Устройство для доводки плоских и плоскопараллельных поверхностей пластин

 

О П И С А Н И Е (ii 637241

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АвтОвскОМ СВИДВтюльСтаю

Союз Соввтскнх

Соцналнстнчаскнх

Испублнн (61) Дополнительное к авт. свил-ву% 255794 (22) Заявлено 08.08.77 (21) 2514887/25-08 с присоединением заявки №

2 (51} М. Кл

В 24 В 37/04

ГесударстввнныМ кеатет

Сааата Минастраа ССС0 аа далан нзабретаей и аткрмтай (23) Приоритет— (43) Опубликовано15.12 78. Бюллетень % 46 {53) УДК 621.923. .5(088.8 ) (4б) Дата опубликования описания 15.12.78 (72) Автор изобретения

Н. Ф. Халин (7!) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОВОДКИ ПЛОСКИХ И ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ

ПОВЕРХНОСТЕЙ ПЛАСТИН

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано в приборостроении при доводке монокристаллических пластин.

Известно устройство для доводки пластин, содержащее рабочий диск и сепара5 тор со сквозными отверстиями для деталей, снабженный перемещающимся по направляющим штоком с независимой регуль ровкой. Однако из-за зазора между цилиндрическими поверхностями направляющих и штока нельзя обеспечить параллельиост и торцовой поверхности штока относительно опорной поверхности направляющей, а, следовательно, и осуществить строго плоскопараллельную обработку поверхностей плас- т тип.

Бель изобретения - повышение точности обработки различных по высоте и размерам. плоскопараллельных поверхностей пластин.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве направляющие выполнены в виде упругого кольиа с продольными гофрами на наружной и внутренней поверх ностях, а устройство снабжено шпонкой— гайкой, установленной в выполненном в штоке пазу с возможностью взаимодействия с введенным в устройство винтом,размещенным в направляющих, при этом на наружной поверхности кольца выполнена кольцевая канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинное кольцо.

На фиг. l изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фнг. 2 — ттриспособление для крепления обрабатываемых пластин; разрез; на фиг. 3 — то же, вид сверху.

Устройство состоит из механизма 1, снабженного генератором колебаний 2, на верхней подвижной части которого закреп» лев съемный цилиндрический герметичный сосуд Э. На дне сосуда 3 в суспензии с помошью устройства 4, внутреннее кольцо которого служит сепаратором, закреплен рабочий диск в виде бархатного шлифовальника 5, на котором расположены приспособления 6 с обрабатываемыми; пластинами. 7.

637241 (1риспособление 6 состоит иэ штока Ь, перемещающегося по направляющим, выполненным в виде упругого опорного кольца 9, шпонки-гайки 10, винта 11 и разрезного пружинного кольца 12. Шпон«а- У гайка 10, введенная в продольный паэ 13 штока, с винтом 11 фиксируют положение штока по высоте относительно основания кольца 9. Упругое опорное кольцо 9 выполнено с продольными гофрами 14 на на->© ружной и внутренней поверхностях, расположенными симметрично, отверстию под. винт, и с кольцевой канавкой 15 под разрезное пружинное кольцо 12, Кольцо 12, помещенное в канавку 15 заподлицо с на- >> ружными гофрами, устраняет произвольное откручивание винта и возможные непродолжительные остановки приспособлений 6 изза зацепления друг эа друга, т.е. обеспечивает надежную точную доводку пластин.

Приспособление 6 с пластинами 7, закрепленными клеем на торцовой поверхности штока 8, устанавливаются на дне цилиндрического сосуда. При включении генератора колебаний приспособления совер- шают сложное движение по рабочему диску.

Пластины 7, например монокристаллы рассортированные по толщине, наклеиваются.на поверхность штока 8. Каждый шток перед наклейкой пластины па его поверхность, предварительно притертую совместно с опорной поверхностью упругого опор ного кольца, настраивается кольцом 9 на высоту Н, равную толщине заготовки. После доводки одной плоскости пластиныснимают со штока и наклеивают противоположной стороной. Затем процесс полировки повторяется.

Ьеэзазорное и бесповоротное соединение штока с упругим кольцом позволяет уменьшить высоту направляющей приспособления, осуществить регулирование расстояния без перекосов между торцовой поверхностью штока и основанием упругого опорного кольца, что обеспечивает повышенную точность обработки плоскопараллельных поверхностей пластин.

Формула и эобрете н ия

Устройство для доводки плоских и плоскопараллельных поверхностей пластин по авт. cs, l4 255794, о т л и ч а ю ш ее с я тем, что, с целью повышения точности обработки различных по высоте и размерам пластин, направляющие выполнены в виде упругого кольца с продольными гофрами на наружной и внутренней поверхностях, я устройство снабжено шпонкой-гайкой, установленной в выполненном в штоке пазу с возможностью взаимодействия с введенным в устройство винтом, размещенным в направляющих, при этом на наружной поверхности кольца выполнена кольцевая канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинное кольцо.

637" 41 фиР. 7

7S

177ф

7 èã. 2

Составитель А. Козлова Фиг. Я

Редактор Е. Яковчик Техред Л. Алферова Корректор Д. веселовская

Заказ 7013/8 Тираж 1027 Подписное

Ш1ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушскаи наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4