Устройство для вытягивания монокристаллов из расплава

Авторы патента:

C30B15/30 - механизмы для вращения или передвижения расплава или кристалла (флотационные способы C30B 15/28)

1. Устройство для вытягивания монокристаллов из расплава, содержащее герметичную камеру с отверстием в верхней стенке, втулку, установленную в отверстии и соединенную с приводом вращения, тигель, расположенный в полости камеры по оси втулки, затравкодержатель, подвешенный в камере над тиглем на гибкой связи, присоединенной к намоточному барабану, и привод вращения барабана, отличающееся тем, что, с целью осуществления процесса в условиях вакуума, оно дополнительно снабжено вакуумно-плотным корпусом, герметично присоединенным к втулке, барабан установлен внутри корпуса, привод его вращения укреплен на наружной поверхности корпуса и гибкая связь выполнена в виде нити.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что барабан выполнен с винтовой канавкой на внешней боковой поверхности и установлен на ходовом винте, шаг резьбы которого соответствует шагу винтовой канавки барабана.

Техническая '' ви&лйоп^к* // 264250

Устройство для выращивания mohokf«h«4?t«jlob-•'.. j // 190864

Установка для перемещения тигля в кристаллизаторе // 189391

Устройство для получения монокристаллов и поликристаллов по способу чохральского // 139842

Устройство для выращивания монокристаллов // 2102541

Устройство для предотвращения раскачки монокристалла в ростовой установке // 2109857

Изобретение относится к области выращивания кристаллов и может быть использовано в ростовых установках с гибкой подвеской затравки для предотвращения раскачки монокристалла

Устройство для выращивания монокристаллов кремния // 2162903

Изобретение относится к оборудованию, предназначенному для получения крупногабаритных монокристаллов кремния методом Чохральского

Способ получения монокристаллического кремния (варианты) // 2278912

Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано при выращивании монокристаллов кремния по методу Чохральского

Привод вращения и передвижения растущего монокристалла в установках для его выращивания // 2324773

Изобретение относится к механизмам для вращения и передвижения в установках для выращивания монокристаллов полупроводников по методу Чохральского

Способ выращивания монокристаллов в сквозных отверстиях сеток для матричных детекторов и устройство для его реализации // 2344207

Изобретение относится к выращиванию монокристаллов из расплава в температурном градиенте с использованием устройства для передвижения расплава и кристалла

Установка для получения монокристаллов // 2418109

Изобретение относится к технологии высокотемпературной кристаллизации из расплава и может быть использовано для получения крупных монокристаллов

Электропривод установки для выращивания монокристаллов по способу чохральского // 2051208

Изобретение относится к электроприводу установки для выращивания монокристаллов по способу Чохральского, содержащим механизм вращения штока, электродвигатель, соединенный с червяком червячной пары, червячное колесо которой охватывает выходной вал механизма вращения штока, механизм поступательного движения штока, включающий электродвигатель, червячную пару, червячное колесо которой одновременно является гайкой винтовой пары, ходовой винт которой передает поступательное движение штоку

Устройство для выращивания монокристаллов // 2065512

Изобретение относится к области получения полупроводников

Устройство для вытягивания кристаллов // 816206