Способ калибровки течеискателя

Авторы патента:

G01M3/40 - с помощью электрических устройств, например путем наблюдения электрических разрядов

Союз Советских

Социалистических

Республик

О П И с А Н И Е i)734520

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ!, . ев, (61) Дополнительное к авт. саид-ву (51) M. Кд. G 01 М 3/40 (22) Заявлено 11.02.77 (21) 245 16 84/25 28 с присоединением заявки №Государственный комитет (23)ПрноритетОпубликовано 15.05.80. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 17.05,80 по делам изобретений и открытий (5З) >АК620.165,.29(088.8) (72) Автор изобретения

В. Н. Зайцев (71) Заявитель (54) СПОСОБ KAJIMBPOBKVi ТЕЧЕИСКАТЕЛЯ

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано при подготовке масс-спектрометрических течеискателей к испытаниям на герметичнссть, Известен способ калибровки течеискателя, заключающийся в том, что к течеискателю подсоединяют контрольную течь известной величины, пропускают весь поток контрольной течи через течеискатель, при этом определяют отсчет прибора тече о искателя, а чувствительность рассчитывают с учетом известной величины потока контрольной течи и отсчета прибора течеискателя наблюдаемого в процессе калибровки К1

Недостатком этого способа является невысокая точность в подсчете чувстви» тельности, вызванная погрешностью в оп-ределении потока контрольной течи и нелинейностью отсчета прибора течеискателя при малых потоках.

Наиболее близким по технической сущ,ности и достигаемому результату к изоб-. ретению является способ калибровки тече2 искателя, заключающийся в том, что определяют величину потока контрольной гелиевой течи, встроенной в течеискатель, и разность показаний прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи и остаточного пика гелия фонового отсчета и рассчитывают реальную чувствительность течеискателя с учетом погрешности определения потока от контрольной гелиевой течи

И.

Недостатком известного способа является небольшая точность определения реальной чувствительности течеискателя,рассчитанная без учета конкретных условий работы течеискателя при испытании;

Бель изобретений вЂ” повышение точности при определении реальной чувствительности течеискателя.

Это достигается тем, что определяют реакционную способность течеискателя Р „ по остаточному пику гелия фонового от счета, затем в зависимостй от реакпион»» ной способности и заданной чувствительнссти при испытании выбирают аптималь35

734,") 2 ..иый режим работы диффузионного насоса течеискателя, после чего дополнительно измеряют показания прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи и фоновые остаточные показания и определяют истин- 5 ное значение величины потока контрольной гелиевой течи, а реальную чувствительность рассчитывают по формуле: (иск. . q-a

1О кс ж где S вЂ” реальная чувствительность течеискателя и. мкм. сала вЂ” истинное значение величины поИСт Ha контрольной гелиевой течи;

В вЂ” показания прибора течеискателя

К Al от контрольной гелиевой течи;

вЂ” фоновые остаточные показания

R прибора течеискателя;

20 с И вЂ” реакционная способность течеЛMKMP).C . искателя

C MB

На фиг. 1 изображена зависимость реак- ционной способности течеискателя от оста- .

5 .точного фонового отсчета и заданной степени герметичности при испытании; на фиг. 2 вЂ” зависимость реакционной способности течеискателя от режима работы диффузионного насоса (мощности подогревателя) .

3О

Способ осуществляют следующим образом.

К течеискателю подсоединяют контрольную гелиевую течь известной величины, определяют показания прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи (сА К ), остаточный пик гелия фонового отсчета (Ф, ), затем по номограмме (фиг. 1) выбирают необходимую реакционную способность течеискателя Рс > в зависимости от

М р и заданной степени герметичности при испытании Q . После этого по номограмме (фиг. 2) выбирают режим работы диффузионного насоса течеискателя Я, в зависимости от необходимой реакционной способности, затем дополнительно изме45 ряют показания прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи, оновые остаточные показания и достоверный отсчет течеискателя 4, равный удвоенному значению флуктуации К<р„, и определяют ис5О тинное значение величины контрольной гелиевой течи по формуле:

-К К с/о ж ист, с и к где К= коэффициент, 2 ((н(р и ) учитываюший

i5 временное изменение парамет ров схемы течеискателя, О а реальную чувствительность расс rr T1 irvrют по формуле:

5= v«r

4 с -с, Предлагаемый способ позволяет определить реальную чувствительность течеискателя с учетом условий проведения испытаний.

Формула изобретения

Способ калибровки течеискателя, заключаюшийся в том, что определяют величину потока контрольной гелиевой течи, встроенной в течеискатель, и разность показаний прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи и остаточного пика гелия фонового отсчета, реальную чувствительность течеискателя рассчитывают с учетом погрешности определения потока от контрольной гелиевой течи, о т л ивЂ” ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения точности при определении реальной чувствительности течеискателя, определяют реакционную способность течеискателя Р „ по остаточному пику гелия фонового отсчета, затеМ в зависимости от реакционной способности и заданной чувст вительности при HciIbrTGHHH выбирают оптимальный режим работы диффузионного насоса течеискателя, после чего дополнительно измеряют показания прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи и фоновые остаточные показания и определяют истинное значение величины потока контрольной гелиевой течи, а реальную чувствительность рассчитывают по формуле.

ИСТ

5 к.т ж где S g вЂ” реальная чувствительность течеискателя " к:МВ

9 r.I вЂ” ИСТИННОЕ ЗНаЧЕНИЕ ВЕЛИЧИНЫ ПОтока контрольной гелиевой течи; вЂ” показания прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи;

О р вЂ” фоновые остаточные показания прибора течеискателя, R вЂ” реакционная способность тече .0 искателя мрт,ст

С. мв

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Ланис В. А. и Левина Л. E. "Техника вакуумных испытаний". М,, Энергия, 1963, с. 162.

2. Течеискатель гелиевой ПТИ-7. Выпускной аттестат, техническое описание и инструкция по эксплуатации. с. ) 1 (ппототип).

73 1520 р.мирт. с

g. 1л-" та

7,5

Л мкРТ.Ст сек 8