Состав для полирования

Авторы патента:

НОВОЖИЛОВ НИКОЛАЙ ОСИПОВИЧ

БЫКОВ ВЛАДИМИР АКИМОВИЧ

ЦЕПАЛОВ ВИКТОР СЕМЕОЕНОВИЧ

C09G1/02 - содержащие абразивные или измельчающие агенты

Дол м@т, 1 о и и-а-а" й:мв

ИЗОБРЕТЕНИЯ п 4577l2

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (51) М, Кл. С 09Q 1/02 (22) Заявлено 06.04.73 (21) 1904519/25-8 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.01.75. Бюллетень № 3

Дата опубликования описания 11.03.75

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.922.079 (088.8) ло долам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Н. О. Новожилов, В. А. Быков и В. С. Цепалов (71) Заявитель (54) СОСТАВ ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ ном. После этого в трехкомпонентную систему добавляют 250 г аэросила при интенсивном перемешивании.

Полирующий состав можно применять для

5 полирования пластин кремния, имеющего различный класс предварительной обработки, разную геометрическую форму, кристаллографическую ориентацию и любую степень легирования.

Состав для полирования полупроводнико15 вых материалов, содержащий аминосоединения, аэросил и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса полирования, в него введен пирокатехин и компоненты взяты в следующем соот20 ношении, вес. %:

Этилендиамин 26,7 вЂ” 64

Аэросил 16 вЂ” 33

Пир окатехин 5 вЂ” 7

Вода Остальное.

Изобретение относится к обработке полупроводниковых материалов.

Известен состав для полирования полупроводниковых материалов, включающий аморфную двуокись кремния (аэросил), аминосоединения (этилендиамин), глицерин, перекись водорода и воду.

Цель изобретения вЂ” повысить производительность полирования.

Это достигается тем, что в состав введен пирокатехин и компоненты взяты в следующем соотношении, вес, :

Этилендиамин 26,7 вЂ” 64

Аэросил 16 вЂ” 33

Пирокатехин 5 вЂ” 7

Вода Остальное.

Приводится оптимальный вариант технологии приготовления полировального состава.

5 г пирокатехина смешивают с 200 мл 50 или

70% водного раствора этилендиамина и равномерно перемешивают. Затем в деионизованную воду (300 мл) порциями при перемешивании приливают этилендиамин с пирокатехиПредмет изобретения

Похожие патенты:

Абразивная суспензия // 456822

Абразивная паста // 455137

Алмазная суспензия // 454241

Способ получения абразивного материала // 443841

Алмазно-абразивная паста // 441274

Паста для полировки, доводки и притирки металлических поверхностей // 436073

Патент 416372 // 416372

Патент 411115 // 411115

Паста для полирования и шлифования // 400610

Притирочная паста // 397532

Абразивная суспензия // 2102543

Экологически чистый абразивный микропорошок для полирования на основе оксидов алюминия и 3d-металла и способ его получения // 2109026

Изобретение относится к абразивным микропорошкам с размером кристаллов от 0,2 до 2 мкм на основе оксидов алюминия и 3d-металла, в частности, хрома, железа, титана, ванадия и др., используемых для полирования и окончательной доводки поверхности высокоточных изделий из металла, стекла и камня с целью придания им минимальной шероховатости поверхности и достижения высших классов точности размеров и геометрических форм

Полировальная паста // 2110546

Изобретение относится к области машиностроения, более конкретно, к механической обработке поверхностей пластмассовых изделий и может быть использовано как при декоративной полировке эластичным полировальником, так и доводочно-притирочной обработке жестким притиром полимерных материалов и полимерных покрытий, в частности, светлоокрашенных реактопластов при производстве стеклопластиковых корпусов катеров

Паста для полирования металлов и сплавов // 2112000

Изобретение относится к тонкой абразивной обработке металлических поверхностей в процессах доводки, притирки и полировки изделий из черных и цветных металлов и сплавов и позволяет утилизировать шламовые отходы гальванического производства

Способ удаления царапин и других дефектов с пластиковых поверхностей и композиция для его осуществления // 2113965

Изобретение относится к полировочным композициям и способам удаления царапин и других дефектов с разнообразных пластиковых поверхностей с целью улучшения их прозрачности и оптического качества

Абразивная паста // 2134707

Изобретение относится к абразивной обработке металлов для получения высокой чистоты поверхности и может быть использовано в подшипниковой промышленности

Состав для доводки стальных шариков // 2161173

Изобретение относится к составам жидких абразивных паст и может быть использовано в машиностроении в процессах полирования и доводки поверхности металлических деталей, преимущественно при доводке стальных закаленных шариков для шарикоподшипников

Доводочно-притирочная паста // 2167902

Изобретение относится к технике обработки металлов, обеспечивающей получение заданного класса шероховатости и притирки поверхностей, и может найти преимущественное применение в обработке клапанных механизмов, а именно при доводке и притирке седла клапана и самого клапана

Суперфинишная алмазная полировальная паста // 2174138

Изобретение относится к области изготовления паст для суперфинишной доводки поверхности металлов, сплавов и неметаллических материалов

Состав для полирования оптических поверхностей // 2181132