Способ металлизации

 

ОП ИСАНИНА

ИЗОБРЕТЕНИЯ!

111 482426

Союз Советскик

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 13.08.73 (21) 1954907/29-33 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.08.75. Бюллетень № 32

Дата опубликования описания 02.12.75 (51) М. Кл. С 04Ь 41/14

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретеиий и открытий (53) УДК 666.3.056.5 (088.8) (72) Лвторы изобретения

Л. Н. Ярмолинская и Т. Н, Лызлова (71) Заявитель (54) СПОСОБ МЕТАЛЛИЗАЦИИ

Изобретение относится к обработке керамических изделий, в частности, к способу металлизации поверхности тонкостенных деталей из высо ко алюмооксидных материалов, который может быть использован при изготовлении различных даталей, например, в электронной промышленности.

Известен способ металлизацпи IIQBppxiiocT!i топкосте111lых детале!! из Высо хоалlомооксидных диэлектриков, вкл1очающпй обработку раствором солей тугоплавких металлов, термообработку и охла>кдение деталей.

В процессе термообработки, которую проводят при сравнительно высокой температуре (порядка 1350 С), большое количество тонкостенных деталей деформируется. Кроме того, металлизационное покрытие не обладает достаточной прочностью сцепления с материалом детали.

Металлизированные известным способом и спаянные друг с другом медным припоем через коваровую прокладку керамические детали имеют механическую прочность не выше

1000 — 1100 кг см .

Целью изобретения является повышение прочности сцепления металлизации с диэлектриком и исключение деформации изделий.

Это достигается тем, что термообработку осуществляют при 680 — 720 С в течение 50—

80 мин, затем температуру повышают до 820—

900 С, деталь охлаждают, после чего наносят слой на основе порошков тугоплавких метал70В и термообработку ведут в восстановительной среде при 600 — 800 С в течение 15—

5 80 мин с последующим повышением температуры до 1100 — 1200 С, выдержкой в течение

15 — 60 мин и охлаждением.

В процессе металлизации деталей таким способом при оплавлении соли тугоплавкого

IO металла удаляют легколетучне компоненты соли. На поверхности керамической детали образуется плотное покрытие, состоящее в основном из окисла туго плавкого металла.

Расплавленный окисел энергично реагирует с !

5 керамической подложкой с образованием химического соединения, что обеспечивает прочное соединение металлизационного покрытия с материалом детали.

Режим обработки подобран таким образом, 2о чтобы на оплавленной поверхности не было дендритов или отдельных кристаллов окислов тугоплавкпх металлов.

На оплавленный слой окислов металлов наносят слой на основе порошков тугоплавких

25 металлов.

В процессе последующей термообработки детали при 600 — 800 С в восстановительной атмосфере в течение 15 — 80 мин происходит частичное восстановление окислов металлов первого металлизационного слоя до более

482426

Предмет изобретения

Составитель 3. Хоменко

Редактор Т. Пилипенко

Техред 3. Тараненко.

Корректор О Тюрина

Заказ 2948712 Изд. Мз 1769 Тираж 648 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 низких степеней окисления (но не до металла) с частичным окислением металлов второго металлизационного слоя. Дальнейший подъем температуры до 1100 — 1250 С с выдержкой в течение 15 — 60 мин обеспечивает плотное спекание металлизационного покрытия.

Пример. Втулки из высокоалюмооксидной керамики диаметром 13 мм и высотой 50 мм обрабатывают горячим раствором (70 С) молибдата аммония. Детали нагревают до 700 С, выдерживают при этой температуре в течение

70 мин, затем температуру повышают до

800 С, после чего детали охлаждают. На охлажденную деталь наносят слой пасты, содержащей молибден и марганец в соотношении 80: 20 соответственно. Нагревают детали до 750 С, выдерживают при этой температуре 50 мин, температуру повышают до 1150 С и выдерживают при ней 50 мин, а затем охлаждают. В процессе металлизации детали не деформируются. Металлизированные втулки спаивают попарно медным припоем через коваровую прокладку толщиной 0,5 мм.

Механическая прочность полученных узлов составляет 1600 — 1800 кг/см .

Способ металлизации поверхности тонкостенных деталей из высокоалюмооксидных ди10 электриков, включающий обработку раствором солей тугоплавких металлов, термообработку и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью повышения прочности сцепления металлизации и исключения деформации де15 талей, термообработку осуществляют при

680 — 720 С в течение 50 — 80 мин, затем температуру повышают до 820 — 900 С и охлаждают, после чего наносят слой на основе порошков тугоплавких металлов и термообра20 ботку ведут в восстановительной среде при

600 — 800 С в течение 15 — 80 мин с последующим повышением температуры де 1100—

1200 С, выдержкой в течение 15 — 60 мин и охлаждением.