Способ подгонки сопротивления пленочного резистора

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИЯЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 19.12.77 (21) 2554841/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл .

Н 01 С 17/24

Гесударстеенный комитет

СССР ло делан изобретений и атхритнй

Опубликовано 15.04.80. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания 25.04.80 (53) УДК 621.316..86 (088.8) (72) Авторы изобретения

С. Ф. Чеченов, А. И. Буфетов и К. Д. Вьяль (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОДГОНКИ СОПРОТИВЛЕНИЯ

ПЛЕНОЧНОГО РЕЗИСТОРА

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано при изготовлении микросхем для подгонки величины сопротивления пленочного резистора в номинал анодированием материала резистора. 5

Известен способ, включающий одновременное пропускание через подгоняемый резистор постоянного тока анодирования и переменного тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора (1). Способу свойственна невысокая точность подгонки сопротивления резисторов в номинал.

Известен способ, включающий пропускание через подгоняемый резистор пульсирующего тока анодирования и пульсирующего тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора, причем процесс пропускания указанных токов через подгоняемый резистор разделены во времени на полпериода питающего тока (2). Этому способу также свойственна невысокая точность подгонки. 20

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ подгонки сопротивления пленочного резистора, включающий пропускание через подгоняемый резистор постоянного тока анодирования и постоянного тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора, причем процессы пропускания токов анодирования и измерения разделены во времени (3).

Цель изобретения — повышение точности подгонки.

Достигается это тем, что в известном способе подгонки сопротивления пленочного резистора, включающем пропускание через него постоянного тока анодирования и постоянного тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора, пропускание токов измерения и анодирования осуществляют одновременно.

На чертеже представлена структурная схема устройства для осуществления предложенного способа.

Устройство содержит источник 1 постоянного тока анодирования, регулятор 2 тока анодирования, электрод 3 зонда анодирования, источник 4.постоянного тока измерения, измерительный мост 5, состоящий из образцовых резисторов 6, 7 и переменного резистора 8, и нуль-органа 9.

Способ осуществляется следующим образом.

728172

Формула изобретения

Составитель С. Бычков

Редактор Е. Гончар . Техред К. Шуфрич - Корректор М. Демчик

Заказ 1 l47 50 Тираж 844 Нодо всвое

UH И И ПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий

1 I 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Для подгонки величины сопротивления пленочного подгоняемого резистора 10 в номинал его резистивный слой, выполняющий роль анода, погружают в жидкий электролит или накладывают на него вязкий электролит 11 и включают подгоняемый резистор 10 в плечо измерительного моста 5 для контроля величины сопротивления подгоняемого резистора 10. Переменным резистором 8 задают конечную величину сопротивления подгоняемого резистора 10. С учетом допустимой мощности рассеивания на подгоняемом резисторе 10 через него снача ла с помощью источника постоянного тока измерения 4 пропускают предельно допустимый постоянный ток измерения. Затем источником 1 постоянного тока анодирования и регулятором 2 тока анодирования устанавливают рабочий ток анодирования.

Электрод 3 зонда анодирования, выполняющий роль катода, подключают к минусу источника 1 постоянного тока анодирования через регулятор 2 тока анодирования и к электролиту 11. Окончание процесса анодирования индуцируется наличием нулей на всех разрядах цифрового нуль-органа 9 и автоматическим отключением электрода 3 зонда анодирования от источника 1 постоян ного тока анодирования.

В процессе подгонки через подгоняемый резистор течет ток, равный сумме токов измерения и анодирования, что позволяет совместить во времени процессы анодирования и измерения и повысить производительность подгонки величины сопротивления пленочных резисторов в номинал. Источни4 ком 4 постоянного тока измерения устанавливают ток измерения, превышающий ток анодирования более, чем на порядок. При этом влияние тока анодирования на точность измерения сопротивления подгоняемого резистора 10 пренебрежимо мало, чем обеспечивается повышение точности подгонки величины сопротивления этого резистора в номинал.

Применение предлагаемого способа позо воляет повысить производительность и точность подгонки величины сопротивления пленочного резистора в номинал.

1$

Способ подгонки сопротивления пленочного резистора, включающий пропускание через него постоянного тока анодирования и постоянного тока измерения величины со"противления подгоняемого резистора, отличаюи4ийся тем, что, с целью повышения точности подгонки, пропуска ние токов измерения и анодирования осуществляют одновременно.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 400894, кл. Н 01 С 17/00, 28.04.69.

2. Авторское свидетельство СССР № 487425, кл. Н 01 С 17/00, 01.10.73.

3. Авторское свидетельство СССР № 351250, кл. Н 01 С 17/00, 15.05.68 (прототип) .