Гидравлический привод

 

б.,бл Qtå э

ОЛИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ фф Ял. к

1 (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14.09.76 (21) 2401432/25-06 с присоединением заявки ¹ (51) М. Кл.

F 15В 15/00

Государственный комитет (23) Приоритет

Совета Министров СССР (43) Опубликовано 30.10.78. Бюллетень № 40 по дела..л изобретений (53) УДК 62-82 (088.8) и открытий (45) Дата опубликования описания 15.09.78 (72) Авторы изобретения

А. H. Седов, Ю. И. Урывский и В. А. Попов (71) Заявитель (54) ГИДРАВЛИЧЕСКИЙ ПРИВОД

Изобретение относится к приводам, преимущественно для механизмов точных перемещений, и может быть использовано, в ча тносп:, для прецизионного перемещения подвижного зеркала интерферометра Майкельсона.

Известен прецизионный гидравлический привод, предназначенный для осуществления линейных микроперемещений объекта, например зеркала интерферометра.

Известный гидравлический привод представляет собой камеру с установленным в ней винтом-поршнем, заполненную жидкостью, а одна стенка камеры выполнена в виде тонкой металлической мембраны. Работа этого привода основана на перемещении упомянутой мембраны при изменении приложенного к одной из ее сторон гидростатичсского давления, создаваемого вытесненной поршнем жидкостью (1).

Недостатки вышеописанного привода заключаются в том, что оно не обеспечивает достаточной точности и плавности перемещения зеркала интерферометра и его плоскопараллельность вследствие влияния вибрации привода «винт-поршень» на мембрану, а отсутствие точной дозировки жидкости в камеру ведет к ее протеканию через уплотнения; кроме того, большое время холостого хода винта-поршня снижает производительность микропозиционера.

Наиболее близким к данному изобретению техническим решением является гидравлический привод, содержащий гидроцилнндр с полым поршнем, образующим под5 поршневую и надпоршневую полости, и неподвижно закрепленный на крышке цилиндра полый шток, внутренняя полость которого связана с исполнительным механизмом (2). С помощью этого гидропривода осуще10 ствляется ускоренное предварительное перемещение поршней силовых цилиндров исполнительного ме«анизма и автоматическое переключение на подачу в нп«жидкости высокого давления.

15 Недостатками этого привода является то, что конструкция его не дает возможности регулировать скорости перемещения силовых поршней и не обеспечивает ее стабильности; производительность его низка вслед20 ствие большого времени холостого хода, почти равного времени рабочего «ода; конструкция его сложна и громоздка из-за потребности в дополнительны«коммуникациях для сжатого воздуха.

25 Цель изобретения — повышение то гности и стабильности перемещения, а также повышение производительности привода.

Поставленная цель достигается тем, что в поршне параллельно оси выполнен сквоз30 ной канал для сообщения подпоршневой и надпоршневой полостей и поршень снабжен

630463

Пзд. М б72

Заказ 1807/1б

Тираж 87б

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2 закреплсшюй па торце нитью и механизмом типа «ворот», связанным с нитью.

На чертеже схематически изображен гидравлический привод, продольный разрез.

Гидравлический привод содержит гидроцилипдр 1 с полым поршнем 2 внутри, образующим надпоршневую 3 и подпоршневую

4 полости, соединенные каналом 5: на крышке б установлен полый шток 7, через канал 8 которого внутренняя полость поршня 9 связана с маслопроводом 10. Гидравлический привод снабжен механизмом типа «ворот» 11 с нитью 12 и индивидуальным электроприводом (на чертеже не показан) .

Маслопровод 10 связан с рабочей камерой

13 исполнительного механизма 14, снабженного подвижным органом 15, осуществляющим точные перемещения.

Гидравлический привод работает следующим образом.

В исходной позиции поршень 2 находится в нижнем положении (объем подпоршневой полости 4 минимальный) . При включении электропривода механизма «ворот» 11 нить

12 поднимает цилиндр 1. Рабочая жидкость из подпоршневой полости 4 через маслопровод 10 поступает в камеру 13 исполнительного механизма 14, в котором давление жидкости преобразуется в точные перемещения подвижного органа 15 исполнительного механизма 14. При отключении механизма «ворот» 11 от электропривода поршень 2 под действием силы тяжести падает вниз (при этом скорость его подбирают конструктивно сечением капала 5), а жидкость из поршневой полости 4 по каналу 5 поступает в подпоршневую полость 3. Затем цикл работы повторяется.

Благодаря тому, что гидравлический привод выполнен отдельно от исполнительного механизма точных перемещений и соединен с ним гибким маслопроводом, вибрации, возникающие в гидроприводе, не передаются на исполнительный механизм, а принудительное перемещение полого поршня вверх (рабочий ход) от механизма «ворот» и его свободное падение вниз (холостой ход) по10 зволяют выбрать оптимальную скорость подвижного органа исполнительного механизма.

15 Формула изобретения

Гидравлический привод, преимущественно для механизма точных перемещений, содержащий гидроцилиндр с полым поршнем, 20 образующим подпоршневую и надпоршневую полости, и неподвижно закрепленный на крышке цилиндра полый шток, внутренняя полость которого связана с исполнительным механизмом, отличающийся

25 тем, что, с целью повышения точности и стабильности перемещений, а также повышения производительности, в поршне параллельно оси выполнен сквозной канал для сообщения подпоршневой и надпоршневой

30 полостей, а поршень снабжен закрепленной на торце нитью и механизмом типа «ворот», связанным с нитью.

Источники информации, принятые во внимание нри экспертизе

35 1. «Приборы для научных исследований», 1978, Ко 5, с. 30.

2. Лвторское свидетельство СССР

М 89б68, кл. F 15В 3/00, 1950.