Вакуумное шлюзовое устройство

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (i i 5I9500

Сова Советских

Социалистических

Республик

/ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 11.08.72 (21) 1817757/21 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30,06.76. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 02.07.76 (51) М. Кл е С 23С 13/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.396.6.181. .48 (088.8) (72) Авторы изобретения В. В. Одиноков, В. Е. Минайчев, В. А. Пупко и Л. М. Панкратов (71) Заявитель (54) ВАКУУМНОЕ ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к вакуумным шлюзовым устройствам для ввода в вакуумные раоочие камеры или вывода из них изделий или материалов.

Известны вакуу.мные шлюзовые устройства, содержащие корпус с камерой и с размещенным в ней ползуном, в теле которого выполнены отверстия, служащие для размещения изделий, и механизм перемещения, кинематически связанный с ползуном.

Однако известное устройство имеет большие габариты из-за большой длины герметизирующего элемента, который растет по мере увеличения числа шлюзовых камер.

Цель изобретения — уменьшение габаритов устройства.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве камера выполнена в виде разделенных горизонтальными перегородками и расположенных в шахматном порядке отсеков, в которых размещен ползун, выполненный в виде последовательно соединенных между собой штоков с соосными отверстиями.

На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое вакуумное шлюзовое устройство, на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг. 1, па фиг. 3—

6 — принцип работы устройства.

Вакуумное шлюзовое устройство содержит корпус 1 с камерой, выполненной в виде разделенных горизонтальными перегородками 2 и

3 и расположенных в шахматном порядке отсеков 4 и 5, в которых размещен ползун 6, выполненный в виде последовательно соединенных между собой штоков 7, 8 и 9 с соосными

5 отверстиями, служащими для размещения изделий 10.

Камера снабжена патрубками 11 и 12 для ступенчатой откачки шлюзового устройства.

В корпусе 1 имеется окно 13, выходящее в

10 вакуумную рабочую камеру 14.

Механизм перемещения 15 кинематически связан с ползуном 6.

При правом крайнем положении ползуна 6 производится загрузка изделия 10 в отверстие

15 штока 7. Изделие 10 при этом ложится на горизонтальную перегородку 3. При перемещении ползуна 6 в левое крайнее положение изделие 10 скользит по поверхности горизонтальной перегородки 3 и в месте ее обрыва в

20 отсеке 4 происходит перегрузка изделий 10 под собственным весом из отверстия штока 7 в отверстие штока 8, при этом изделие 10 ложится ца поверхность горизонтальной перегородки 2. При обратном ходе ползуна в правое

25 крайнее положение аналогичным образом происходит перегрузка изделия 10 из отверстия штока 8 в отверстие штока 9. В этом же положении осуществляется загрузка следующего изделия в отверстие штока 7. При последую30 щем перемещении ползуна 6 в крайнее левое

5 I9500

Рыг. 2 положение изделия 10 через окно 13 попадает из отверстия штока 9 в вакуумную рабочую камеру 14. Одновременно следующее изделие под собственным весом перегружается из отверстия штока 7 в отверстие штока 8.

Таким образом, за каждый двойной ход ползуна 6 осуществляется подача изделия в вакуумную рабочую камеру 14. Процесс транспортировки осуществляется при непрерывной откачке камеры через патрубки 11 и 12.

При этом ступенчатый перепад давлений между атмосферой и вакуумной рабочей камерой создается за счет сопротивления перетеканию газа в щелевых зазорах между элементами корпуса 1 и штоками ползуна 6.

При использовании вакуумного шлюзового устройства для выгрузки изделий из вакуумных рабочих камер его крепят к камере снизу в перевернутом положении окном 13 вверх.

Работа устройства осуществляется по такому же циклу, как и при загрузке.

Формула изобретения

Вакуумное шлюзовое устройство, содержащее корпус с камерой и с размещенным в ней ползуном, в теле которого выполнены отверстия, служащие для размещения изделий, и

10 механизм перемещения, кинематически связанный с ползуном, отлич а ю шее ся тем, что, с целью уменьшения габаритов устройства, камера выполнена в виде разделенных горизонтальными перегородками и располо15 женных в шахматном порядке отсеков, в которых размещен ползун, выполненный в виде последовательно соединенных между собой штоков с соосными отверстиями.

519500

9 - /О б

/ (П./г /

10 Я

Составитель Й. Блинкова

Техред Т. Курилко

Редактор Е. Караулова

Корректор Л. Котова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2150/9 Изд. № 1512 Тираж 1068 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5