Устройство для литья пленки

 

ОПИС

ИЗОБРЕ

К АВТОРСКОМУ С

Союз Советских

Сецкалнсткческкх

Республик (61) дополнительное к (22) Заявлено 07,02.77 (2 с присоединением заяв (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.10.78.Ь|оллетень ¹

05 С 5/02

Государственный комитет

Совета Министров СССР, но делам изобретений и открытий

УДК 66 . 01 2-52 (088.8) (45) дата опубликования описания 230878 (72) Авторы изобретения

Ю.В.Кодра, Б.A.Ïàëü÷åâñêèé и A.P.Ýààåðáíûé

Львовский ордена Ленина политехнический институт (7Ц Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИТЬЯ ПЛЕНКИ

Изобретение относится к области изготовления пленок методом литья иэ жидкой ласты и может быть использо вано в химической промышленности, а пленки — в электронной промышленнос ти, например, при изготовлении пленочных покрытий.

Известно устройство для изготовления пленок методом литья, содержащее воронку для жидкой пасты, установленную над подвижной технологической подложкой )1) . В процессе литья паста поступает через щель воронки на движущуюся подложку.

Недостатком укаэанного устройства является нестабильность толщины отливаемых пленок вследствие снижения уровня и тем самым гидростатического давления пасты в воронке по мере ее расхода.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для литья пленки, содержащее стол для технологической подложки, установленную над столом герметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воздуха $2J.

В литейной воронке образуется суммарное (гидростатическое + воздушное) давление вытеснения пасты на подложку, в котором доля гидростатического давления незначительна, вследствие чего изменение гидростатического давлени я, происходящее по мере вытеснения пасты, мало изменяет давление вытеснения пасты иэ воронки, что обеспечивает более равномерный расход пасты и, следовательно, стабильность толщины изготавливаемой пленки.

Однако при изготовлении преэиционных пленок, используемых в электронной промышленности, даже незначительное отклонение толщины пленки от номинального размера, вызываемое изменением суммарного давления вытеснения по мере расхода пасты в во ронке, нежелательно.

Целью изобретения является повышение стабильности толщины изготавливаемой пленки.

Эта цель достигается тем, что известное устройство для литья пленки, содержащее стол для.технологической подложки, установленную над столом герметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воздуха, снабжено узлом измерения тол-, щины пленки и регулятбром давления, 627868 причем выход узла измерения толщины пленки соединен со входом регулятора давления,, а выход регулятора давления соединен с литейной воронкой.

При этом узел измерения толщины пленки выполнен в виде пневматической пары дроссель — сопло, подключенной к трубопроводу сжатого воздуха, причем сопло расположено над столом в месте нанесения пленки на технологическую подложку.

Кроме того, литейная воронка со- i lO единена с атмосферой через регулируемый пневматический дроссель.

На чертеже изображено устройство для литья пленки, общий вид.

Устройство содержит стол 1 для технологической подложки 2. Над столом установлена литейная воронка 3> имеющая щель 4. К воронке подведен трубопровод 5 сжатого воздуха, соеди. няющий ее с выходом регулятора давления б. Воронка соединена с атмосФерой через регулируемый пневматический дроссель 7р позволяющий устанавливать требуемое номинальное давление вытеснения пасты из литейной воровки 3. Регулятор б соединен с трубощмэвожом 8 сжатого воздуха °

Узел 9 измерения толщины аленки

10 состоит иэ дросселя 11 и измерительного сопла 12, соединенных между собой трубопроводом 13. Сопло 12 3(30 расположено с заданным зазором над столом 1. Выход узла Э измерения толщины пленки 10 соединен трубопроводом 14 со входом регулятора давления б. Для перемещения технслогичес- 35 кой подложки 2 служит механизм привода 15.

Устройство для литья пленки работает следующим образом.

Литейную воронку 3 заполняют пас- 40 той, приводят в движение технологическую подложку 2 и подают сжатый воздух иэ пневмосистемы. Под суммарным (гидростатическое + пневматическое) давлением вытеснения наста из литейной воронки 3 через щель 4 поступает на технологическую подложку

2, движущуюся по столу 1. Образовавшаяся пленка 10 на технологической подложке 2 проходит в зазор между столом 1 и измерительным соплом 12.

При отклонении толщины пленки 1 от номинального значения изменяется зазор между ее поверхностью и соплом

12, Это приводит к изменению расхода воздуха через сопло 12 и измене- 55 нию давления в трубопроводе 13, а значит и на входе регулятора б, Так, при увеличении толщины пленки (по сравнению с номинальной) зазор у сопла 12 уменьшается, расход воздуха через него падает, что приводит к возрастанию давления в трубопроводах.

13, 14 и на входе регулятора б. Увеличение давления на входе регулятора б уменьшает его проходное сечение, что при неизменном сечении дросселя 7 вызывает уменьшение давления в литейной воронке 3. .Это приводит к уменьшению .расхода пасты до тех пор, пока толщина отливаемой пленки, 10 не достигнет номинального значения., При уменьшении толщины отливаемой пленки 10 по сравнению с номинальным значением зазор сопла 12 увеличивается, давление воздуха на выходе регулятора б падает, что приводит к увеличению расхода пасты до тех пор, пока-толщина отливаемой пленки 10 не достигнет номинального значения.

Формула изобретения

1. Устройство для;литья пленки, содержащее стол для технологической подложки, установленную над столом герметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воздуха, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения стабильности толщины изготавливаемой пленки, оно снабжено узлом измерения толщины, пленки и регулятором давления, причем выход узла измерения толщины пленки соединен со входом регулятора давления, а выход регулятора давления соединен с литейной воронкой.

2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что узел изме- рения толщины пленки выполнен в виде пневматической пары дроссель— сопло, подключенной к трубопроводу сжатого воздуха, причем сопло расположено над столом в месте нанесения пленки на технологическую подложку.

3. Устройство по пп.1 и 2, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что литейная воронка соединена с атмосферой через регулируеьий пневматический дроссель.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. йвторское свидетельство СССР

Р 450597, кл. В 05 С 1/04, 1971.

2. Патент США 9 2974364, кл, 18-15, 1965.

627868

Составитель Л.Александров

Техред Н.Бабурка Корректор Н.Тупица

Редактор Т.Девятко

Филиал ППД Патент, r. ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 5694/6 Тираж 905 Подписное

ЦИНИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауюская наб., д. 4/5