Устройство для термообработки фоторезиста на изделиях

 

1ц 457!97

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских.Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 19.01.73 (21) 1879893/26-9 (51) М. Кл. Н 051< 13!06 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.01.75. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 21.02.75

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.3.048.75 (088.8),по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

И. Д. Голото, В. А. Перемыщев и В. П. Лаврищев (71) Заявитель

Ф."- :: .".: -- -, i (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМООБРАБОТКИ ФОТОРЕЗИСТОРА

НА ИЗДЕЛИЯХ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области радиоэлектроники и приборостроения.

Известны устройства для термообработки фоторезиста на изделиях, содержащие камеру обработки с нагревателем, охлаждаемые камеры загрузки и выгрузки изделий и механизм транспортировки изделий.

Недостатком известных устройств является низкое качество обработки фоторезиста.

С целью повышения качества термообработки фоторезиста в предлагаемом устройстве камера обработки выполнена в виде ванны, заполненной жидкостью, препятствующей удалению растворителей из фоторезиста, и расположенной над ней крышки, делящей ванну на зоны нагрева и охлаждения изделий, причем в зоне нагрева смонтирован конденсатор паров жидкости.

На чертеже дано предлагаемое устройство.

Устройство состоит из камеры обработки 1, выполненной в виде ванны, крышка 2 которой охлаждается с помощью водяного змеевика 3, приваренного к ней. Камера имеет зону нагрева 4, и две охлаждаемые зоны 5, отделенные от них створками 6, открывающимися при прохождении через них кассет 7 с обрабатываемыми изделиями 8. Рабочая жидкость нагревается нагревателем 9, смонтированным под зоной нагрева 4. Охлаждение зон 5 достигается водяным змеевиком 3.

Конденсатор паров жидкости, испаряющейся при нагреве в зоне 4, устанавливается непосредственно над ванной и представляет собой охлаждаемые щели 10, образуемые крышкой 2 и охлаждаемыми камерами 11, защищенными теплоизолирующими обкладками 12 со стороны зоны нагрева 4. Наклон этих щелей в стороны зон охлаждения 5 обеспечивает возвращение конденсата в них. Изделия 8

10 подаются в камеру обработки 1 и извлекаются оттуда лентой конвейера 13 через люки 14 и

15 загрузки и выгрузки соответственно, также охлаждаемые водяным змеевиком 3, установленным на их стенках.

Устройство для термообработки фоторезиста на изделиях, содержащее камеру обработ20 ки с нагревателем, охлаждаемые камеры загрузки и выгрузки изделий и механизм транспортировки изделий, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества термообработки фоторезиста, камера обработки выпол25 иена в виде ванны, заполненной жидкостью, препятствующей удалению растворителей из фоторезиста, и расположенной над ней крышки, делящей ванну на зоны нагрева и охлаждения изделий, причем в зоне нагрева смонти30 рован конденсатор паров жидкости.

457197

77

Составитель И. Блинкоеа

Техред Г. Дворина

Корректор T. Добровольская,-едактор Т. Янова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ ЗОЭ 19 Изд. ¹ 1005 Тира>к 867 Подписное

UI4ÈÈÏÈ Государственного комитета Соьета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, %-35, Раушская наб., д. 4, 5