Способ получения светочувствительных производных ароматических диазохинонов

 

О П И C А Н И Е >483647

ИЗО БР ETE Н И ЯСоюз Советскик

Социалистических

Республик Ъ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 23.01.74 (21) 1989379/23-4 (51) М. Кл. 6 03f 7,/08 с присоединением заявки ¹â€”

Государствекнык комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений н открытий (23) ПIзпорптет—

Опубликовано 05.09.75. Бюллетень № 33

Дата опубликозанпя оппса нгя 26.08.70! 53) УДК 777.111.1 (088.8) (72) Авторы изобрстенп"»

В. Г. Никольский, 1О. И, Кольцов, В. И. 1Окина, Г. В. Титова и Д. Д. Мозжухин (71) Зая:3п.сль (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ

СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ПРОИЗВОДНЫХ

АРОМАТИЧЕСКИХ ДИАЗОХИНОНОВ,- Р,.— « 0 I-I;

К-, к — О хн

Изобретен Ic ясяется способа !!0 ly !e!3 la светочувствительных матерна IOB — ком Io!!å!Iтов позитивных фоторезистов, применяемых з микроэлектронной и радиоэлектронной промышленности.

Известен способ получения сзеточувствительпых производных ароматических z»330iIIнонов конденсацией сульфохлорида ароматического диазохинона с ароматическим ди330соединснием. содержавшим подвижный атом водорода.

Одзнако синтезироватшые,изгсст ым способом производные ароматических диазохинонов B большинстве случаев язляются смесь30 различных изомеров, что приводит к получению фоторезиста с низкой разрешающей способностью (более 500 — 800 лип/я,тт) при высокой дефектности слоя (10 — 20 деф/с.я — ).

Для получения фоторсзиста с зысокой разрсшгющей способностью надо использовать топкие слои. Но при повышенной пористости слоев применение полученных произзо;,Hblx ограничено.

Кроме того, исходныс реагенты часто пе являются индивидуальными веществами, что приводит к еще большему ухудшеншо контраста.

Цель изобретения — получение продукта, обеспечивающего высокую разрешающу30 способность фоторезиста при малой дефектпости — достигастся п)опмспсн нем:3 ка 1 ствс ароматического сосд:гпснпя с подвижным атомом BOдоро 13 оргаппчсског0 ямппа об:цсй формулы RIZRz.

5;где пр:»I Z — «)H;

R I—— R при Z — СО С(СНз). I;lll О

- т з — «-Нз, х)О плп ОН.

Кондсисяцию провод IT:Ið I 40 — 60 С в среде диоксапя !3 I p!I 03 TcTI3>! II 1 0 "о -! Io: 0 бытка углекислого:I3òðIIÿ. Целевой пзодукт

| содержит гру!Ilib1 — 311 — и — — \, что; оззоля20 ет увеличить ядгсзгпо фотома герпяла к металлическим и ок:IC! II Iil IO,ложкам:I обеспечить получение индивидуальных свето у!3cтВительных пр0 ц КТоВ прп Ilo.!нох!:33мсщсн;!и

25 ато IOB водорода в оксп- и ямппогруппах II3 светочувствительный сульфоэфпрпый остаток с высоким выходом. Получаемые сульфоямиды перастворимы в ялпфатпческ!Ix сп Зртях, ПO;IHOCTBIO РЯСТВО)МЗМЬ1 В 3ЦСTO!IC,:!TO ПОЗВОзо ляет провести дополнительную очистку сичте483647 свсточувстзительного сульфознрованпого ат«. ндa.

С оста в и тел ь П. А браменко

Редактор Т. Шарганова Техред Л, Казачкова 1(орректор И. Симкина

Заказ 716/907 Изд, № 61 Тираж 529 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-З5, Раушская каб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Пример. В тpexlopлую колбу. снабженную обратным холодильником, ка цельно;"; —.оронкой и мешалкой, загружают 0,05 г-I!аль

4,4 -лиоксидифснпламппа, 0,16 г-,ноль 1,2-: ас токи нондпазил- (2) -5 — сульфохлор яда и 7 глоль диоксана, перемешивают 1 час гари 50 С, в те loHIIQ 1 час г рнбавляют по,каплям 300

10 "II-ного раствора углекислого натрия ло слабощело I!loll реакции, выливают смесь .", 5 л

3 /в -ной соляной ки;лоты, отфильтровь;зают осадок, промывают сто:цгстиллпрова:шой золой до нейтральной реакции:Io унизерсальноM) .I .lëIIê3Toðó, затем 500 нл этилового спирта .и сушат прп комнатной температуре. Выход

34,0 г (75 /), т. пл. 120 — 122 С. Полученный продукт применяют в качестве сзеточувств:.;гельного компонента позитивных фоторезис.ов, показавших IlplH фотолитографических испытаниях разрсшаюгцую способность более

1090 аВ M II II pl I 1сфект ности 0.5 — 5 дгсз/ "1!

ПрCä:o!Åт ПЗОбрЕTÅÍИя

Способ получения светочувствительных производных ароматических диазохинонов конпенсацией сульфохлорида ароматическо-.о диазохинопа с ароматическим диазосоедипением " подвижным атомом водорода, отл ич а ю шийся тем, что, с целью получения продукта, обеспечивающего высокую разрешающую способность фоторезиста при 1алой дефектности, в качестве ароматического соединения с подвижным атомом Boiloðoëà используют органический амин общей формуль Fq!ZPg, ! де

;при Z — Я- l;

1т = f при Z — СО, С(СНз) илн О;

Л.— С г1з, ИО илп OH.