Сверхвысоковакуумная установка

 

0 П И С А Н И Е 11вв80349

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Ооюз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.12.75 (21) 2305812/06 с присоединением заявки М (51) М. Кл.2 F 04В 37/08

ГосУдаРствениый комитет (23) 11риоритет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 621 527 8 (088.8) (43) Опубликовано 15.11.77. Бюллетень № 42 (45) Дата опубликования описания 23.11.77 (72) Авторы изобретения

В. И. Бондаренко, Ю. А. Груздев, А. С. Марков, Е. М. Медведев, Л. Г. Носик и В. К. Северин

Физико-технический институт низких температур АН Украинской ССР (71) Заявитель (54) СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к устройству сверхвысоковакуумных установок.

Известны сверхвысоковакууыные установки, содержа|щие герметичный корпус с загрузочным л юком и размещенную внутри герметичную рабочую камеру с радиационным экраном и испытуемым объектом, соединенную с систе мой предварительной откачки f 1).

В этой установке загрузку и закрепление объекта внутри камеры приходится вести через загрузочные люки корпуса и камеры, что затрудняет ее обслуживание.

Известны также сверхвысоковакуумные установки, содержащие герметичный корпус с загрузочным люком и охлаждаемую рабочую камеру с радиационным экраном и испытуемым объектом, соединенную с системой пред варительной откачки (2).

В известной установке объект крепится к крышке камеры и устанавливается внутри ее одновременно с крышкой.

Однако в случае горизонтального размещсния корпуса и боль шоно веса испытуемых объектов,возникает необходимость в применении усиленных несущих конструкций на крышке н специальных подъемных устройств, что удорожает установку и усложняет ее обслуживание.

С целью снижения трудоемкости обслуживания при горизонтальном размещении корпуса,в предлагаемой установке камера имеет опоры, одна из которых со стороны загрузочного люка закреплена с возможностью перемещения на направляющей балке, |расположен5 ной внутри корпуса, а другая выполнена в виде рамы, шарнирно соединенной с корпусом; ,кроме того, рама выведена за пределы камеры через сильфон, сообщающий полость камеры с системой предварительной откачки; ра10 диационный экран и испытуемый объект закреплены на раме.

На фиг. 1 показана предлагаемая установка, продольный разрез; па фиг. 2 — разрез»о

А — А на фиг. 1; на фпг. 3 — разрез по Б- — Б на

15 фиг. 1.

Внутри гермети1п|ого корпуса 1 с крышкой

2 расположены герметичная охлаждасмая рабочая камера 3 с загрузочным люком 4 н радиационные экраны 5 и 6. Со стороны загру20 зочного люка 4 камера 3 снабжена опорой, одна нз которых содержит закрепленную и» осн 7 скобу 8, на последней установлены подшипники 9, опирающиеся на направляющую балку 10, размещенную внутри корпуса 1, а

25 другая опора, выполнена в виде рамы 11, шарнирно соединенной с корпусом 1. 3а пределы камеры 3 рама 11 выведена через сильфон 12, сообщающий полость камеры с системой предварительной откачки (на чертежах не показа30 на). Расположенный внутри камеры 3 радиао80349 ционный экран 13 и испытуемый объект 14 закреплены на раме 11.

Обслуживание установки, например ее разборка, производится следующим образом.

Разбирается болтовое соединение крышки 2 с корпусом 1, который убирается в сторону; открывая свободный доступ к рабочей .камере

3 и экранам 5 и 6.

С борка установки производится в обратной последовательности.

Формула изобретения

1, Сверхвысоковакуумная установка, содержащая герметичный корпус с загрузочным люком и размещенную внутри герметичную охлаждаемую рабочую;камеру с радиационным экраном и испытуемым объектом, соединенную с системой предварительной откачки, о т л ич а юitq а я с я тем, что, с целью снижения тру4 доемкости обслуживания при горизонтальном размещении корпуса, камера имеет опоры, одна из которых со стороны загрузочного люка закреплена с возможностью перемещения по

5 направляющей балхе, размещенной внутри корпуса, а другая выполнена в виде рамы, шарнирно соединенной с корпусом.

2. Установка по п. 1, о т л и ч аю щая с я тем, что рама выведена за пределы камеры

10 через сильфон, сообщающий полость камеры с системой предварительной откачки.

3. Установка:IIO п. 1, отличающаяся тем, что радиационный экран и испытуемый объект закреплены на раме, 15 Источники информации,,принятые .во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство № 455203, кл.

iF .04В 37/08, 1972.

2. Авторское свидетельство № 391286, кл.

20 F 04В 37/08, 1971.

580349 фиг 3

Сост1BIITcëü Н. Юшин

Тсхрсд Н. Рыбкина

Корректор А. Степанова

Редактор Т. Янова

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2587/4 Изд. № 939 Тираж 881

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений п открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4/5