Датчик давления

 

О П И С А Н И Е (и) 574647

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 26.05.76 (21) 2363198/10 (51) М. Кл.- "G 01L 7/06

G 011 9/10

G 011 21/00 с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и озкрытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.09.77. Бюллетень № 36 (53) УДК 531.787(088.8) (45) Дата опубликования описания 17.10.77 (72) Авторы изобретения (71) Заявители

П. П. Бобонич, С. М. Кишко и 3. И. 11ерчи

Специальное конструкторское бюро средств аналитической техники и Ужгородский государственный университет (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к индуктивным датчикам давления и может быть использовано для измерения давления газа или вакуума, например при изготовлении газонаполненных ламп.

Известны индуктивные датчики давления (1).

Наиболее близким по технической сущности к предложенному является датчик давления, содержащий вакуумированный корпус, в котором размещены упругий чувствительный элемент и индуктивный преобразователь перемещения чувствительного элемента в электрический сигнал.

Недостатком такого датчика является то, что диапазон измерения давления прибора недостаточно велик.

Целью изобретения является расширение диапазона измерения давлений.

Это достигается тем, что в предлагаемом датчике давления, содержащем размещенные в вакуумированном баллоне с гермовводами упругий чувствительный элемент и индуктивный преобразователь перемещения чувствительного элемента в электрический сигнал, чувствительный элемент выполнен в виде двух сильфонов с разной эффективной площадью, причем меньший сильфон размещен внутри большего, прикреплен к его подвижному дну и торцом связан с подвижным элементом индуктивного преобразователя.

На чертеже изображен предлагаемый датчик в разрезе.

Индуктивный датчик состоит из вакуумированного баллона 1, в который вваривастся сильфон 2 с перевернутым сильфоном 3. К торцу сильфона 3 жестко прикреплен шток 4.

Между верхним концом вакуумированного

10 баллона 1 и нижним концом сильфона 2 помещается пружина 5, находящаяся в направляющих б и 7. Внутрь штока 4, выполнснного из изоляционного материала, помещается диамагнитный плунжер 8. Шток с диамаг15 нитным плунжером 8 свободно ходит в катушках 9 и 10. Баллон 1 откачпвается (давление порядка 10 — Торр) со стороны цоколя

11 и запаивается. Выводы катушек 9 и 10 подключаются к ножкам 12 цоколя 11. Для

20 увеличения вакуума в полости вакуумированного баллона 1 помещается гетер (на чертеже не показан) .

Индуктивный датчик подключается к ис25 следуемому объему с помощью патрубка 13.

При откачке плп наполнении газом исследуемого объема изменяется высота сильфона 2, а вследствии этого диамагнитный плунжер 8 изменяет индуктивность катушек 9 и 10, кото30 оая регистрируется электрической схемой.

574647

Составитель О, Полев

Корректор Н. Аук

Техрсд И. Михайлова

Редактор 3. Ходакова

Подписное

Заказ 2312j12 Р1зд. № 818 Тираж 1109

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

При достижении полного сжатия или растягивания сильфона 2 в работу вступает сильфон 3, который далее растягивается или сжимается.

Предлагаемая конструкция датчика позволяет измерять давление в диапазоне 10 —

0,1 Па.

Формула изобретения

Датчик давления, содержащий размещенные в вакуумированном баллоне с гермовводами упругий чувствительный элемент и индуктивный преобразователь перемещения чувствительного элемента в электрический сигнал, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измерения, в нем чувствительный элемент выполнен в виде двух сильфонов с разной эффективной площадью, 5 причем меньший сильфон размещен внутри большего, прикреплен к его подвижному дну и торцом связан с подвижным элементом индуктивного преобразователя.

Источники информации, 10 принятые во внимание при экспертизе

1. Заявка Японии № 12119, кл. !11С 221, 1970.

2. Лскк Дж. Измерение давления в вакуумных системах. М., 1966, с. 37, 38.