Устройство для обработки плоских поверхностей деталей

 

ОПЙСАНИЕ бy

ИЗОБР ТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) ЗаЯвлеио 010377 (>>) 2457412/25-08 (51)м. Кл. с присоединением заявки È9

В 24 В 37/04

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет— (-1-) МК 621. 923. .5(088.8) Опубликовано 250779. Бюллетень М 27

Дата опубликования описания 2507,79 (72) Авторы изобретения

Э.П. Бочкарев, l0.Í. Исаев,. И.Н. Туркин и N

Ф

1 ч. т, Государственный ордена Октябрьской РевоЛюцж исследовательский проектный институт редкометаплической промьдиленности (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ

ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к абразивной обработке поверхностей деталей и может быть использовано при шлиФовании полупроводниковых материалов.

Известны устройства для обработки плоских поверхностей деталей, размещенных в пазах сепаратора и связанных с механизмом прижима (1).

В этих устройствах необходимо периодически контролировать толщину деталей для избежания их перешлифовки сверх заданного размера.

Цель изобретения — повышение производительности обработки.

Для этого в предлагаемом устройст-15 ве механизм прижима выполнен в виде поршня, размещенного в пазу сепаратора и имеющего связанные между собой и расположенные соосно верхний и ниж-, ний цилиндры разного диаметра, пос- 20 ледний из которых установлен с воэможностью взаимодействия с введенными в устройство регулируемыми упорами. Пазы сепаратора соединены с источником рабочей среды, на рабочей поверхности верхнего цилиндра выполнены продольные канавки, а в нижнем цилиндре — отверстие. . На чертеже изображено описываемое устройство. 30

Оно содержит сепаратор 1, в теле которого выполнены пазы 2 цилиндрической Формы. Нижняя часть паза имеет ди;.метр, на 0,1-0,3 больший диаметра верхней части. Пазы соединены с источником 3 рабочей среды, например воды, которая подается в них под давлением.

В каждом пазу установлен Фигурный поршень 4, диаметры верхней и нижней частей которого соответственно равны верхнему и нижнему диаметрам паза.

В нижней части поршня 4 по окружности выполнены отверстия 5, а по образующей верхней части — канавки 6. В верхней части сепаГатора 1 вокруг паза установлены винты 7, нижние концы которых ограничивают ход поршня 4.

Над сепаратором установлен шлифовальник 8 с возможностью осевого перемещения.

При отключенном источнике 3 рабочей среды поршень 4 находится в крайнем нижнем положении. Винтами 7 выставляют ход поршня 4. Этот ход определяется заданной толщиной обработки пластины. Затем на поверхность верхней части поршня устанавливают обрабатываемую пластину 9. После этого опускают шлифовальник 8 и в зазор межЦНИИПИ Заказ 4191/10 Тираж 1011 Подписное

Филиал ППП Патент, г. Ужгород,ул„Проектная,4 ду ними подают абразив, например шлифовальную суспензию. Шлифовальнику и сепаратору сообщают вращательное движение и под заданным давлением подают воду, которая, проходя через отверстия

5 поршня 4, прижимает обрабатываемую пластину 9 к шлифовальнику 8. 8 этой 5 фазе обработки первая (верхняя) сторона пластин 9 шлифуется лишь до заданной части обработки.

Затем устройство останавливают, пластины 9 переворачивают, и обраба- 1Î тывают аналогично описанному выше.

Заданный упорными винтами ра.бочий ход поршня, равный требуемой толщине пластины, исключает воэможность перешлифовки, а следовательно, необходимость периодического контроля съема материала в процессе обработки. Кроме того, непрерывная подача моющей жидкости через отверстия и канавки поршня препятствует попаданию абразивной суспензии и отходов сошлифованного материала под нижнюю поверхность обрабатываемых пластин, чем повышается чистота обработки их поверхности.

Формула изобретения

Устройство для обработки плоских поверхностей деталей, размещенных в пазах сепаратора и связанных с механизмами прижима, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения производительности обработки, механизм прижиь1а выполнен в виде размещенного в пазу сепаратора поршня, имеющего связанные между собой и расположенные соосно верхний и нижний цилиндры разного диаметра, последний из которых установлен с возможностью взаимодействия с введенными в устройство регулируемыми упорами, пазы сепаратора соединены с источником рабочей среды, на рабочей поверхности верхнего цилиндра выполнены продольные канавки„ а в нижнем цилиндре — отве,стия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Заявка Р 2165728/25-08, кл. B 24 Б 37/04, 1975, по которой принято решение о выдаче авторскогс свидетельства.