Привод подвижного зеркала интерферометра

 

Союз Советских

Социалистических

Республик (i ii 64 I 273 (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 17.12.75(И) 2300461/18-25 (5)) М. Кл.

О о1 в 9/о2 с 9рнсоедииеиием заявки №

Гкфарстеенимх хвмхто ссср ее делам кзвбретенхй и открытий (23) Приоритет(Я) УДf(535.827. .6 { 088.8) Опубликовано05.01.79.бюллетень №- 1

Дата опубликования описания 06.01.79 (72} Автори изобретения

В. Г. Клементьев в B. В. Архипов (ы) привОд подвижного зи кллл инта ил огас п.л

Изобретение относится к оптико-интерференциоиным устройствам и может быть использовано в быстросканирующнх Фурьеспектрометрах низкого разрешения н спектрометрах Фабри-Перо.

Известны приводы подвижного зеркала интерферометров, в которых для перемещения зеркала используются пьеэодвигатели (1, либо линейные двигатели злектромеханического типа j2I.

Известный привод подвижного зеркала интерферометра j3) содержит неподвижный шток и мембраны, укрепленные с одной стороны на штоке, а с другой — на неподвижном основании.

Недостатком известного устройства является наличие паразитной модуляции на выходе интерферометра, которая обусловлена наличием переменной составляющей наклонов зеркала прн движении, вследствие ошибок соосности и параллельности установки мембран, приводящей к паразитной модуляции полезного сигнала, Целью изобретения является уменьшение паразитной модуляции выходного сигнала.

Указанная цель достигается тем, что в приводе подвижного зеркала кнтерферометра известной конструкции, содержащем шток, ненодвнжное основание и мембраны, укрепленные с одной стороны на штоке, а с другой — на неподвижном основании, он снабжен двумя рамками с выступами, прн этом. рамки устанокчены на неподвижном основании, а одна мембрана защемлена между выступамн.

Конструкция привода подвижного зеркала изображена на чертеже.

Устройство содержит неподвижное зеркало 1, подвижное зеркало 2, подвижный шток 3, неподвижное основание 4, мембраны

5 и .6, рамки 7 н 8 с выступами и двигатель 9.

Привод работает следующим образом.

5 В сканирующем интерферометре неподвижное зеркало 1 расположено параллельно подвижному зеркалу 2, которое установлено на подвчжном штоке 3, соединенном с неподвижным основанием 4 мембранами 5 и 6.

Мембрана б защемлена между соединенны20 ми g неподвижным основанием рамками

8, имеющими выстугы. Подвижный шток соединен с двигателем 9.

Оптическое излучение, попавшее в интерферометр, подвергается многократному от64127:3

Фориулп изобретения дг

Составитель А МедведааТекред О. Луговая Корректор Ji. Веселовская

Тираж Уба Подписное цИИИПИ Государственного комитета CCCP

lio делам язооретеяяи и открытиЙ

i i М35, йосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патеит>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор В. Сиирягяяа

Заказ 7494 35 ражению между неподвижным и подвижным 2 зеркалами. Перемещение зеркала 2 линейно, параллельно самому себе и возвратно-поступательно осуществляется изменением разности хода интерфериру1ощих пучков, т. е. Происходит сканирование, результатом которого является переменная ннтерференционная картина. При установке подвижного зеркала на подвижном штоке 3 такое перемещение происходит под действием привода 9, например линейного двигателя электродинамического типа. При наличии несоосности или непараллельности установки мембран между зеркалами имеет место угол наклона, который при движении является переменной величиной. Он обусловливает пе- >5 ременную контрастность интерференционной картины, что проявляется в виде паразнтной модуляции и итерферо г ра ми ы. Юсти ров ка сканирующего интерферометра производится в два этапа: в статике и динамике. Б статике юстировка осуществляется для одноГО ЙОлОжения зеркал. П ри этом п редва р и тельной параллельности зеркал добиваются изменением их взаимного положения. Статическая юстнровка не позволяет обнаружить погрешностей в изготовлении мембран и сбор- 75 ке всего интерферометра. В динамике имеет местО ВтОрой этап 1осТН p0B v H, и р и KGTopoM в процессе перемещения зеркала и при не прерывной регистрации интерферограммы производится изменение давления рамки 8 с выступамн на мембрану 6 посредством непрямолинейного изменения поло>кения рамки 8. Это сопровождается натяжением мембраны и перемещением подвижного штока 3

s направлении натяжения.

Процесс юстировки сканиру1ощего интерферометра продолжается до исчезновения паразитной модуляции полезного сигнала, В таком положении рамка 8 жестко фиксируется.

Данный сканирующий интерферометр по сравнению с аналогами имеет большее быстродействие и большую величину изменения разности хода, что обеспечивает высокую производительность и спектральное разрешение спектрометров, а по сравнению с прототипом имеет более высокую контрастность интерференционной картины, вследствие уменьшения углов наклона зеркала при перемещении, что сопровождается уменьшением паразитной модуляции выходного сигнала интерферометра,т. е. увеличением спектрального разрешения спектрометра и точности измеряемого спектра.

Привод подвижного зеркала интерферометра, содержащий шток, неподвижное основание и мембраны, укрепленные с одной стороны на штоке, а с другой — на неподвижном основании, отличающийся тем, что, с целью уменьшения паразиткой модуляции выходного сигнала, на неподвижном основании установлены две рамки с выступами, а одна мембрана защемлена между выступами

Источники информации, принятые во вни мание при экспертизе

1. Интерферометр Фабри-Перо. Приборы для научных исследований,№ 10, 1966, с. 103

2. Интерферометр Фабри-Перо с электромеханической системой сканирования, ПТЭ № 4, )967, с. 235.

3. Сканируюп1ий интерферометр

Э.И; К.И.Т. № !4, фер. 78, 965.