Молекулярный вакуумный насос

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 54202!Э (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 03.01.75 (21) 2095189/06 с присоединением заявки №(23) Приоритет(43) Опубликовано05.01.77.Бюллетень № 1 (45) Дата опубликования описания 15.02.77 (51) М. Кл.о

F 04 D 19/04

Гасударственный комитет

Саввтв Министров СССР по делам изооретений и открытий (53) УДК 621.527.8 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. С. Кондрашев и Л. М. Деев-Анисимов (71) Заявитель (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, Известен молекулярный насос, содержащий статор и ротор с винтовыми пазами, число которых увеличивается от входа к 5 выходу насоса (11.

Известный насос не обеспечивает доста точно высокой степени сжатия.

Наиболее близким из известных технических решений является молекулярный на- 10 сос, содержащий статор с гладкой цилиндрЕческой поверхностью и ротор с винтовыми пазами, образующими систему рабочих кана лов E2g.

Однако и этот насос не позволяет полу-, у чить высокую степень сжатия газа из-за большой вероятности пролета молекул откачиваемого газа от входа к выходу насоса.

Целью изобретения является повышение 20 степени сжатия.

Эта цель достигается тем, что сопряженные поверхности ротора и статора выполнены ступенчатыми, и максимальный диаметр каждой предыдущей ступени статора не пре- 25 вышает минимального диаметра последующей ступени ротора, при этом ступени в направлении откачки выполнены с уменьшающейся длиной.

На чертеже схематично изображен предлагаемый насос.

Молекулярный вакуумный насос содержит статор 1 с гладкой цилиндрической поверхностью и ротор 2 с винтовыми пазами 3, образующими систему рабочих каналов. Сопряженные поверхности ротора 2 и статора

1 выполнены ступенчатыми, и максимальный диаметр О„каждой предыдущей ступени статора 1 не превышает минимального диаметра D последующей ступени ротора 2, вследствие чего на статоре образуются торцовые площадки 4, при этом ступени в направлении откачки выполнены с уменьшающейся длиной.

Таким образом, при работе насоса торцовые площадки 4 препятствуют пролету молекул, двигающихся от выхода к входу насоса, и наибольший пролет молекул по зазору в указанном направлении не превы«

542025

BblхИ

3 Ц «7т

Составитель О. Тишина

Редактор М. Васильева Техред М. Ликович КорректорБ. К)гас

Заказ 5941/24 Тираж 819 Подписное

11НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4,шает шага ступеней, вследствие чего повышается степень сжатия насоса.

Формула изобретения 5

1. Молекулярный вакуумный насос, содержащий статор с гладкой цилиндрической поверхностью и ротор с винтовыми пазами, образующими систему рабочих каналов, отличающийся тем,что,сцелью повышения степени сжатия, сопряженные поверхности ротора и статора выполнены ступенчатыми, и максимальный диаметр каждой предыдущей ступени статора не превышает минимального диаметра последующей ступени ротора.

2. Насос по п. 1, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что ступени в направлении откачки выполнены с уменьшающейся длиной.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Заявка Франции № 2222886, F 049

19/04, 1974 г.

2. Авторское свидетельство № 325413, Г 04 D 19/04, 1970 r.