Магниторазрядный вакуумметр

 

СОюз Соэатскмм

Социалистических

Республик

Оh ИСАНИЕ <„,s<, ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К аетОРСКОМЮ СЕИДВтВЛЬСтВЮ (61) Дополнительное к авт, свид-ву— (22) Заявлено 19.04.76 (21) 235P54/10 (51) М. Кл. О011 21/34 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (43) Опубликовано 25.№77. Бюллетень №27 (53) ДК 531.788 1088.8) (4б) Дата опубликования описания 08.12.77.

Гащдарстванний каиатет

Соввта Маиастрюв СССР аа делам азебретвнай и аткрытай (Т2) Авторы . изобретения Е. Ф. Комаров, В. В. Иаивщкии, В.Т. Гринченко и Б. П. Тихонов (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯИНЫЙ ВАКУУММЕТР!

Изобретение оптосится к вакуумной технике, а именно к магниторазрядным вакуумметрам.

Известны магииторазрядные вакууматры, содержащие манометрические преобразователи магнетронного или инверсно-магнетронного типа

111.

Наиболее близким по техничесной сущности к предлагаемому является вакуумметр, содержатций ьащометрический преобразователь магнетроннего или инверсно-магиетронного типа, блок высоковольтного переменного напряжения и измеритель разрядного тока (21. габотосйособность такого вакуумметра достигается путем нодачи на манометрический преобразователь, помещенный в магнитное поле, переменного напряжения, а мерой давления является величина переменного тока разряда, при этом значительно увеличивается срок службы преобразователя.

Однако при измерении давления в газовой среде, содержащей пары масла, процесс очистки,.1а поверхностей электродов манометрического преобразователя за счет эффекта катодного распыления может уступить место процессу замасливания, что будет в основном определяться количеством паров масла, попадающего непосредственно в объем нонн- аа

2 зации преобразователя. Образование лри этом на поверхностях электродов электрически не нроводящих пленок, обусловленное процессами крекинта органических соединений, приводит к перераспределению потенциалов поля в преобразователе, следствием чего является изменение чувствительности и выход его градуировочных характеристик за пределы допустимой погрешности, Однако в таком вакуумметре отсутствует сигнализация о недопустимом замасливании электродов преобразователя при наличии паров масла в объеме ионизации.

Предлагаемое устройство отличается тем, что вакуумметр снабжен операционным усилителем, подключенным к одному иэ электродов преобразователя, распределителем импульсов сигнала по полярности, инвертором, блоком сравнения и нульиндикатором, при этом выход усилителя соединен с входом разделителя, один выход которого соединен через инвертор с одним из входов блока сравнения, а другой выход разделителя подсоединен ко входу измерителя и второму входу блока сравнения, выход которого подключен к нульнндикатору.

566156

На чертеже изображена принципиальная схема вакуумметра.

Вакуумметр содержит манометрический преобразователь 1, состоящий на электродов и 3, блок питания 4, питающий преобразователь 1 высоковольтным переменным напряжением синусоидальной формы с частотой 50 Гц, операционный логарифмический усилитель разрядного тока 5, блок разделения напряжения по полярности 6, инвертор 7, блок сравнения напряжений 8, нуль-индикатор 9 и измеритель 10 со стрелочным указателем 11.

Вакуумметр работает следующим образом, При подаче на электрод 2 переменного напряжения от высоковольтного блока питания 4 в преобразователе 1 при наличии магнитного поля возникает разряд. За полный период питания в преобразователе 1 образуются два ионных,тока различной полярности. На чистом, безмаслянном преобразователе 1 отношение между величинами этих токов соответствует некоторой величине, определенной заранее во всем диапазоне измеряемых давлений, а при замасливании преобразователя 1 это соотношение изменяется.

Ионные токи, возникающие в преобразователе 1, поступают на вход операцианного усилителя 5, на выходе которого образуется переменное напряжение, пропорциональное логарифму входного така. Затем это напряжение поступает на вход блока 6 разделения напряжений по полярности, который выполнен в виде диодных выпрямителей, после чего эти сигналы поступают на вход блока сравнения 8, причем одно из них с помощью иивертора 7 изменяется по знаку на обратное. После чего оба напряжения сравниваются блоком сравнения 8, в качестве которого используется дифференциальный усилитель, к выходу которого подключен нульиндикатор 9, состоящий, например из реле, обеспеп вающего включение светового или звукового сигнала., Блок сравнения 8 реагирует на разность исходных напряжений, что равносильно отношению ионных токов преобразователя 1, и сравнивает это отношение с некоторой величиной, которая может

4 быть задана в блоке сравнения в широких пределах в виде напряжения. Величина этого напряжения соответствует отношению токов для чистого преобразователя. Сигнал в вакуумметре о замасливании преобразователя будет возникать тогда, когда отношение измеренных ионных токов в реальных условиях будет отличаться в какую-либо сторону от отношения, заданного величиной сравнительного напряжения в вакуумметре.

Наличие сигнала о состоянии преобразователя позволяет увеличить срок службы вакуумметра.

Измерение давления с заданной величиной погрешности обеспечивает правильность отбраковки электровакуумных изделий в процессе их производства, что значительно влияет на срок их службы и выходные параметры.

Формула изобретения

Магнит ораэрядный вакуумметр, содержащий манометрнческий преобразователь магнетронного или инверсио-магнетронного типа, блок высоковольтного переменного напряжения и измеритель разряд ого тока, отличающийся тем, что, с

25 целью Возможности сигнализации О недопустимом замасливании электродов преобразователя при наличии паров масла в Объеме ионизации, он снабжен операционным усилителем, подключенным к одно. му из электродов преобразователя, разделителем импульсов сигнала по полярности, инвер тором, блоком сравнения и нуль- индикатором, при этом выход усилителя соединен с входом разделителя, один выход которого соединен через инвартор с одним из входов блокг сравнения, а другой выход разделителя подсоединен ко входу измерителя и второму входу блока сравнения, выход которого подключен к нуль-индикатору.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР У 411334, „„. G01 L21/34, 1971.

2. Авторское свидетельство СССР Х 474718, кл. G 01K 21/34, 1973.

566156

Составитель О. Полев

Техред Н. Андрейчук

РедактоР Р. Пурнам

Корректор Н Ковалева

Заказ 2395129

Tape 1101 Подннснос

VHHHAH Государственного комитета Совета Министров СССР но делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г, Умгород, ул. Проектная, 4