Устройство для юстировки пленочных резисторов

 

326645

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 03.1.1969 (№ 1294767/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 19.1.1972. Бюл.петень № 4

Дата опубликования описания 25.11.1972

М. Кл. Н Olc 17/00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621,316.849(088.8) Авторы изобретения

А. Г. Максидонов, М. Н. Стародумов и В. И. Тифлов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЮСТИРОВКИ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТ ОВ

Изобретение относится к радиотехнике, в частности к технологии изготовления микросхем.

Известна полуавтоматическая установка для подгонки величины сопротивления резисторов. Эта установка имеет большие габариты и отличается сложностью изготовления.

Целью изобретения является обеспечение контроля юстировки в рабочем режиме, а также автоматизации процесса изготовления микросхем. Для этого одна из игл-электродов имеет сферическое закрепление иа конце.

На чертеже схематически изображено предложенное устройство для юстировки пленочных резисторов.

Устройство для юстировки пленочных резисторов состоит из электроискрового генератора 1, эталонного магазина сопротивлений 2, блока 3 контроля и управления процессом юстировки, контактирующих элементов 4, иглэлектродов 5 и б, держателей 7 игл-электродов, координатного стола 8, держателей 9 контактирующих элементов 4, подложки 10 микросхемы с юстируемым плеио шым резистором

11, контактных площадок 12 юстируемого резистора, микроскопа 13 и тумблера включения 14.

Устройство работает следующим образом.

Подложку 10 микросхемы с юстируемым резистором 11 неподвижно закрепляют на столе

8. который с помощью микрометрических винтов (ие показанных на чертеже) может передвигаться относительно игл-элекгродов 5 и б по двум взаимно перпендикулярным направлениям с точностью+10 л клт. Юстируемый резистор подключают через контактные площадки 12 посредством контактирующих элементов 4 к блоку 3 контроля и управления.

На эталонном магазине сопротивлешш 2 устанавливают тр,буемую величину сопротивле10 иия юстируемого резистора. Включают тумблер 14 и, перемещая резистор 11 относительно игл-электродов 5 и 6 удаляют с резистора часть пленки, тем самым повышая величину его сопротивления. По достижеи:ш равенства

15 сопротивлений юстируемого резистора 11 и эталонного магазина сопротивлений 2 блок 3 контроля и управления разрывает цепь шггания иглы-электрода б, прекращая тем самым процесс удаления пленки резистора, независи20 мо от того, прекратилось ли движение иглэлектродов по пленке резистора или нет. Таким образом, обеспечивается высокая точность (десятые доли процента) 1остировки резисторов, ие зависящая от оператора.

В качестве источника напряжения можег быть использован любой электроискровой генератор, в частности простейший RC-генератор, состоящий из балластного сопротивления

30 и накопительного конденсатора. Иглы-электроды 5, 6 изготовлены из тугоилавкого ме32Я45

Предмет изобретения

Составитель А. Артюшин

Техред, 3. Тараненко

Редактор В. Левятов

Корректор Е. Зимина

Заказ 513/15 Изд. № 107 Тираж 448 Подписное

Ц11ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 талла, например, вольфрама. Одна из игл выполнена со сферическим полированным закруглением на конце для осуществления перазрушающего контакта с резистивным слоем.

Другая игла имеет заостренный конец и выполняет функции режущего электрода. Амплитуду импульса источника напряжения и расстояние между электродами устанавливают в завишгмости от материала и удельного поверхностного сопротивления пленки юстпруемого резистора. Блок 3 контроля и управления (схема которого пе показана Hà чертеже представляет собой автоматический мост переменного тока с пуль-органом, на выходе которого включено исполнительное реле, разрывающее цепь питания электродов по дости>кешп1 равенства эталонного и юстируемого резисторов.

Устройство для юстировки пленочных резисторов, содержащее в качестве рабочего инст5 румента подключенные к источнику напряжения, например электроискровому генератору, две иглы-электроды, блок контроля величины сопротивления резисторов в процессе юстировки и управления процессом, эталонный мага10 зип сопротивлений и контактирующие элементы, отлича ощееся тем, что, с целью обеспечения контроля юстировки в рабочем режиме и автоматизации процесса, одна из иглэлектродов выполпена со сферическим закруг15 лением на конце и предназначена для неразрушающегося контакта с пленкой юстпруемого резистора, причем зазор между концами шл регулируется.