Электростатическое реле

 

О П И С А Н И Е (11) 462228

ИЗОБРЕТЕНИЯ

K ABTO"":ÑÊÎÌÓ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетскнх

Соцналнстнческнк

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 05.03.73 (21) 1890302/24-7 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 28.02.75. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 23.06.75 (51) М. Кл. Н 01h 59/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.318.51 (088.8) по делам изобретений н открытнй (72) Авторы изобретения

А. И. Рогалев, А. С. Китаева, А. Г. Кирилюк, Л. А. Мочальникова и А. М. Нудельман (71) Заявитель

Br) T E.

ЮМ Ибб:Г1бй (54) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ РЕЛ

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для построения коммутирующих цепей в вычислительной технике, автоматике, телефонии и т. д.

Известны электростатические реле с электрически не связанными входными и выходными цепями, т. е. с изолированными контактами, содержащее подвижную пластину, выполненную в виде гибкой мембраны, на средней части которой сверху расположена выступающая за ее края и электрически изолированная от нее контактная пластина, и неподвижную тянущую пластину, расположенную под мембраной по всей ее длине, по обеим сторонам которой симметрично размещены два контакта.

С целью повышения надежности срабатывания и упрощения технологии изготовления на внутренней части мембраны предложенного реле, находящейся напротив неподвижного главного контакта, расположен подвижный главный контакт, изолированный от мембраны слоем диэлектрика и соединенный с выводом главной цепи гибким проводящим элементом.

Предложенное реле схематически изображено на чертеже.

Реле состоит из мембраны 1, подложки 2 из изолирующего материала, неподвижного контакта 3, диэлектрика 4, контактной пластины 5, управляющих электродов 6, диэлектрика 7.

Мембрана 1 с натяжением укреплена обоими концами на подложке 2 из изолирующего

5 материала. На средней части мембраны, обращенной к неподвижному контакту 3, расположен слой диэлектрика 4, на котором закреплена контактная пластина 5, соединенная пленочной перемычкой (не показана) с

I0 контактной площадкой на подложке 2.

При разности потенциалов между мембраной 1 и неподвижными управляющими электродами 6 мембрана 1 притягивается к пластине и главные контакты 3 и 5 замыкаются.

15 Технология изготовления предложенной конструкции реле основана на известном способе получения многослойных тонкопленочных структур. Способ заключается в последовательном нанесении в вакууме на изо20 ляционную подложку материалов электродов и изолятора (структуры) и получении тонких свободных пленок (мембраны) . Соединение структуры и мембраны осуществляется путем взаимной диффузии материалов при нагреве

25 в вакууме, причем при любых сочетаниях толщин электродов и диэлектриков необходимо сохранять зазор между мембраной и управляющим электродом, а также зазор между главными контактами. В противном случае

30 возможно свар ив ание главных контактов, 462228

Составитель Ю. Макарычев

Корректор Л. Денисова

Техред М. Семенов

Редактор В. Левятов

Заказ 1398/1 Изд. № 1336 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 увеличение напряжения замыкания, уменьшение сил размыкания контактов и контактного давления.

Для сохранения постоянства этих зазоров в предложенной конструкции реле изолирующая подложка имеет углубление, в котором размещен неподвижный контакт, причем величина углубления. выбрана равной общей толщине контактной пластины и изолирующего слоя.

В качестве материала изолирующего слоя используется двуокись кремния (толщина

0,5 мкм) как материал, обладающий высокой электропрочностью, механической прочностью, устойчивостью к окружающей среде, хорошими диэлектрическими свойствами.

Предмет изобретения

Электростатическое реле, содержащее подвижную пластину, выполненную в виде гибкой мембраны, неподвижную управляющую пластину, неподвижный главный контакт и подвижный главный контакт, электрически не связанный с мембраной, отличающее5 ся тем, что, с целью повышения надежности срабатывания, улучшения ключевых свойств и упрощения технологии изготовления, на внутренней части мембраны, находящейся напротив неподвижного главного контакта, 10 расположен подвижный главный контакг, изолированный от мембраны слоем диэлектрика, например двуокиси кремния, и соединенный с выводом главной цепи гибким проводящим элементом, а изолирующая под15 ложка имеет углубление, в котором размещен неподвижный главный контакт, причем величина углубления равна общей толщине изолирующего мембрану слоя диэлектрика и подвижного главного контакта.