Контактное устройство

Авторы патента:

G01R31/28 - испытание электронных схем, например с помощью прибора для каскадной проверки прохождения сигнала (испытание на короткое замыкание, обрыв, утечку или неправильное соединение G01R 31/02; контрольные вычислительные устройства G06F 11/00; статические запоминающие устройства для контроля работы накопителей G11C 29/00)

G01R31/26 - испытание отдельных полупроводниковых приборов (измерение содержания примесей G01N)

G01R1/067 - Измерение электрических и магнитных величин (измерение физических величин любого вида путем преобразования их в электрические величины см. примечание 4 к кл. G01; измерение диффузии ионов в электрическом поле, например электрофорез, электроосмос G01N; исследование неэлектрических и немагнитных свойств материалов с помощью электрических и магнитных методов G01N; индикация точности настройки резонансных контуров H03J 3/12; контроль электрических счетчиков H03K 21/40; контроль работы системы связи H04)

Союз Советских

Социалистиыеских

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 530485 (61) Дополнительное к авт. свид-ву ¹ (22) Заявлено10.06.75 (21)2142789/21 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано30.09.76.Бюллетень № 36 (45) Дата опубликования описания14.12.76 (51) М. Кл.

Н 05 К 1/04

Государственный комитет

Соввта Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621. 315, 684 (088.8) В. В. Николаев, A. В, Ярош, Н, С. Колядко и Г, И. Володько (?2) Aвторы изобретения (71) Заявитель (54) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к технологическовЂ” му оборудованию радиоэлектронной промышленности и может быть использовано для зондового контроля и измерения статических

Ъ динамических параметров структур интегвЂ” ральных микросхем и полупроводниковых при боров.

Известны контактные устройства, сойервЂ” жащие диэлектрическое основание, гибкие

Г-образные зоны, закрепленные в зондодер- О ,жателях с возможностью перемещения по трем координатам, и механизм регулировки в виде винтов с шариками.

Однако после настройки зондов в известных устройствах не обеспечивается стабиль- ность положения зондов по координате 7. в процессе работы ввиду отсутствия их жесткой фиксации по высоте, и, кроме того, сложна сама настройка ввиду использования нескольких элементов, 20

Цель изобретения вЂ” упрощение настройки зондов при сохранении надежности работы, Это достигается тем, что в предлагаемом контактном устройстве каждый зонд размещен в полости зондодержателя, обра2 зованной пересечением двух соосных конусов и заполненной легкоплавким веществом, например сплавом олово-никель.

На фиг, 1 изображено предлагаемое устройство, вид сбоку; на фиг. 2 вЂ” то же, вид сверху; на фиг 3 вЂ” узел T на фиг, 1.

Контактное устройство содержит диэлек трическое основание 1 с токопроводящими зондодержателями 2, в полости 3 которых, образованной пересечением двух соосных конусов и заполненной легкоплавким веществом, например сплавом олово-никель, ра мешены зонды 4, Настройка зондов 4 осуществляется следующим образом, При тепловом воздействии на зондодержатель 2 легкоплавкое вещество плавится, При этом зонд получает свободу перемещения по трем координатам относительно линии пересечения двух конусов, охватывающей зонд по периметру, за счет чего обеспечивается возможность настройки зонда на контактный вывод микросхемы, При затвердении вещества, заполняющего полость 3, обеспечивается

530485.

Составитель Н, Блинкова

Техред М. Левицкая Корректор С. Болдижар

Редактор Е. Караулова

Заказ 5228/644 Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 жесткая фиксация зондов 4 б в вы раином положении.

Ф ор мула изобретения

К б онтактное устройство, содержащее диапектрическое основание с токопроводящими зондодержателями, в которых закреплены с

:возможностьюперемещения упругие Г-образные зонды, о т л и ч а ю at щееся тем, что, с целью упрощения настройки з нд зондов при сохранении надежности работы, каждый зонд размещен в полости зондодержателя, образованной пересечением двух соосных конусов и заполненной легкоплавким веществом, например сплавом олово-никель.