Датчик измерения изменения давления в высоковакуумной системе

 

П. Г. Тишин (72) Автор изобретения (71) Зайвитель (S4) ДАТЧИК ИЗМЕРЕНИЯ ИЗМЕНЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ

В ВЫСОКОВАКУУМНОЙ СИСТЕМЕ

Иэобретенне относится к испытательной технике, в частности к измерению на-- текания в высоковакуумной системе.

Известно устройство для обнаружения газа, содержащее чувствительный элемент, 3 выполненный в виде пленки с радиоактивным веществом, диспергированным в оксндированном полупроводнике. Проводимость полупроводника изменяется прн контактироввнии с газом, содержащим углеводороды, вследствие насыщения нмн полупроводников (Ц .

Однако такое устройство имеет избирательную способность реагировать на углеводороды, а так как в любой высокова- 15 куумной системе остаточная среда обязательно содержит углеводороды, то устройство нельзя применять прн контроле гер - . метичности системы.

Кроме того, натекание воздуха нз ат« мосферы в систему характеризуется проннкновением кисЛорода и азота, которые с помощью этого устройства регистрироваться не будут.

Известен датчик измерения давления в высоковакуумной системе, содержащий чувствительный элемент с газопоглощаю-: щими свойствамн н индикатор регистрапин натекания f2).

Этот датчик является наиболее близким по технической сущности н достига.— емому результату к изобретению.

Невысокая чувствительность известного датчика обусловлена избирательностью по кислороду, т.е.. невозможностью зафиксировать полный спектр газов, натекающих в вакуумную систему из атмосферы, а также газоотделеннем со стенок системы во времени.

Целью изобретения является повышение чувствительности, Зто достигается тем, что предлагаемый датчик снабжен установленным на чувствительном элементе преобразователем механнческого напряжения, а чувствительный элемент датчика выполнен иэ материала, допускающего большие механические

6 4 честве чувствительного элемента, допускают их регенерацию.

Предварительная тарировка датчиков для определения величины натекания газа. осуществляется путем измерения привеса чувствительного элемента as определенный промежуток времени при фиксированных температуре и давлении, а также с помощью специальных устройств с калиброванной величиной натекания газа.

Использование изобретения обеспечивает простоту определения натекания газа и высокую чувствительность при минимальных затратах, Предлагаемый датчик обладает избирательной способностью к различным компонентам газа в высоковакуумных приборах, а также измеряет интегральную величину натекания газа.

Миниатюрное исполнение датчика, позволяет использовать его в различных областях вакуумной техники.

Формула изобретения

Датчик измерения изменения давления в высоковакуумной системе, содержащий чувствительный элемент с газопоглощающими свойствами и индикатор регистрации натекания, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствитель ности, он снабжен установленным на чувствительном элементе преобразователем механического напряжения, а чувствитель ный элемент датчика выполнен из материала, допускающего большие механические напряжения, возникающие в процессе его окисления.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Японии М 52-47920, кл. 113 J, 06.12.77, 2. Авторское свидетельство СССР

Х 567985, кл. Q 01 М 3/40, 1976 (прототип).

71759 напряжения, возникающие в процессе его окисления.

На чертеже изображен датчик, общий . вид.

Датчик содержит чувствительный элемент 1 датчика, выполненный .из материала, допускающего большие механические напряжения, возникающие в процессе его окйсления; преобразователь 2 "механического напряжения, установленный на чувст- 30 вительном элементе и преобразующий механйческий сигнал в Электрический; металлическую оболочку 3 для предотвращения свободной деформации чувствительного

-элемента и индикатор 4 регистрации нате 1 калия.

Датчик работает следующим образом.

Чувствительный элемент 1 помещают в высоковакуумную систему (или сообщают с ее атмосферой). Газ (кислород, азот, 20 аргон и др.) взаимодействует с металлом чувствительного элемента, в результате чего последний распухает. Напряжения оболочки чувствительного элемента воспринимает преобразователь 2, преобразуя ме-25 ханическое усилив в электрический сигнал, который регистрирует индикатор 4. Величина механического напряжения чувствительного элемента пропорциональна количеству поглощенноГо газа. >0

Преобразователь 2 механи еского на пряжения MoNer быть выполнен из ферро магнитного материала, тогда при измене нин чувствительйого элемента будут меняться . магнитные свойства преобразова- 35 тела, возникает переменный ток, пропорциональный механическому напряжению, -а следовательно, g количеству поглощенного газа.

Температурный режим чувствительного 40 элемента датчика поддерживается любым известным способом и выбйрается, исходя . из материала чувствительного элемента.

Емкость чувствительного элемента регулируется величиной его сорбционной по- 4> верхности. Материалы, используемые в ка717596

Составитель B. Лазарева

Редактор Л. Народнаа Техред Н, Вабурка Корректор Ñ. Шекмар, Заказ 9827/58 Тираж 1019 Подписное

Ш ИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035; Москва, Ж35, Раушскаа наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул, Проектная, 4