Устройство для наблюдения влажных образцов при помощи растрового электронного микроскопа

 

(J (11) 5757 3. 7

Союз Советских

Социалистических

Республик (51} M. Кл.

Н 01 Х, 37/26

Государственный намнтвт

Саввтв Министров СССР вв делам изобретеннй и открытий

Д) УДК537, 533.7 (088,8) (72) Авторы изобретения

Э. И. Рау, Г. В. Спивак, Н, М. Карелин и С, В. Лаврищев (71) Заявитель

Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени.государственный университет им. М. В. Ломоносова (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ НАБЛ10ДЕНИЯ ВЛАЖНЫХ ОБРАЗЦОВ

ПРИ ПОМОЩИ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

СПИ

ИЗОБР

К АВТОРСКОМ (61) Дополнительно (22) Заявлено 24,0 с присоединением з (23) Приоритет (43) Опубликовано (45) Дата опублик

Изобретение относится к электронной микроскопии и предназначено для изучения при помощи растрового электронного микроскопа влажных биологических и геологических объектов.

Известно устройство - специальная MMкрокамера, содержащая воздух при таком давлении и насыщенности парами влаги, при которых не происходит высушивание влажных образцов в процессе их исследования. (1). Его недостатком является ограничение размеров исследуемых образцов объектами микронной толщины. Недостаток этот обусловлен самой спецификой работы просвечивающего электронного микроскопа.

Известно также устройство для исследования массивных влажных объектов при помощи растрового электронного микроскопа 121. Это устройство содержит регистрирующую систему, источник влаги, микрокамеру, в крышке которой выполнена узкая кольцевая щель, а на крышке установлен держатель образца.

К недостаткам устройства следует отнесть тот факт, что образец в нем не находится при исследовании в естественных условиях; это снижает информативность об его истинной структуре. Указанный недостаток обусловлен относительно невысоким давлением паров воды и газа около образца и весьма малой (доли миллиметра) высотой образующегося столба паров влаги и газа. Кроме того, в устройстве сильно затруднена стабильная регистрация нолуча ð емой от образца информации, а параметры окружающей образец среды (влажность, давление, температура) очень критичны к размерам кольцевого отверстия.

Целью изобретения является расширение

15 класса исследуемых в естественных условиях образцов.

Указанная цель достигается тем, что устройство снабжено магнитной линзой, в поле которой помещена микрокамера с дер20 жателем образца; магнитопровод линзы содержит канальное отверстие для прохождения первичного и вторичного электронных пучков.

На чертеже представлена схема предла25 гаемого устройства, состоящего из магнитТираж 976

Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, ной линзы 1, магнитопровода 2, микрокамеры 3 со съемной герметичной крышкой

4, в которой выполнены капиллярные отверстия 5, держателя образца 6. Причем магнитопровод 2 выполнен с канальным цилиндрическим отверстием 7. Устройство работает при помощи растрового электронного микроскопа 9 и содержит также регистрирующую систему 10.

Работа устройства осуществляется следующим образом.

Остросфокусированный объективом 9 электронный зонд 8 через канальное отверстие 7 достигает поверхности исследуемого образца, помещенного в держателе 6.

Генерированные зондом вторичные электроны, несущие информацию о влажном образце, при выходе из канала 7 (магнитное поле линзы 1 способствует беспрепятствен-, gp ному прохождению вторичных электронов через этот узкий и длинный канал) улавливаются регистрир„ющей системой 10. Из мищи камеры 3 в ооласть образца через капиллярные отверстия 5 происходит истечение газа и паров влаги. Облако этих паров довольно стабильно по плотности и давлению, так как медленное истечение паров и газа через канальное отверстие 7 в магнитной линзе 1 компенсируется диффузным прито- З0

ЦНИИПИ Заказ 4044/37 ком очередной порции паров влаги и газа через капилляры 5 из камеры с влажной средой 3. Камера через натекатель и малое отверстие в штоке-держателе сообщается с атмосферой.

Формула изобретения

Устройство для наблюдения влажных образцов при помощи растрового электронного микроскопа, содержащее регистрирующую систему, источник влаги, микрокамеру, в крышке которой выполнены капиллярные отверстия, и на ней установлен дер жатель образца,, о т л и ч а ю ш е ес я тем, что, с целью расширения класса исследуемых в естественных условиях образцов, оно снабжено магнитной линзой, в поле .котовой) помещена микрокамера с держателем образца, магнитопровод линзы содержит канальное отверстие для прохождения первичного и вторичного электронных пучков.

Источники информации, принятые во вни« мание при экспертизе:

1 У. Swift, А. Bvown, У. Scient. ТЪИ vugg, 1970, V 33, р. 924.

2. М C, Lane Рчос Зги SEM SgmP Т

СЫсюЯо 1970, р. 41.