Интерферометр для исследования качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей
ОПИС
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советскнк
Социалистических
Республик (») 625132
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 020876 (21) 2392553/25-28 с присоединением заявки Ю (51) М. Кл.
С1 01 В 9/02
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.0978. Бюллетень Рй 35 (45) Дата опубликования описания 080878 (53) УДК535.854 (088.8) (72) Авторы изобретения
В.А.Зверев, С.А. Родионов,М. Н. Сокольский, 3.И. Ермакова и Б.С.Королько
Pl) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ КАЧЕСТВА
ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И ПРОЗРАЧНЫХ
НЕОДНОРОДНОСТЕЙ
Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для исследования качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей и может найти применение в 5 производстве, з.снятом изготовлением оптических элементов, а также при исследовании газов, жидкостей и других прозрачных сред.
Известен интерферометр для иссле" 10 дования качества оптических элементов, содержащий источник света, осветительную систему, рассеивающую пластину, формирующую рабочий пучок, заполняющий всю апертуру исследуемого оптического элемента и узкий опорный пучок и систему наблюдения интерференционной картины (11 .
Недостатком известного интерферометра являются большие потери света и невозможность высокоточного кОнтроля из-за аберраций, возникающих вследствие неидентичности пучков, используемых в схемах изготовления пластины.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для исследования ка-. чества оптических элементов и прозрачных неоднородностей, содержащий источник света, установленные последовательно по ходу лучей осветительную систему, светоделитель, блок фокусировки пучка лучей, выполненный в виде сферического зеркала, блок наблюдения интерференционной картины и регистратор (2) .
Однако неустойчивость интерференционной картины к внешним воздействиям в известном интерферометре приводит к потере точности при контроле оптических элементов, а ограниченная апертура прибора, вызванная аберрациями светочувствительного элемента, приводит к понижению точности
Для повышения точности измерений светоделитель выполнен в виде пластины с центральным отверстием, интерферометр снабжен плоским зеркалом с отражающим покрытием, расположенным в отверстии светоделителя под углом
90 к его поверхности, а блок фокусировки выполнен в виде отражающего компонента с положительной оптической силой.
На чертеже дана схема прецлагаемого интерферометра.
Он содержит источник 1 света, ос" ветительную систему 2, светоделительную пластину 3 с центральным отверс625132
Составитель В.Горшков
Редактор T.Øàrîâà Техред К. Гаврон Корректор М. Демчик
Заказ 5388/35 Тираж 872 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35 Раушская наб., д.4/5
Филиал ППП Патент, r.Óæãîðîä, ул.Проектная,4
