Способ испытаний изделий на герметичность

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 11665226 бааз боветских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 22.07.77 (21) 2512951/25-28 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.05.79. Бюллетень № 20 (45) Дата опубликования описания 30.05.79. (51) М. Кл.з

G 01М 3!40

Государственный комитет по делам изобретений н открытий (53) УДК 620.165.29 (088.8) (72) Автор изобретения

В. П. Зайцев (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИСПЪ|ТАНИЙ ИЗДЕЛИИ

HA ГЕРМЕТИЧНОСТЪ

Изобретение относится к области испытательной техники и касается испытаний изделий с высокой чувствительностью массспектрометрическим течеискателем.

Известен способ определения места утечки в емкости, работающей в вакууме при низких температурах, заключающийся в том, что емкость помещают в вакуумную камеру, заполняют емкость хладагентом, соединяют вакуумную камеру с масс-спек- 10 трометрическим течеискателем, вытесняют хладагент из емкости путем подачи в нее пробного газа до открытия места утечки (1).

Однако этот способ не позволяет доста- 15 точно точно обнаружить место утечки и ее величину.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ испытаний изделий на герметичность, заключа- 20 ющийся в том, что изделие помещают в вакуумную камеру, заполняют его пробным газом, создают в камере электрический разряд, а о негерметичности судят по свечению пробного газа в зоне разряда .(2).

Однако по такому способу о конкретном расположении места утечки изделия судят визуально по свечению пробного газа, что не всегда возможно для конструктивно сложных изделий, Кроме того, способ поз- 30 воляет установить только место утечки без определения ее численной величины.

Цель изобретения — повышение точности определения места утечки.

Для этого по предлагаемому способу в камере вблизи изделия размещают катодный локализатор, с помощью коммутатора поочередно подают напряжение на ячейки катодного локализатора, а о местоположении течи судят по положению коммутатора при возникновении свечения пробного газа.

На чертеже представлена схема установки для реализации предлагаемого способа.

В полость вакуумной камеры 1 устанавливают контролируемое изделие 2 и катодный локализатор 3, представляющий собой ряд тонких пластин. Габариты пластин выбирают, исходя из требуемой зоны 4 локализации. Каждую из катодных ячеек с помощью электрического кабеля через гермопасту вакуумной камеры выводят за пределы камеры и подключают в электрическую цепь коммутатора 5. Пластины 3 стыкуются между собой через изоляционные прокладки 6. Зона возникновения электрического разряда находится над местом дефекта, в районе которого образуется зона

7 повышенной концетрации гелия. Объект испытания (анод) подключают во внешнюю цепь источника 8 напряжения.

665226 "

Составитель А. Гераськин

Способ осуществляется следующим образом.

Полость вакуумной камеры вакуумируют до давления 10 — — 10 — тор с помощью высоковакуумного агрегата 9, на форвакууме которого устанавливают масс-спектрометрический течеискатель 10, и механического насоса 11. Проверяемое изделие 2 заполняют пробным газом и настраивают течеискатель

10 на пик пробного газа и при наличии утечки в изделии он индицирует приращение парциального давления пробного газа в вакуумной камере. При наличии утечки определяют численную величину сравнением показаний течеискателя по утечке от изделия с показаниями течеискателя от контрольной течи, затем во внешнюю электрическую цепь подается напряжение и при включении тумблера коммутатора 5 в любое из положений 1... n между катодной ячейкой и корпусом изделия возникает электрический разряд. Молекулы пробного газа, выходящие из изделия, ионизируются электронами и захватываются электрическим полем между катодной ячейкой и анодом. В результате этого часть нейтральных молекул пробного газа, выходящих из микродефекта, участвует в формировании разрядного тока, и показания течеискателя уменьшаются. Координация зоны утечки производится по координатной системе, позволяющей фиксировать относительное расположение катодного локализатора и объекта испытания, или по углу поворота центральной либо боковой оси объекта испытаний.

Использование способа позволяет повысить точность определения места утечки и ее величины.

10 Формула изобретения

Способ испытаний изделий на герметич. ность, заключающийся в том, что изделие помещают в вакуумную камеру, заполняют его пробным газом, создают в камере

15 электрический разряд, а о негерметичности судят по свечению пробного газа в зоне разряда, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения места утечки, в камере вблизи изделия раз20 мещают катодный локализатор, с помощью коммутатора поочередно подают напряжение на ячейки катодного локализатора, а о местоположении течи судят по положению коммутатора при возникновении свечения

25 пробного газа.

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 237433, кл. G 01М 3/20, 1967, 30 2. Авторское свидетельство СССР № 168925, кл. G 01M 3/40, 1953, Редактор О. Юркова Корректор Е. Осипова

Техред А. Камышникова

Заказ 1800/1 Изд. № 331

Тираж 1089 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2