Устройство для регистрации информации

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГИСТРАЦИИ ИНФОРМАЦИИ,содержащее источник' монохроматических колебаний, оптически связанный с расширителем, блок управления, соединенный с блоком ввода информации, с ключами и датчиками перемещения двухкоордйнйт--^ . ного стола, приводы которого Подключены к датчикам совмещения и фокусировки, фокусирующий элемент, опти•;вшаз№йь""\ ,^

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

C04HAЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК.,SU„„673042 А (д) у С 06 K 15/14

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHONIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 2513660/18-24 (22) 01.08.77 (46) 30.01.87. Бюл. У 4 (72) А.И. Орлов, Л.Н. Орлов, Р.Е. Пятецкий, Я.А. Райхман, В.С. Рубанов и Э.С. Гуревич

{53) 681.327.12 (088.8) (56) Патент США 11 3789397, кл. 343-79, опубл. 1974.

Патент США Ф 3701999, кл. 346-79, опубл. 1972. (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО gm РЕГИСТРАЦИИ ИНФОРМАЦИИ,содержащее источник монохроматических колебаний, оптически связанный с расширителем, блок управления, соединенный с блоком ввода информации, с ключами и датчиками перемещения двухкоордйнатного стола, приводы которого *одключены к датчикам совмещения и фокусировки, фокусирующий элемент, оптйчески связанный с носителем информации, и светоделительный элемент,о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения разрешающей способ(I ности и быстродействия устройства, оно. содержит пространственно-временной модулятор, соединенный с .ключами и оптически связанный с расширителем и с входом светоделительного элемента, выход которого оптически связан с датчиками совмеп(ейия и "фокусировки, и дефлектор, оптически связанный со светоделительным и фокусирующим элеМентами.

2. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что простран- Е ственно-временной модулятор содержит оптически связанные многоканальный дефлектор, узел формирования сигналов равномерной освещенности, Ф фокусирующие элементы и щелевую диафрагму.

673042

Изобретение относится к области, автоматики и вычислительной техникй, в частности к устройствам,для реги- страции информации, и может быть ис пользовано для регистрации графической информации на фоточувствительной поверхности носителя информации при изготовлении прецизионных фотошабло- нов, Известны устройства для регистра- 1Р ции информации. Первое из известных

I устройств содержит лазер, оптйчески связанный через расширитель с оптической системой, соединенной с блоком управления, носитель информации, оптически связанный с фокусирующим элементом и через светоделительный

1 элемент с оптической системой.

Недостаток этого устройства сос- 2р тоит в его низкой разрешающей способности, известно устройство, содержащее источник монохроматических колебаний, оптически связанный с расширителем, 25 блок управления, соединенный с блоком ввода информации, с ключами и с

- ":датчиками перемещения двухкоординатного стола, приводы которого подключены к датчикам совмещения и фокуси- Зр ровки, фокусирующий элемент, оптически связанный с носителем информации, и светоделительный элемент.

его недостаток заключается в недостаточно высокой разрешающей способности и быстродействии устройства.

Цель изобретения — повышение разрешающей способности и быстродействия.

Поставленная цель достигается тем, 4р что устройство содержит пространственно-временной модулятор, соединенный .с ключами и оптически связанный с расширителем и с входом светоделительного элемента, выход которого 45 оптически связан с датчиками совмещения и фокусировки, и дефлектор, оптически связанный со светоделительным и фокусирующим элементами,а также и тем, что пространственно- 5р временной модулятор содержит оптически связанные многоканальный дефлектор, узел формирования сигналов равномерной освещенности, фокусирующие элементы и щелевую диафрагму. 55

На чертеже представлена структур1 ная схема устройства.

Устройство включает источник монохроматических колебаний 1, иапри2 мер лазер, расширитель 2, пространственно-временной модулятор 3, содержащий многоканальный дефлектор 4, выполненный в виде совокупности элементов, узел формирования сигналов равномерной освещенности 5, фокусирующие элементы 6,7, выполненные в виде сферической и цилиндрической линз соответственно, и щелевую диафрагму 8, светоделительный элемент 9, выполненный в виде зеркала, фокусирующий элемент 10, выполненный в виде проекционного объектива, носитель информации 11, двухкоординатный стол 12, датчики перемещения 13,блок управления 14, блок ввода информации 15, ключи 16, датчик совмещения

17, привод 18 двухкоординатного сТола, датчик фокусировки 19 и дефлектор 20.

Устройство работает следующим образом.

На двухкоординатный стол 12 устанавливают носитель информации 11, например полупроводниковую пластину со знаками совмещения таким образом, что она попадает в зоны захвата автоматических систем фокусировки и совмещения. Система фокусировки начинает следить за профилем поверхности полупроводниковой пластины так, что точки поверхности, находящиеся в зоне обработки, всегда находятся в плоскости изображения проекционного объектива 10. Система автоматического совмещения по знакам на полупроводниковой пластине производит ее

I ориентацию по углу в плоскости пластины и привязку ее координатной системы к координатной системе датчиков перемещений 13. По окончании операции совмещения двухкоординатный стол

12 устанавливают в исходное положе-" ние. Из блока 15 в блок 14 заносят информацию. о количестве строк топологического рисунка, и координатный

1 стол 12 совершает движение с приблизительно постоянной скоростью.

Блок 14 производит сРавнение информации о топологическом рисунке с информацией от датчиков перемещения 13 о положении двухкоординатного стола 12 и подготавливает соответствующую кодовую комбинацию на управление ключами 16. При попадании координатного стола 12 в узел координатной сетки блок 14 вырабатывает стробируюший импугп с, передающий коКорректор И. Иуска

Заказ 7742/1

Тираж 670- Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная,4

3 67304 довую комбинацию на управление ключами 16. Ключи создают комбинацию напряжений на электродах многоканального дефлектора 4 так, что через одни элементарные ячейки свет проходит без отклонения (состояние " 1"), а через другие ячейки с отклонением (состояние "0") в плоскости ХОУ кристаллофизической системы координат. Эле/ ментарным ячейкам в состоянии "1" в 10 сопряженных точках щели щелевой диафрагмы 8 соответствуют светлые элементы, а ячейкам в состоянии "0" темные элементы. Длительность стробирующего импульса, если используется ла- 15 зер непрерывного действия, определяет время экспонирования изображения.

Таким образом экспонируют в движении на фоточувствительном слое ши- 20 рокую строку. Рисунок циклически повторяют с периодом, равным разме- ру модуля вдоль строки и образуют на

Редактор С. Титова Техред И.Попович

2 4 фоточувствительном слое мультиплицированный рисуйок широкой строки.

Затем двухкоординатный стол 12 смещают по координате у (шаговое движение) на заданный размер, из блока

15 заносят информацию о следующей широкой строке топологического рисунка, двухкоординатйый стол 12 сканируют в обратном направлении, экспонируя следующую строку. Так происходит до тех пор пока не будет проэкспонирована мультиплицйрованная строка размером, равным поперечному размеру модуля. После чего весь предыдущий цикл повторяется до тех пор, пока не будет полностью заэкспонирован весь носитель информации 11. Блок

15 должен содержать информацию только об одном модуле БИС.

Введение новых блоков и новых конструктивных связей позволило существеннб повысить разрешающук спо- собность и быстродействие устройства.