Магниторазрядный манометр

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОЬРЕтЮНИЯ г:гиоз (оно гнив

<..ОакаЛИСтмо СЧИХ

Реслублин

К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 16,06,75 (21) 2144765/10

{51) М. Кл.. с-присоединением заявки №вЂ”

G 0l 1 21/34

Государственный номнтет

Совета Мнннстров СССР оо делам нэаорвтвннй н открытнй (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.09.76, Бюллетень №33 (5З) уДК

531.788 (088.8) (45) Дата опубликования опнсания10.06.77 (72) Авторы изобретения

В. Т. Грннченко и Б. П. Тихонов (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ МАНОМЕТР

Изобретение относи гся к области вакуумной метрики, в частности к магнитным электроразрядным манометрам (1) .

Известен магниторазрядный манометр, элек тродная система которого содержит цилиндрический катод, закрытый с торцов крышками, и стержневой анод, который снабжен двумя или более шайбами, размещенными на аноде в цилиндрической полости катода с зазором относительно один другого (2), Такой манометр обеспечивает очистку анода от диэлектрической пленки ионной бомбардировкой при переполюсовке напряжения питания, что увеличивает срок непрерывной работы преобразователя без профилактического обслуживания. Однако эа счет сдвига разряда при смене знака питания в область более низкого вакуума очищение анода возможно только в сравнительно узкой полосе давления. В ряде случаев в силу технологических причин установить необходимое давление невоз-, можно, и, следовательно, не обеспечивается режим очищения анода датчика.

Выдержка преобразователя в течение какого-то времени при измененном знаке напряжения пнташтя не всегда приводит к полной очистке анода, так как образование пленки на аноде происходит стабильно во времени и зависит в основном только от количества масла, попадающего непосредственно в объем иониэации преобразователя. К тому же при смене знака питания образуется пленка на другом электроде, являющемся в это время анодом. Возникновение разряда в области более низкого вакуума прн смене знака питания не позволяет в это время производить измерение давления, т.е. процесс очищения связан с временным отключением манометра от измерительной цели.

Цель изобретения — обеспечение непрерывного очищения электродов преобразователя от диэлектрической пленки ионной бомбардировкой при переменном напряжении питания и проведение измерений при любом знаке напряжения питания, Это достигается тем, что в манометре цилиндрический электрод снабжен кольцевым выступом, расположенным между дисками стержневого электрода.

20 Образование при этом схожих конфигураций разрядного промежутка как со сторонывнутреннего, так и внешне о электродов обеспечивает возникновение разряда при одинаковом давлении независимо

or полярности прокладываемого напряжения пита25 иия.

5276!ч чиг t

На фиг. 1 показана электродная система мано метра: на фиг, 2 -- график зави имости разрядного гока > Е отрицательной полярности по отношению к корпусу-земле и график разрядногс: тока положительной полярности Jo no отношеник> к корпусу-земле (соответственно для отрицательной и положительной полярности напряжения питания).

Электродная система манометра содержит внутренний стержневой электрод 1 и внешний цилиндрический электрод 2. Электрод !,; представляет собой стержень, на котором укреплены на некотором расстоянии один от другого два диска. Внешний электрод 2 — цилиндр, закрытый с торцов крышками и имеющий внутри кольцевой выступ 3.

Магнитное поле Н направлено вдоль оси электродов 1 и 2, Диаметр и толщина выступа 3 выбирается из условия обеспечения максимального сближения по конфигурации разрядных промежутков как со стороны внешнего 2, так и внутреннего электродов 1.

На любой из электродов 1 и 2 преобразователя подают знакопеременное напряжение питания, а измерение разрядного тока производят в цепи другого электрода. Таким образом, за полный период напряжения питания эа счет ионной бомбардировки катода происходит поочередное очищение электродов 1 и 2 манометра.

Сближение характеристик по зажигаемости обеспечивает проведение при любом знаке напряжения питания измерение давления одновременно с обеспечением режима "самоочищения" преобразователя.

Описываемый маномегр с переменным напряжением питаш>я с эффек и»нь>м значением +2,1 кв, с частотой 501 ц, синусоядальной формы, при напряженности магнитно> о поля не менее 1100 э имеет стабильные характерисгики в области давлений

1,10 " — 1,10 мм рт.ст. Время непрерывной работы без профилактического обслуживания такого манометра на вакуумных системах, Ht: имеющих защиты от проникновения паров масла в откачивае1р мый объем в указанной области давлений, составило не менее 4000 час.

Формула изобретения

Магнитораэрядный манометр, содержащий цилиндрический электрод с отверстием в торцовой крышке и размещенный внутри него стержневой электрод с двумя дисками, отличающийся

Ю тем, что, с целью обеспечения непрерывного очищения электродов от диэлектрической пленки ионной бомбардировкой при переменном напряжении питания и возможности проведения измерений при любом знаке напряжения питания, в нем цилиндриМ ческий элек- род снабжен внутренним кольцевым выступом, расположенным между дисками стержневого электрода, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

Зг i. Лекк Жд. Измерение давления в вакуумных системах, М., 1966, стр,122.

2. Авторское свидетельство СССР И 417702, кл..G 01 L 21/34, 1974, 40

f0 ф-б

Фиг. 2

Составитель О. Полев

Техред И. Астэлош

Редактор Л. Ушакова

Корректор И, Гоксич

Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам нзобретеиий и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 64I/26

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4