Поворотный вакуумный стол

 

ь л.

- :ооювнпя 1тОйт но-- „.„...,,„„„,, "-" " " 1Э О N 9,В1

ОП CAHNE

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Соцмалкстнческкх

Республик

< и 738822

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09 08 77 (2I ) 2515717/25-08

{51) М. Кл. с присоединением заявки №

Государственный комитет

СССР

В 23 С(1/14 (23) П риоритет

Опубликовано 05 06.80 Бюллетень ¹ 21

{5З) ЛK 621.923. 37(088.8) по делам изобретений и открытий

Jl,àòà опубликования описания 05.06.80

В. А. Букаев, Г. Ф. Конюший, В. H. Шевченко, В, Д. Шаров и Г. В. Пономаренко (72) Авторы изобретения (7I) Заявитель

Ордена Трудового Красного Знамени завод чистых металлов имени 50-летия СССР (54) ПОВОРОТНЫЙ ВАКУУМНЫЙ СТОЛ

Изобретение относится к обработке плоских

1тзделий, в частности пластин из полупроводнико вых материалов.

Известен вакуумный стол для обработки таких изделий, полость которого разделена на несколько секций. Стол снабжен полым валом, установленным неподвижно, а также средством, обеспечивающим поочередное сообщение секций с вакуумной магистралью и атмосферой. На поверхности стола выполнены сквозные отверстия для осуществления присоса обрабатывае10 мых пластин.

Обработка пластин осуществляется после установки пластин и их фиксации путем вакуумирования. После завершения процесса обработ15 ки станок останавливают и завоздушивают полость вакуумированной секции (1) .

Недостатками описанного устройства является низкая производительность и неудобство в работе в результате цикличности процесса обработ20 ки.

Цель изобретения заключается в повышении производительности эа счет автоматизации разжима и зажима деталей.

Для этого в полом валу предлагаемого стола . размещена распределительная втулка с секторным вырезом, сообщающимся с атмосферой через полый вал, и с радиальным отверстием, сообщенным с вакуумной магистралью; йри этом секторный вырез охватывает и-1 секций, где n — количество независимых секций.

На фиг. 1 изображен стол карусельного станка в осевом разрезе; на фиг. 2 — разрез А-А фиг. 1.

Стол состоит иэ корпуса 1 с планшайбой 2, вращающихся на неподвижном полом валу 3.

На валу размещена распределтпельнвя втулка 4 с секторными вырезом 5 и радиальными отверстиями 6, сообщающими вакуумную магистраль

7 с независимыми секциями 8 стола.

Работа стола осуществляется следующим образом.

Одновременно 3 из 4-х секций. стола соединяются через отверстие 6 во втулке 4 с вакуумной магистралью. При этом на этих секциях детали зажаты вакуумом и производится их обработка, а на одной из секций, котоуая

1 )

3 738822 сообщена каналом 9 с атмосферой, осуществля- магистралью, включающее полый неподвижный ется съем обработанных деталей. При повороте, вал, о т и и ч а ю шийся тем, что, с цестола на 90 вокруг вала 3 секция, находящая-. лью повьпаения производительности за счет

csl ранее под атмосферным давлением, сообща- автоматизации ризжима и зажима деталей, в поется с вакуумной мы истралью, а одна из no- лом вату размещена распределительная втулка с следуницих секций соединяется с атмосферой. секторным вырезом, сообщающимся с атмосферой перез полый вал, и с радиальным отверстием, сообщенным с вакуумной магистралью, при

Формула изобретения этом секторный вырез охватывает и-1 секций, >о где n — количество независимых секций.

Поворотный вакуумный стол, содержащий Источники информации

HocKoNsK0 независимых секций и средство принятые во внимание при экспертизе для периодического сообщения одной из 1. Патент Великобритании У 1334583, секций с атмосферой, а других — с вакуумной кл, В 3 D, 1973.

1 3

А

А "А

ФыМ

ЦНИИПИ Заказ 2730/13

Тираж 1160 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Фиг.а