Двухпоточный вакуумный турбомолекулярный насос

 

(61) Дополнительное к авт. свил-ву— (Я2) Заявлено 18.03.76 (21) 2335621/06 с присоединением заявки №вЂ” (23) 11рнорнт ет— (43) Опубликовано 05.08.77. г)еоллетень Ю 29 (45) Дата ог ублнкования описания 07,10.77 (51) М. Krf . Е 04 О 19/04

Государственный квинтет ьюввтв Иинвютрюв Юр пю делам язюбретенпй

И BT!IPbflaÉ (53) УДК 621.527.8(088.8) В, А, Алексащнн, В. Н, Кемеиав, k М. втувнецов. и Л. Б. Леонов (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

{54) ДВУХГ1ОГОЧНЫЙ ВАКУУМНЫЙ ГУРЬОМОЛЕКУХИ1 НЫЙ

НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

ИЗВестен турбомолекулярный насос, Внутри корпуса которого размещены статорные и роторные диски (1).

8 известном насосе возможно затрязнение откачиваемого объема парами смазочных масел.

Известен также двухноточньЕЙ вакуумный турбомолекул)1рнь п1 насос, содержащий корпус и размещенные в нем статорнь)е диски, разделешгые проставочпыми кольцами 12) . f0

Этот насос является наиболее близким к предгеагаемаму по техгп1ческой1 сущности и достигаемоIvDJ pe3VilbTa1y .

Статорнь!е ступее1и В 1аком насосе Выполнены В виде высоковакуумного и форвякуумного пикетов, 15 отличятощихся геометрией рабочих каналов, Этот насос имеет также узлы враlцення, распО ложенные ня фориакуумний стороне, которые смазываютсе1 принудительно жидкон с;,1азкой, в результате чего дета1111 е1ясос11, раситп1ожепные на его форвякуумной стороне, в том числе статорные ступени и простявогные кольца, загрязнены пленкой масла, Koторяя Очень нодвнжн11, распространяется по всему насосу и 1агрязняс1 высоковакуумную об lacib. 25

Целью изобретеЕтия является повышегн1е чистоты получаемого вакуума.

3То достигается Tel HTo пове1)хносгь колец, расположеннь1х с форвакуумной стороны, и конTaKTHpyþùaè с ними поверхность к01)пуса покрыты слоем несма:втва1ОЕцегося смазкой материала, например фторопласта.

На чертеже изображен предлае Яемый )насос в

ПРОДОЛЫ! Ом РЯЗРРЗЕ.

Двухп01 Очный BBK1:" MHûH турбомОлекулярный

НВсос содее)же1Т Hopliteñ 1 и размец1СППЕь)е и Iгем статорные киски 2, разделенные прас гавочными кольцами 3. Новерхнасть колсц 3, расположенных с форчякуумнОЙ стороны, и кон1актирутощая с ними поверхность корпуса 1 локрьгты слоем 4 HecMG÷lfвающегося смазкой мятере1яла, например фтороПЛЯСТЯ.

При paáoTе eнасоса, вследствие Вьшолнсне1я простявочных колец 3 и их посало пгь1х мест If копг(усе с тонким наружным слоем, е1я11рнмер из с, .Торопласта, практически прекря1няется мп).рация пленки масла вдоль Насоса со стороны форвакууьеа на высоковякуумнб IA сторону, Это исключает Hcliaрение масла в прото шой части насоса, уменьшает нагрузку с)упеней насоса балласп1ым испарением и

567848

1О

Составитель О. Тишина

Редактор М. Васильева Текред А.Богдан

Корректор С. Шекмар

Заказ 2711/24

Тираж аЬ7 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытия

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 увеличивает эффективность откачки как ступеней так и всего насоса в целом.

Формула изобретения

Двухпоточный вакуумный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем статорные диски, разделенные проставочными кольцами, от л и чаю шийся тем, что, с целью повышения чистоты получаемого вакуума, поверхность колец, расположенных с форвакуумной стороны и контактирующая с ними поверхность корпуса покрыты слоем несмачивающегося смазкой материала, например фторопласта. т

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство . У 170609, ; кл, F 04 d 19/04, 1963.

2. Авторское свидетельство И 174752, кл. F04 д 19/04, 1964,