Способ изготовления окисносвинцовых слоев

 

СПИ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

1111 493836 боюа 4оветскик

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 11.03.74 (21) 2005753/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.11.75. Бюллетень № 44

Дата опубликования описания 24.02.76 (51) М. Кл. Н Olj 29/10

Гасударственные комитет

Совета Министров ОКР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.832 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. В. Антонова-Афанасьева, М. А. Калантаров, П. В. Ковтуненко, В. А. Козлов, Э. В. Ловицкая, И, Л. Нестерова, Ю. В. Наумов, Ю. Ф. Орлов, Д. А, Саксеев, P. М. Степанов и О. А. Тимофеев (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОКИСНОСВИНЦОВЫХ СЛОЕВ

Изобретение относится к производству мишеней передающих телевизионных трубок типа видикон, используемых в вещательном и промышленном телевидении.

Процесс изготовления мишени состоит в том, что термическим испарением PbO наносится на стеклянную планшайбу, имеющую прозрачный электрод. После напыления слой

PbO подвергается различного рода обработкам, в частности обработке сероводородом, после которой мишень приобретаег чувствительность в длинноволновой области спектра.

В производстве используется окись свинца, в которой нормируется только содержание примесей посторонних элементов. Содержание избыточного свинца и органических примесей не нормируется. Кроме того, при взаимодействии PbO с углекислотой и влагой, содержащимися в воздухе, образуются гидрокарбонаты. При испарении PbO избыточный свинец, содержащийся в исходном материале, а также возникающий в результате разложения гидрокарбонатов и выгорания органических примесей при вакуумном испарении Pbo, переносится в конденсат, приводя к неконтролируемому отклонению состава конденсата от стехиометрии и, как следствие, к произвольному значению дырок и электронов, что приводит, в частности, к низкому сопротивлению слоев.

Вследствие этого видиконы с мишенью из окиси свинца имеют малую чувствительность, большие темновые токи, плохие характеристики хранения информации при работе в режи5 ме «памяти», большую невоспроизводимость по свойствам.

Цель изобретения — улучшение качества слоев путем управления содержанием избыточного свинца в слое, определяющем кон10 центрацию носителей тока и тип проводимости.

По предлагаемому способу это достигается тем, что исходное вещество для изготовления слоев окиси свинца методом термического ис15 парения подвергают в определенной последовательности двум термообработкам при температуре 300 — 880 С, причем первую проводят в атмосфере кислорода при давлении 10 — 2—

760 мм рт. ст., а вторую — в вакууме при дав20 лении ниже 2 10 — мм рт. ст.

Первая термообработка проводится перед испарением в атмосфере кислорода при давлении 10 — — 760 мм рт. ст. при температуре

25 300 — 880 С. Необходимость этой термообработки вызвана интенсивной сорбцией окисью свинца влаги, углекислого газа и органических примесей из воздуха при хранении и работе с веществом из ранее отработанной пар30 тии.

493836

Предмет изобретения

Составитель Г. Жукова

Текред Е. Подурушина

Корректор М, Лейзерман

Редактор Е. Караулова

Заказ 177/12 Изд. № 2043 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

1!3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

С помощью химического и масс-спектрального анализа показано, что содержание избыточного свинца в окиси свинца, подвергнутого описанной выше обработке, не превышает

10— - зо

Для регулирования содержания избыточного свинца непосредственно перед испарением проводится вторая термообработка окиси свинца при температуре 600 †8 С в вакууме

2 10 —:2 10 — мм рт. ст. в течение 0,5 — 5 час.

С ростом температуры термообработки от 300 до 880 С содержание избыточного свинца возрастает от 10 до 10 %

Проведение двух термообработок позволяет получить образцы видиконов, близкие по параметрам к требованиям цвегного телевидения. Введение термообработок при изготовлении видиконов, работающих в длинноволновой области спектра, приводит к повышению постоянной времени элементов мишени, резко снижает темновой тон, что позволяет применять их в малокадровых телевизионных системах с большим временем накопления.

Способ изготовления окисносвинцовых слоев, в частности, мишеней видиконов термичес10 ким вакуумным напылением, о т л и ч а ющийся тем, что, с целью управления содержанием избыточного свинца в слое, непосредственно перед термическим напылением проводят две термообработки окиси свинца в ис15 ходной навеске при температуре 300 — 880 С, причем первую проводят в атмосфере кислорода при давлении 10 ††7 мм рт. ст., вторую — в вакууме при давлении ниже

2.10 — мм рт. ст.