Криогенный конденсационный насос
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ союз боветскйхСециалистических
Республик (i.) 553357 с
l — (1 (-;. :Кла F.. 04В 37/08 (61) Дополнительное к авт, свид-ву 392268 (22) Заявлено 27.06.75 (21) 2149237/06 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 05.04.77. Бюллетень № 13
Дата опубликования описания 27.04.77
Государствеииый комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.527.8 (088.8) (72) Авторы изобретения
В. А. Коваленко и В. Г. Мартыненко (71) Заявитель (54) КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС
Изобретение относится к вакуумной технике.
По основному авт. св. № 392268, известен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного жидким газом, а в зоне днища сосуда установлена с минимальным зазором кольцевая диафрагма, имеющая тепловой контакт с экраном.
В известном насосе время достижения предельного вакуума значительно вследствие длительного процесса переконденсации газа.
Целью изобретения является сокращение времени достижения предельного вакуума.
Указанная цель достигается тем, что охлаждаемый экран заключен внутрь колпака, имеющего полость, подключенную к трубке для залива хладагента, а в зоне днища сосуда установлена дополнительная диафрагма, имеющая с колпаком тепловой контакт и входящая внутрь основной диафрагмы.
На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.
Криогенный конденсационный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда 3, заполненного жидким газом, например гелием. В зоне днища 4 сосуда 3 установлена с минимальным зазором кольцевая основная диафрагма
5, имеющая тепловой контакт с экраном 2, который заключен внутрь колпака 6, имеющего полость 7, подключенную к трубке 8 для залива хладагента, а в зоне днища 4 сосуда 3 установлена дополнительная диафрагма 9, имеющая с колпаком б тепловой контакт и
10 входящая внутрь основной диафрагмы 5. Колпак б снабжен электронагревателем 10.
Насос работает следующим образом.
Полость насоса предварительно откачивают
15 вспомогательным насосом до давления ниже
10 мм рт. ст. Затем откачку прекращают и заполняют сосуд 3 жидким гелием, а охлаждаемый экран 2 и полость 7 колпака 6 — жидким азотом. Откачиваемый газ имеет доступ
20 к сосуду 3 только в зоне днища 4 сосуда 3 через отверстие дополнительной диафрагмы 9.
Если при работе насоса в откачиваемом объеме происходит периодическое выделение газов, например углекислого газа, которые мо25 гут конденсироваться на более «теплых» деталях насоса (колпак 6, диафрагма 9), то колпак 6 отепляют путем удаления из его полости 7 жидкого азота и включения электронагревателя 10. Отепление более «теплых»
30 деталей насоса до комнатной температуры
553357
Формула изобретения
Составитель О. Тишина
Редактор М. Васильева Техред И. Карандашова Корректор Т. Добровольская
Заказ 79077 Изд. М 3 Тираж 878 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, в предотвращает возможность конденсации на них газов прп падении вакуума в откачиваемом объеме и, следовательно, время восстановления предельного вакуума резко сокращается. После прекращения выделения в откачпваемом объеме углекислого газа полость
7 колпака 6 вновь заполняют жидким азотом, Охлажденный колпак 6 позволяет также снизить расход жидкого гелия, так как все излучение от стенок, имеющих комнатную температуру, будет задерживаться охлажденным колпаком 6.
Таким образом, сокращается время получения предельного вак тма прп малом расходе жидкого гелия.
Криогенный конденсационный насос по авт. св. Мю 392268, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени достижения предельного вакуума, охлаждаемый экран заключен внутрь колпака, имеющего полость, подключенную к трубке для залива хладагента, а в зоне днища сосуда установлена дополни1П тельная диафрагма, имеющая с колпаком тепловой контакт п входящая внутрь основной диафрагмы.
Источник информации, принятый во внимание при экспертизе:
15 1. Авторское свидетельстпо Мз 392268, кл, F 04 В 37/08, 1974 r.
