Накопитель матричного типа

 

О П И Н И Е (11) 5l7938

ИЗОБРЕТЕН И Я

Сееа Советовал

Соииал лоти чваиил.

Реолублик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.08.74 (21) 2053196/24 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.06..76. Бюллетень № 22

Дата опублико вания описания 20.07.76 (51) М. Кл е б 11С 11/40

Государственный комитет

Совета Министров CCCI ло делам изобретений и отнрытий (53) УДК 628.327.66 (088.8) (72) Авторы изобретения

P. А. Лашевский, E. Б. Нусинов и М. В. Сэйгаль (71) Заявитель (54) НАКОПИТЕЛЬ МАТРИЧНОГО ТИПА

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в качестве тестовой структуры при производстве и проектировании больших интегральных схем. Большие интегральные схемы (БИС), имеющие тысячи элементов, изготавливают в едином технологическом процессе на полупроводниковых пластинах, содержащих десятки таких БИС. Уже на этапе проектирования БИС, а затем и при их изготовлении, необходимы данные об однородности и воспроизводимости параметров элементов в пределах одной БИС. Вследствие высокой степени интеграции БИС для определения разброса параметров элементов необходимо измерять большое количество элементов, но они должны быть расположены по возможности так же близко друг к другу, как в БИС и на площади, близкой к площади БИС, Очевидно, что сама БИС непригодна для этих целей ввиду того, что нет доступа к каждому элементу схемы. Контрольная структура, расположенная в каждой БИС на пластине, имеет всего несколько транзисторов и поэтому по ним можно получать сведения об однородности параметров элементов только по пластине, но не по каждой БИС на пластине. Использование накопителя матричного типа позволяет разместить полупроводниковые элементы на кристалл с плотностью, соответствующей плотности элементов БИС. Однако при большом количестве элементов в матрице будет и большое количество координатных шин матрицы, и проверка такого накопителя матричного типа на зондовой установке при количестве зондов, меньшем количества координатных шин, требует обязательной перестройки зондов после каждого измерения. При этом необходимость устанавливать зонды на каждую контактную площадку столько раз, сколько шин в матрице, исключает применение такого накопителя в качестве тестовой структуры из-за низкой надежности работы устройства, так как каждая площадка может быть использована не более двух раз.

>5 Известны накопители матричного типа, содержащие координатные шины с контактными площадками и полупроводниковые элементы, расположенные в перекрестьях координатных шин. Однако наличие в известных устройствах

20 дешифраторов, расположенных на том же кристалле БИС ЗУ не дает возможности непосредственно подключаться к измеряемым элементам в матрице и определять их параметры, в результате чего происходит искажение картины распределения параметров исследуемых элементов накопителя.

Целью изобретения является повышение надежности работы устройства, В предложенном устросйтве это достигается тем, что в нем каж30 дая координатная шина содержит дополнительные контактные площадки, электрически соединенные между собой.

На чертеже представлена схема предложенного устройства.

Накопитель образован в виде матрицы, содержащей т строк и и столбцов, с общим количеством т и элементов. Координатные шины строк и столбцов оканчиваются контактными площадками. Контактные площадки на координатных шинах по строкам сгруппированы в к групп по количеству зондов по строкам и в l групп по количеству зондов по столбцам:

Ai — A> — и групп координатных шин по строкам;

A> — соответствует первому зонду по строкам;

А» — к-му зонду по строкам;

 — Bi — 1 групп координатных шин по столбцам;

 — соответствует первому зонду по столбцам;

Bi — l-му зонду столбцам. т

В каждой группе A> — Ад — находится

8 координатных шин по строкам, В каждой и группе B> — Bi находится — координатных

l шин по столбцам. На продолжении каждой

П координатной шины по строкам имеется—

1 контактных площадок, соединенных электрически между собой, а на продолжении каждой т н координатной шины по столбцам имеется

Ь контактных площадок, электрически соединенных между собой.

Зонды устанавливаются на площадках так, чтобы при перемещении головки с зондами или столика с пластиной вдоль одной из осей (вдоль строк или столбцов), не происходило выхода зондов за пределы контактных площадок любой из координатных шин. Одно (например, первое) положение зондов отмечено на рисунке точками в центрах контактных

517938

4 площадок. При каждой такой установке зондов на контактные площадки накопителя имеется возможность выбрать для измерения любой из AXl подключенных элементов накопи5 теля, не перемещая зонды, а производя только их электрическое переключение. Каждое следующее перемещение зондов или столика с пластиной вдоль столбцов (или строк) заключается в переходе каждого из зондов в стро10 ках (или столбцах) на соседнюю шину, при этом все зонды по столбцам (или строкам) перемещаются на следующую контактную площадку той же координатной шины. Одно из возможных положений зондов (например, вто15 рое, т. е. следующее за положением, указанным точкой) отмечено на рисунке крестиком.

Оно означает переход к новой координатной шине по строкам при той же координатной шине по столбцам. При этом выбираются сле20 дующие AXL элементов. Для измерения всех

m и элементов потребуется . К вЂ” переме/г 1 щений зондовой головки или столика с пластиной, при этом каждый зонд устанавливается

25 на контактную площадку только один раз.

Предложенное устройство дает возможность использования автоматических зондовых установок без перестройки зондов, так как каждая контактная площадка используется толь30 ко один раз. Этим обеспечивается возможность использования напыленных контактных площадок, не выдерживающих многократного контактирования.

35 Формула изобретения

Накопитель матричного типа, содержащий координатные шины с контактными площадками и полупроводниковые элементы, распо40 ложенные в перекрестиях координатных шин, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, каждая координатная шина содержит дополнительные контактные площадки, электрически соединен45 ные между собой.

517938 — C monkey

C mimosa И:чл4, НП-

Дх-Д- ° °

Составитель В. Гордонова

Техред E. Подурушина Корректор А. Овчинникова

Редактор Л, Тюрина

Заказ 1502/14 Изд. № 1438 Тираж 723 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 415

Типография, пр. Сапунова, 2 õ

К( (Н-П- я I БК31 (пр

1: ° ° 1 ° °

: : (! : (1: "- !"1: biidd bibb Ьф»Ь

1 г 1/

81 Вз Нз Bl

/. (