Полый катод разрядной трубки для спектрального анализа

 

1» с

ОП И САН И Е 1в@уево

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистииеских

Ресвублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 03.04.75 (21) 2120263i07 (51) М. Кл.-

С„01 J 3.л10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

l ! !

53) УЛК С21.3.032. .21 (089.Я) Государственный комитет

Совета Министров СССР па делам изобретений и открытий (43) Опубликовано 25.02.773голлетень М 7 (45) Дата опубликования описания 31.05, .:

И. А. Кузовлев, В. Л, Сабатовская и И. Г. Юделевич (72) Авторы изобретения (71) Заявитель, (54) ПОЛЫЙ KATOQ РАЗРЯДНОЙ ТРУБКИ

СПЕКТРАЛЬНОГО -> - "3.- де гаври л,но, 17-.-1 бк, вьи

Изобретение относится к источникам света для эмиссионного спектрального анализа преимущественно веществ высокой чистоть" и может быть использовано, например, в голупроводниковой промышленности.

Известно использование для этих целей разрядных трубок с полыми катодаглн, Наиболее близким решениегл чвлчется по— лый катод разрядной трубки для спектрального анализа, имеющий цилиндрическую рабочую 1О полость, одним концом открытую с торца катода.

Разрядная трубка с таким катодом позволяет определять содержания примесных

-9 -11 элементов в области .И 10 — т1 10 г. 15

Недостатком такой конструкции разрядной трубки с известным полым катодом являются относительно высокие пределы обнаружения элементов. Уменьшение диаметра gp полости катода нлже 4 мм, с целью снижения пределов обнаружения, приводит к нестабильности разряда, что исключает возможность ее применения в количественном спектральном анализе. 25

:-ределов оиаву, +;е ия эле?, н y äв пои со; о,- — нении cò: á);ë :-,о:тн горенн .зг1я-н; выполнена в виде конус, .;.:.; ениог оси., ванием и открытому тор у катода.

На чертеже схематически изображена предложенная конструкция катода. Рабочая полость 1 катода 2 выполнена в виде конуса, обращенного основанием к открытому торцу катода. Широкая часть конуса играет роль генератора быстрых электронов, служащих для поддержания устойчивого разряда в узкой части полости катода В узкой же части вследствие уменьшения ее объема по сравнению с полостью посточчного диаметра плотность паров исследуемого вещества значительно повышается, что приводит к увеличению интенсивности спектра последнего и как следствие возникает эффект улучшения пределом обнаружения при сохранении

547650

Пределы обнаружения, полученные в pàçpÿäíü õ трубках с катодами, имеющими рабочую полость разной геометрии

Серебро

Алюминий

Мышьяк

Золото

0,8

0,003

0,200

20,00

0,200

0,500

0,020

10,0

200

2,0

10,0

Бор

0,8

8,.0

0,20

6,00

0,10

0,50

2,00

0,01

1,0

20

0,5

5,0

0,04

1,0

0,06

0,10

0,03

0,04

4,0

0,6

1,0

1,00

30

1,0

300

10,0

0,3

0,4

0,4 стабильности горения разряда. B таблице приведены пределы обнаружения для 24 изученных элементов, полученные при использовании разрядной трубки с катодом извест— ной конструкции (длина катода 30 мм, его внешний диаметр 6 мм; глубина полости

20 мм, ее диаметр 4 мм) и с катодом пред.— лагаемой конструкции(длина катода 30 мм, его внешний диаметр 6 мм; глубина полосБериллий

Висмут

Кальций

Кадмий

Кобальт

Хром

Медь

Железо

Галлий

Индий

М агний

Марганец

Никель

Ф осфор

Свинец

Сурьма

Олово

Таллий

Цинк

4 ти 20 мм, диаметр основания конуса 4 мм).

Работу проводят с серией стандартных растворов изучаемых элементов, которые в количестве 0,003 мл помещают на дно полости с помощью микропипетки. Спектры фотографируют на спектрографе ИСП вЂ” 30 при следующих условиях: рабочий газ галлий, давление 20 мм рт. ст., сила тока 1 а, экспозиция 1 мин.

547650

Составитель Н. Нестеренко

РедактоР Н. Данилович ТехРед И, Асталош КоРРектоР А. ГРиценко

Заказ 63 1/96 Тираж 822 Подписное

ЦНИИПИ Госуцарственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

1 13 03 5, Москва, Ж-3 5, Р аушская на 6., д. 4/5

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Формула изобретения

Полый катод разрядной трубки для спектрального анализа, выполненный с рабочей полостью, открытой с торца, о r л и ч а ю— шийся тем, что, с целью расширения пределов обнаружения элементов при сохранении стабильности горения разряда, катод выполнен с рабочей полостью в виде коь чса, обращенного основанием к открытому торцу катода.