Устройство для химической обработки деталей

 

Ватеитнс-тех н и qîcìù

I ЬЙлиотека 1е . е.

1 ц 568682

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЙЬСТВУ

Союз Советских

Соцналнсткческих

Республнк (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.10.75 (21) 2176999, 02 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет

Опубликовано 15.08.77. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 15.09.77 (51) М. Кл.о С 23G 3/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР па делам нзобретеннй н открытий (53) УДК 621.794 46 (088.8) (72) Авторы изобретения

П. Е. Шатохин, Б. Е. Стяпкин и К. С. Кисель (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к области химической обработки деталей с сообщением им вибрации в жидкой среде.

Известно устройство для обработки деталей, содержащее ванну и приводные шпиндели, обеспечивающие вращательное и колебательное движения размещенных на них обрабатываемых деталей (1). Однако это устройство малоэффективно, поскольку обрабатываемым деталям сообщается периодически одно из указанных движений.

Известно также устройство для химической обработки деталей, содержащее ванну и съемный стол с элементами крепления кассет для размещения обрабатываемых деталей и центральным валом, кинематически связанным с приводом (2). Указанное устройство позволяет значительно повысить производительность обработки деталей за счет совмещения вращательного и колебательного движений.

Одним из общих недостатков известных устройств является то, что они не обеспечивают качественной обработки деталей, например полупроводниковых пластин при травлении и последующей промывке.

Цель изобретения — повышение качества обработки путем интенсификации перемещения деталей относительно рабочей жидкости.

Это достигается тем, что съемный стол выполнен в виде планетарного редуктора с фиксированным центральным колесом, а элементы крепления кассет — в виде цанговых шпинделей, установленных в шестернях-сателлитах планетарного редуктора.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

Устройство содержит ванну 1 с пробкой 2 для слива рабочего раствора, центральный вал 3, соединенный через кулачковую муфту

10 4 с выходным валом 5 редуктора 6, кинематически связанного с электродвигателем 7.

Нижний диск 8 кулачковой муфты 4 жестко соединен с корпусом редуктора 6, а верхний диск 9 через палец 10 и втулку 11 — с цент15 ральным валом 3, при этом втулка 11 выполнена с продольным пазом на длину вертикального хода центрального вала 3, которь|й жестко связан с планетарным редуктором 12. Последний имеет полое центральное колесо 13 и

20 шестерни-сателлиты 14, в которые установлены цанговые шпиндели 15 для крепления кассет 16. Центральное колесо 13 зафиксировано стопорным пальцем 17 о выступ 18.

Устройство работает следующи;t образом.

25 Загружают кассеты 16 с обрабатываемыми деталями и закрепляют их в цанговых шпинделях 15, после чего планетарный редуктор 12 фиксируют с центральным валом 3 так, чтобы стопорный палец 17 зашел за выступ 18. За30 ли вают ванну 1 рабочим раствором и вклю568682

Формула изобретения

1Ã 1Ã 5

Составитель В. Трегубов

Техред М. Семенов

Корректоры: Л. Брахнина и Т. Добровольская

Редактор Н. Корченко

Подписное

Заказ 2081/7 Изд. Аз 745 Тираж 1130

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

3 чают электродвигатель 7. Вращение от последнего через редуктор 6 и кулачковую муфту 4 передается центральному валу 3, которому посредством кулачковой муфты 4 сообщается также вертикальное возвратно-поступательное движение (два цикла за один оборот). При этом корпус редуктора 6 получает вращение от центрального вала 3, но стопорный палец

17, находясь в контакте с выступами 18, удерживает центральное колесо 13 от вращения, в результате чего шестерни-сателлиты 14, обкатываясь, вращают цанговые шпиндели 15 вокруг собственной оси. Таким образом, в процессе работы цанговые шпиндели 15, а вместе с ними кассеты 16 с деталями участвуют в двух вращательных движениях: в горизонтальной плоскости и возвратно-поступательном движении в вертикальной плоскости.

Использование трех движений позволяет получать высокое качество химической обработки деталей, в 1,5 раза повысить производительность труда и снизить расход химических реактивов.

Устройство для химической обработки деталей, содержащее ванну и съемный стол с элементами крепления кассет для размещения обрабатываемых деталей и центральным валом, кинематически связанным с приводом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки путем интенсифика1О ции перемещения деталей относительно рабочей жидкости, съемный стол выполнен в виде планетарного редуктора с фиксированным центральным колесом, а элементы крепления кассет выполнены в виде цанговых шпинде15 лей, установленных в шестернях-сателлитах планетарного редуктора.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2о 1. Авторское свидетельство СССР № 398708, кл. С 23G 3/00, 1968.

2. Авторское свидетельство СССР N 242044, кл. В 08В 3/04, 1967 (прототип).