Сверхвысоковакуумная установка

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистииеских

Республик..л т

v Фч эс, ъ ф к,аа

{61) Дополнительное к авт, свид-ву1Ч (5т) M. Кл. (22) Заявлено17.04.73 (21) 1907887/24-6

> с присоединением заявки №

Г 04В 37/08

Гасударственный «ам«тат

6ааата Мваатраа СССР аа делам ааааретанай и аткрытай (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.01.76 Бюллетень № 3 (45) Дата опубликования описания 24 05-76 (53) УДК

621. 528. 1 {088.8) (72) Автор изобретения

М. П. Ларин (71) Заявитель

Ленинградский ордена Ленина политехнический институт им. M. И.,Калинина

{ 54) СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение касается вакуумной техники.

Известны сверхвысоковакуумные установки, содержащие помещенный в вакуумную

I полость рецвпиент, соединенный с гелиевым криоконденсвпионным и высоковакуумным диффузионным насосами, гелиевый и азотный. сосуды, подключенные к криоконденсвционнОму насосу>

Однако эти установки не обеспечивают достаточной экономичности при работе и с)южны в обслуживании, так как криоповерхности охлаждаются вынесенными зв пределы установки устройствами.

Цель изобретения — повышение экономичности и упрошение обслуживания установки. 1а

Это достигается тем, что сосуды помеше\ ны внутрь вакуумной полости, и гелиевый сосуд выполнен цилиндрическим и расположен по оси азотного сосуда.

На фиг. 1 схематически изображена опи- и сыввемвя сверхвысоковак гчмная установка," на фиг. 2 — разрез разрез АА на фиг. 1.

Установка содержит высо й>ввкуумньти диффузионный насос 1, гелиевый криоконденсационный насос 2, реципиент. состоящий иэ ак исследовательской камеры 3 и камеры-криь статв 4 с держателем образца 5, которые стыкуются одна с другой флвнцевыми соединениями 6, 7 и 8 и образуют сверхвысоко

:ввкуумируемую колонну, которая помещена в цилиндрическую обечайку 9, снабженную плоским днищем 10 и верхней крышкой 1в.

В свободное от сверхвысоковакуумкруе, мой колонятт. пространство вакуумной поло» сти помещен гелиевый сосуд 12, выполнеяг ный цилиндрическим и расположенный по .оси азотного сосуда 13, Сосуд 12 тт 13 .соединены нижней частью с. соответствукя шими л"вушками криоконденсационного на- соса 2 трубками 14 и 15, по которым

:осуществляется их постоянная подпитка хладагентвми. В вакуумной полости рвэмЬшены также со<. уды 16 и 17 с жидким азотом, которые соединены со змеевиками охлаждения корпусов камер 3 и 4, Вакуумная полость подключена к высоковвкуумно» му диффузионному насосу 18 с вентилем

i9.

Включают диффузионные насосы 1 и 18.

По достижении давленич в во<уумной поло - шил< я сосудов поступае в гениеву логун ку криоконденсационного насоса 2, 1 как о только температура ее снизится ао 4, К, вакуум в реципиенте повысится еше на неснвпько порядков. формула изобретения.

Сверхвысоковакуумная установка, с одер жашая помещенный в, вакуумную. полость

;реципиент, соединенный с гелиевым криокон.денсационным и высоковакуумным диффузионным насосами, гелиевый и азотный.сосуды; подключенные fc криоМ6нденсацибййому насо;су, о т л и ч а ю ш а я с я тем, что, с целью повышения экономичности и упрощения обслуживания, сосуды помещены внутрь

1 вакуумной полости, и гелиевый сосуд выполнен цилиндрическим и расположен по оси азотного сосуда.

;он <„-o сти не выше 10 тор и в свеохвакууми1

;.:размой колонне — 10 — 10: тор осуше-ствляк1т, цикл прог рева колонны, если в этом есть необходимость (такая необходим мость появляется, е ли колонна длительное время была разгерметизирована). Ес.(-ee же цикл. прогрева не нужен, то по доеиюкении укаэанных уровней вакуума эалн мют, жидкий азот в сосуды 13, 16 и 17 „rio верхййм патрубкам, уплотняющимся в ® крышке 11. Жидкий азот по мере заполне-. нйй сОсудов поступает по трубкам в змееви- ки охлаждения корпусов насоса 2, камер 3

;:и 4 и азотных ловушек криокондейсационно

"ro насоса и постоянно подпитывает их по

1прииципу сообщающихся сосудов.

По достижении корпусом криоконденсацидн »

t ного насоса 2 и азотных ловушек темпера- туры жидкого азота заливают жидкий гели в сосуд Я 2, фкетщжй пе принцип сообщаю-,р

А-A

Фиа. 2

Заказ 5053

Иээ И й3

Тираа .ggp Подписиое ектная.

12

1$

1д

Составитель Н.ВШин

Редактор. Е.КРанн Техред E.Ïeòðîâà Корректор Т

hCK49

ЦНИИПИ Государствеиного кбмитета Совета Мииястров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 1l3035, Раушская иаб., 4 фйлиал ППП «Патент . г. Ужгород„ул.