Насос для откачки водорода
.!
I с
О П и C""А-Й и и
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
" 653425 (61) Дополнительное к ает. еиид-ву (22) Зеивлеио 23.05.77(21) 2д87717/2g О6 е присоедииеииеи эаавкн Рй (23) Приоритет
Опубликовано25.О3.79.бвллетеиь JA 11
Q876 ОпублиЦОВЗнин описания 28,03.79
Г. П. Глазунов н Н. A. Косяк (7t) Заявитель (Ы) НЛСОС ДЛЛ ОТКЛЧжи ВОДОГОДЛ
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известен насос для откачки водорода, содержащий корпус с патрубком для подвода откачиваемого газа и прогреваемую диафрагму, выполненную в виде закрепленных на корпусе труб из материала с высокой пронипаемостью по водороду, преимущественно палладин, причем наружные поверхности труб сообщены с натрубком (11.
Недостатком такого насоса является 1© низкая быстрота действия.
Белью изобретения является повыше ние быстроты действия.
Это достигается тем, что полости труб сообщены с патрубком. При использовьнии насоса в качестве высоковакуумного средства откачки отношение диаметра труб к нх длине определяется формулой
Ъ
d 4й|
26
6 где С1 - диаметр трубы;
В - длина трубы;
9- удельная .быстрота откачки.
t ipH использовании насоса в качестве форвакуумного средства откачки отношение диаметра труб к их длине определяеч ся формулой
ЙЪ 76
Ъ а - aù82Ð где б - диаметр трубы, P — длина трубы; — удельная быстрота откачки; р — среднее давление в трубе.
На чертеже показан предлагаемый насос, разрез.
Насос содержит корпус 1 в виде фланца, подсоединяемого к откачиваемому обьему, с патрубком 2 для подвода откачиваемого газа. К корпусу прикреплена палладиевая диафрагма, выполненная в виде закрепленных на корпусе труб 3.
Трубы 3 закреплены на корпусе 1 так, что их полости сообщены с патрубком 2.
Трубы 3 подключены к источнику переменного напряжения (па чертеже не по1. Насос дла откачки водброда, содерй жаший корпус с патрубком для подвода откачиваемого газа и прогреваемую диао фрагму, выполненную в виде закрепленных на корпусе труб из материала с высокой пронииаемостью по водороду, преимущественно палладиа, о т л и ч а ю ш и й— с я тем, что, с целью.повышениа быстроты действия, полости труб сообщены с патрубком.
2. Насос по п. 1, о т л и ч а ю1$ ш и и с я тем, что при использовании его в качестве высоковакуумного средства откачки отношение труб к их длине опре-. деляется формулой
„, a,J s
29
6 где д - диаметр трубы;
8- длина трубы; б- удельная быстрота откачки.
3. Насос по п. 1, о т л и ч а ю— шийся тем, что при использовании
2$ его в качестве форвакуумного средства откачки отношение диаметра труб к нх длине определяетса формулой
Д fi.S
ЗО t > а - iiigg p
4п где с — диаметр трубы;
8 - длина трубы;
5 --удельная быстрота откачки;
Р„- среднее давление в трубе.
35 Источники информации, принялв во внимание при экспертизе
1. Патент CLUA % 3149775, кл. 417-69, 1970.
Заказ 1269/26
71 Подписное
3 65 казан) через регулятор напряженна 4, трансформатор тока 5 и токоподводящие провода 6. Температура диафрагмы контролируется хромель-копелевой термопаро
7 с потенииометром 8.
Если насос работает в качестве выс ковакуумного средства откачки, расчет длины труб производится по формуле
d Ю
С 5 где . @PHRS трубы е д диаметр трубы;
5- удельная быстрота откачки.
Дла форвакуумной области справедлива формула
1 Ь
$ » —
6 o, 8ãÐ где д - диаметр трубы;
В . длина трубы
5 - удельная быстрота откачки;
Рт„- среднее давление в трубе.
Насос работает следующим образом.
После подсоединения корпуса 1 к от качиваемому об%ему подают напряжение на Тр 3 > ПОдогревая их прямым прОпусканием электрического тока до темО пературы 7ОО С (температура выбирается в зависимости от требуемой быстроты откачки}. Водород проникает через негретый Налладий и химически связываер са кислородом воздуха на наружной поверхности труб. При этом обеспечивается повышение удельной быстроты о качки насоса за счет того, что откачивающей поверхностью являетса внутренняя полость нагретых палладиевых выруб.
Формула изобретения
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Г1роектная, 41
