Турбомолекулярный вакуумный насос

 

(ii) 533757

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскиx

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.04.73 (21) 1902673/06 (51) М. Кл. - F 04D 19,/04 с присоединением заявки ¹

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.527.8 (088.8) Опубликовано 30.10.76. Бюллетень ¹ 40

Дата опубликования описания 01.12.76

i(72) Авторы изобретения

Ю. М. Тузанкин и Л. А. Беляев (71) Заявитель (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор (1). Предельный вакуум, достигаемый этим насосом, ограничен коэффициентом компрессии насоса и величиной газоотделений с внутренних поверхностей корпуса и рабочих органов ротора и статора.

Более близким к изобретению техническим решением является тур бомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор (2). Однако охлаждение статора насоса вызывает большие технические трудности в связи с наличием подшипников и смазки, а также требует большого расхода криогенной жидкости вследствие массивности статора и интенсивного теплообмена с окружающей средой. Кроме того, наличие наружной охлаждающей рубашки затрудняет прогрев корпуса, ротора и статора насоса для обезгаживания при получении высокого вакуума в теплом режиме.

Целью изобретения является повышение предельного вакуума, снижение потерь электроэнергии и хладагента. Указанная цель достигается тем, что статор заключен в тонкостенный цилиндр, на наружной поверхности

ГосУдаРственный комитет (23) Приоритет которого размещены трубки для хладагента.

Кроме того, указанная цель достигается тем, пространство между корпусом и цилиндром заполнено сорбентом и ограничено перфори5 рованными перегородками, образующими с корпусом зазоры.

На чертеже изображен насос, продольный разрез.

Описываемый турбомолекулярный вакуум10 ный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем ротор 2 и охлаждаемый статор 3, заключенный в тонкостенный цилиндр 4, на наружной поверхности которого размещены трубки 5 для хладагента и нагревательные

15 элементы 6, при этом пространство между корпусом 1 и цилиндром 4 заполнено сорбентом 7 и ограничено перфорированными перегородками 8, образующими с корпусом 1 зазоры.

20 Насос работает следующим образом.

Включаются нагревательные элементы 6, и происходит обезгаживание статора 3, цилиндра 4 и ротора 2. Одновременно регенерируется сорбент 7. После прогрева в трубки 5

25 подается хладагент (например жидкий азот), в результате чего цилиндр 4, статор 3 и сорбент 7 охлаждаются. Холодные поверхности статора 3 и цилиндра 4 снижают тепловую скорость молекул и поток газовыделений, а

Зз охлажденный сорбент 7 откачивает газы, Г3о 757

Формула изобретения

Составитель О. Тишина

Ред".êòî В, Левитов

Техред 3. Тараненко

Корректор T. Добровольская

Заказ 2320/16 Изд. И 17!7 Тираж 830 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москга, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 поддеpживая предваритpльHое ра "pе>кеti1:p в форвакуумной полости насоса.

Таким образом, выполнение статора заключенным в тонкостенный цилиндр, на наружной поверхности которого размещены трубки для хладагента и нагревательные элементы, а также заполнение пространства между корпусом и цилиндром сорбентом позволяет охладить статор до криогенной температуры и снизить, таким образом, тепловые скорости движения молекул газа, что, в свою очередь, ведет к повышению предельного вакуума.

1. Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью повышения предельного вакуума, снижения потерь электроэнергии и хладагента, статор заключен в тонкостенный цилиндр, на наружной поверхности которого

5 размещены трубки для хладагента и нагревательные элементы.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что простра 1ство между корпусом и цилиндром заполнено сорбентом и ограничено пер10 форированными перегородками, образующими с корпусом зазоры.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

Р5 1. Авт. св. Ко 434190, кл. F 04 19/04, 1971 (а налог) .

2. Патент CIIIA И 3536418, кл. 417 — 49, 1970 (прототип).