Устройство для вытягивания монокристаллов из расплава
О П И (.— А--Н-И- .
ИЗОБРЕТЕН Ия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ гггi 47689I
Союз Советских
Социалистических
Реслублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 20.03.74 (21) 2006027/23-26 с присоединением заявки М (23) Приоритет
Опубликовано 15.07.75. Бюллетень М 26
Дата опубликования описания 10.10.75 (51) М. Кл. В 011 17/18
Государственный комитет
Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 669.046-172:
:621.315.592 (088.8) (72) Авторы изобретения А. И. Кириченко, А. Н. Кондратьев, В. Д. Мартынко, П. В. Мусиенко, Ю. Г. Пухов и Е. Ф. Скупский (71) Заявитель
Завод чистых металлов им. 50-летия СССР (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫТЯГИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ
ИЗ РАСПЛАВА зобретения
Предмет и
1. Устройство для сталлов из расплава с ней части кварцевым полость монолитной
30 повторяющей форму вытягивания монокрицилиндрическим в верх тиглем, помещенным в графитовой подставки, тигля, отличающееИзобретение относится к металлургии полупроводников и может быть использовано преимущественно при получении монокристаллов веществ с температурой плавления, превышающей температуру размягчения кварца, например кремния, фосфида галлия.
В известных устройствах для вытягивания монокристаллов из расплава применяют монолитные, разрезные и разборные, состоящие из нескольких деталей графитовые подставки под кварцевый тигель. Срок службы разрезных и разборных подставок больше, так как возникающие в процессе охлаждения тигля с остатком материала напряжения устраняются за счет смещения деталей или разделенных прорезями частей подставки относительно друг друга. Однако такие подставки сложнее изготовить, чем монолитные, а в местах зазоров, разделяющих деталь, возникают локальные изменения температурного поля, отрицательно влияющие на свойства получаемых монокристаллов.
Для предотвращения разрушения монолитной подставки ее выполняют с отверстием в дне, через которое подают при охлаждении струю газа, приподнимающую тигель.
Отличием предложенного устройства является выполнение тигля и подставки с коническим сужением к плоскому днищу при отношении внутреннего диаметра цилиндрической части подставки к диаметру днища 1,5 — 1,8, отношении высоты полости подставки к высоте ее цилиндрической части 2,5 — 2,8 и толщине стенок цилиндрической части подставки, равной, например, 0,05 — 0,065 ее внутреннего диаметра. Это дает возможность предотвратить разрушение подставки вследствие того, что при охлаждении возникает выталкивающая сила, приподнимающая тигель над дном
10 подставки.
На чертеже показано описываемое устройство.
Кварцевый тигель 1 и графитовая подставка 2, повторяющая форму тигля, выполнены
15 цилиндрическими в верхней части с коническим сужением к плоскому днищу. Отношение внутреннего диаметра D цилиндрической части подставки к диаметру d днища 1,5—
1,8, отношение высоты Н полости подставки к
20 высоте !г ее цилиндрической части 2,5 — 2,8, а толщина пг стенок цилиндрической части подставки 0,05 — 0,065D.
476891
Составитель T. Фирсова
Редактор Н. Корченко Техред Е. Подурушина Корректоры: Е Рожкова и И. Поздняковская
Заказ 2491/5 Изд. № 1615 Тираж 782 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр Сапунова, Z ся тем, что, с целью предотвращения разрушения подставки в процессе оклаждеиия, тигель и подставка выполнены с кони 1еским сужением к плоскому д при отношении внутреннего диаметра цилиндрической части подстагки к диаметру днища 1,5 — 1,8 и отношеции высоты полости подставки к высоте ес цилиндрической части 2,5 — 2,8.
2. Устройство по и. 1, отл и ч а ющеес я тем, что подставка выполнена с толщиной
5 стспок цилиндрической части, равной 0,05—
0,065 ес в утреш1его диаметра.
