Способ обработки шлифованных керамических изделий
О П И С А Н И Е (ii) 48338l
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.08.72 (21) 1825908/29-33 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 05.09.75. Бюллетень № 33
Дата опубликования описания 18.12.75 (51) М. Кл. С 04Ь 41/00
Государственный комитет
Совета Министров СССР по долам изобретений и открытий (53) УДК 666.763(088.8) (72) Авторы изобретения
В. А. Иванов и Л. И. Щелкунов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ШЛИФОВАННЫХ
КЕРАМИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ
Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству керамических подложек для микроэлектронных устройств.
Существующий в настоящее время способ обработки шлифованных керамических деталей заключается в последовательной обработке мелкими абразивами (с величиной зерен от
5 до 0,25 мкм). В качестве обрабатывающих материалов используются свободные (в виде порошков или паст) и связанные абразивы: алмазы, окись хрома, окись алюминия и другие твердые кристаллические материалы.
Целью изобретения является улучшение физического состояния поверхности керамики, в частности уменьшение ее пористости и диаметра пор для обеспечения возможности получения качественных тонкопленочных структур электронных устройств.
При обработке форстеритовой керамики в качестве гидрозоля используют окись кремния о с размером частиц не более 800 А.
Предлагаемый способ может быть осуществлен следующим образом. Шлифованные известным методом керамические детали подвергают пропитке и полированию золем окиси кремния со значением рН 12 — 14. Щелочная среда создается добавлением в золь силиката
1целочного металла, например натрия, или органпчсских соединений, содержащих аминогруппу, например этнлендиамина, Этот процесс производится на шлифовальном станке, например В1М3105000, оснащенном мягким
5 полировальником, например сатином, натянутым на стекло. При этом обрабатываемые детали крепятся па плоскую шлпфовалы1у 10 головку.
Пропитанные детали обхкигаются в муфель10 ной печи при температуре ниже температуры оплавления пропитывающих частиц, т. е. порядка 400 — 600 С.
После обжига детали крепятся на шлифовальные головки (желательно в том же по15 рядке) и производится окончательная доводка с применением полирующего состава на основе золя окиси кремния с добавлением органических соединений, содержащих ам1шогруппу до значения рН вЂ” 12. При этом полирование
20 поверхности производится па глубину не более 1 мкм.
Проведенный анализ поверхности пропитанп1>1х деталей из форстеритовой керамики показал, что диаметр пор уменьшается с 18 —
25 22 мкм до 13 — 15 мкм, пористость поверхности уменьшается с 4,7 — 5,8% до 2,4 — 3,1%.
Предмет изобретения
1. Способ обработки шлифованных ксрами30 ческих изделий, включающий операции про483381
Составитель О. Николаева
Тскрс < Л. Казачкова
Редактор И. Квачадзе
Корректоры: В. Петрова и О. Даиишева
Заказ 3013,13 Изд. № 990 Тираж б48 Подписное
ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Мшшстров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, )К-35, Раушская ваб., д, 4/5
Тппогра (п.и, нр. Сапунова, 2 питки гидрозолем, полирования, о т л и ч а ющн и ся тем, что, с целью уменьшения пористости, изделия после пропитки подвергают обжигу, а полирование осуществляют материалом гидрозоля.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что при обработке форстеритовой керамики ь качестве гидрозоля сиспользуют окись кремния.
3. Способ по п. 2, о тл ич а ю щи и с я тем, 5 что обжиг изделий осуществляют при
400 †6 С.
