Подвеска для гальванической обработки деталей

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕ Ы ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ нн 600216

Сова ьоветсииа

Социалистических

Ресоублии (61) Дополнительное к авт. свид-ву (51) М. Кл.з С 25D 17/06 (22) Заявлено 03.01.77 (21) 2440002/22-02 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.78. Бюллетень № 12 (45) Дата опубликования описания 04.04.78

Государственный яомитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.3.035.227 (088.8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Г. В. Майборода, П. С. Таран и В. А, Мирошников (71) Заявитель (54) ПОДВЕСКА ДЛЯ ГАЛЬВАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к области нанесения гальванических покрытий, в частности к оборудованию для гальванической обработки плоских деталей, например для электролитического оксидирования и полирования подложек из алюминия и его сплавов, и может быть .использовано в радиоэлектронной промышленности.

Известна подвеска для гальванической обработки деталей, содержащая раму с опорны- 10 ми элементами и основание с закрепленными в нем подпружиненными электропроводнымн стержнями, выполненными из титана (1).

Однако при использовании этой подвески прижим контактирующих стержней осущест- 15 вляется со стороны плоскости детали. На участках в местах прижима стержней наблюдаются нарушения оксидного слоя, что недопустимо для подложек микросхем, так как на них оксид выполняет функци|и электроизоля- 20 ции.

Прижим со стороны плоскости детали в случаях, если деталь имеет толщину менее

1 мм, вызывает ее коробление, что также недопустимо, так как коробление отрицательно 25 влияет на точность изготовления и качество микросхем.

Целью изобретения является повышение качества обработки путем уменьшения коробления и обеспечения сплошности и однородно- 30 сти оксидного слоя на рабочих боковых поверхностях плоских деталей.

Для этого в предлагаемой подвеске для гальванической обработки деталей электропроводные стержни установлены с возможностью контактнрования с деталью по торцовой поверхности, а опорные элементы выпо"",нены в виде роликов.

При этом электропроводные стержни могут быть выполнены из алюминия.

На фиг. 1 схематически изображена предлагаемая подвеска, впд спереди: на фнг. 2 то же, вид сбоку; на фнг. 3 — то же, »»д сверху; на фнг. 4 — то же, впд снизу.

Подвеска содержит раму 1 с опорнымн элементами 2, выполненными в виде роликов.

Три стороны рамы выполнены цельнымн, а сторона 3 соединена с остальными с помощью винтов 4 и 5.

К раме 1 неподвижно закреплены направляющие 6 и 7, на которые с помощью соедннения шпп — паз установлено основание 8 е возможностью свободного перемещения»до,.ц, направляющих 6 н 7, служащее для крепления двух электропроводных стержнен 9 нз алюминия, связанных с основанием 8 посредством резьбового соединения, заостренные концы которых контактируют с деталью !О.

Для подвода тока к электропроводным стержням 9 имеются гибкие шины 11, закрепленные между гайками 12.

На раме 1,имеется неподвижно закрепленный кронштейн 13, на консоли которого установлен регулируемый шток 14, который шарнирно соединен с основанием 8. С помощью пружины 15,,расположенной на штоке 14, основание 8 постоянно удерживается в нижнем положении и оказывает постоянное давление через стержни 9 на деталь. Шток 14 имеет винтовую резьбу по всей длине, усилие прижима его к основанию 8 задано положением гайки 16. Движение штока вниз ограничено гайкой 17.

Крюк 18, с помощью которого предложенное приспособление устанавливают в ванне, соединен с рамой 1 винтами 19.

В процессе работы шток 14 оттягивают вверх вращением гайки 17. Выворачивают винт 5 на несколько оборотов с целью ослабления крепления боковой стороны 3 рамы 1.

Открывают сторону 3 рамы 1 вращением вокруг винта 5.

Устанавливают между опорными элементами 2 деталь 10 и закрывают сторону 3. Затягивают .винт 5 и отпускают шток 14 вращением гайки 16. Затем приспособление с деталью устанавливают с помощью крюка 18.

После электролитической обработки снятие детали с приспособления выполняют в обратном порядке.

Использование предлагаемого приспособления для электролитической обработки подложек из алюминия для микросхем, в котором прижим электропроводных стержней осуществляют со стороны их торцовой поверхности, позволяет обеспечить получение для боковых рабочих поверхностях одно родных и сплошных оксидных слоев, а также умень. шить. величину коробления.

Применение электропроводных стержней с заостренными концами значительно снижает коробление детали, так как площадь контакта стержней с деталью небольшая и для обеспечения необходимого удельного давления в месте контакта требуется малое усилие прижима.

Использование опорных элементов, выполненных в виде роликов, позволяет обрабатывать в предлагаемом приспособлении плоские детали алюминиевых подложек толщиной

0,2 — 1 мм.

Формула изобретения

1. Подвеска для гальванической обработки деталей, содержащая раму с опорными элементами и основание с закрепленными в нем подпружиненными электропроводными стержнями с заостренными концами, отличающ а я с я тем, что, с целью повышения качества обработки путем уменьшения ко роблен ия и обеспечения сплошности,и однородности оксидного слоя на рабочих боковых поверхностях плоских деталей, электропроводные стержни установлены с возможностью контактирования с деталью по торцовой поверхности, а опорные элементы выполнены в виде роликов.

2. Подвеска по п. 1, отлич а юща я ся тем, что электропроводные стержни выполнены из алюминия.

35 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Японии № 49-31185, кл. 12А 42, 1974.