющие осветитель, отклоняющая система 4, служащая для сканирования электронного зонда 5 по объекту 6, и детектор 7, воспринимающий полезный сигнал с объекта, которьш подается затем на вход усилителя 8.

Впдеоконтрольное устройство содержит блок 9 генераторов кадровой и строчной разверток, электроннолучевую трубку, например

10 кинескоп 10, с фокусирующей и отклоняющей системой 11 и коммутатор 12, выполненный, например, на трпггерных каскадах.

Электроны, полученные и ускоренные в электронной пушке 2 и сфокуспрованные лин15 зой 3 на электронный зонд 5, проходят через область дейстьпя отклоняющей системы 4 и попадают на исследуемый объект 6. Две пары идентичных отклоняющих катушек, к которым подают пилообразное напряжение частоты

20 кадров и строк от блока генераторов разверток 9, отклоняют зонд 5 таким образом, что электроны зонда бомбардируют последовательно различные участки поверхности объекта 6. образуя на ней линейчатый растр. От25 клоняющая система 11 кинескопа (две пары идентичных отклоняющих катушек) отклоняет электронный луч синхронно с отклонением зонда в колонне микроскопа, в результате чего на экране кинескопа,получают также

30 линейчатый растр.

456325

Составитель Г. Жукова

Техред Г. Васильева

Редактор T. Орловская

Корректор Н. Учакииа

Заказ 381/10 Изд. М 286 Тирагк 833 Подписное

ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

При взаимодействии электронов зонда с материалом объекта образуются частицы (вторичные, отраженные, поглощенные электроны) или излучение (например, рентгеновские лучи), которые используют для формирования с помощью детектора 7 полезного электрического сигнала, несущего информацию оо объекте. Полезный сигнал усиливают в усилителе 8 и подают на модулятор кинескопа

10. На экране кинескопа 10 получают модулированное по яркости изображение объекта 6, на котором проявляется строчная структура растра. Следовательно, формирование изображения объекта в течение одного кадра,происходит обычным образом.

Во время обратного хода луча между последовательными кадрами переключают с помощью коммутатора 12 напряжение разверток в отклоняющих системах колонны 1 и кинескопа 11 так, что в течение следующего кадра зонд 5 образует на поверхности объекта 6 линейчатый растр со строчной структурой, повернутой на 90 относительно строчной структуры в предыдущем кадре. На экране кинескопа 10 синхронно происходит поворот лпнейчатого растра также на 90 . В результате сформированное изображение объекта 6 на экране кинескопа 10 имеет точечную структуру (с цикличностью, например, в два кадра) и одинаковую четкость по вертикали и

5 горизонтали, причем общая четкость по сравнению с четкостью изображения со строчной структурой увеличивается.

Для,повышения четкости изображения в предложенном устройстве можно при данном

10 разрешении прибора и поле зрения на объект ограничить полосу частот, необходимую для передачи сигнала по видеоканалу, благодаря чему увеличивается контрастность изображения объекта.

Предмет изобретения

Растровый электронный микроскоп, содержащий колонну, видеоконтрольное устройство, генераторы тока вертикальной и горизон20 тальной разверток, отклоняющие системы, размещенные в колонне микроскопа и видеоконтрольном устройстве, отличающийся тем, что, с целью повышения четкости изображения, между генераторами тока разверток и

25 отклоняющими системами установлен коммутатор.