Способ обработки кварцевых труб

 

О П И С- А- Н И Е 1>>>739017

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советскин

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 13.03.78 (2! ) 2589654/29-33 с присоединением заявки,% (23) Приоритет (51)М. Кл..

С 03 С 23/00

Гесударстеенный камнтет

СССР но делам изобретений и открытий

Опубликовано 05.06.80. Бюллетень № 21 (Q3) ДК 666.173 (088.8) Дата опубликования описания 08,06.80 (72) Автор изобретения

П. С. Грель (7I ) Заявитель (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ KBAPllEBbM ТРУБ

20

Изобретение относится к способам обработки изделий из кварцевого стекла, в частности труб, которые используются при вь.сокотемпературных (более 1000 g) процессах, например, эпитаксиального нарашивания, окисления, диффузии при изготовлении полупроводниковых приборов.

При проведении высокотемпературных процессов кварцевые трубы используют

Меньше тесяца, после чего необходима замена.

Известен способ регенерации кварцевых труб, вклк>чаюший травление их в водном растворе смеси кислот, промывку, сушку и последующий нагрев до 1100о

1500 С в потоке хлора, хлористого водорода или их смеси (1).

Недостатком этого способа является то, срок службы регенерированных кварцевых труб невелик и составляет приб лизительно 100 часов.

Наиболее близким к изобретению по достигаемому результату является способ восстановления кварцевых труб, включают.и и кислотное травление, промывку, о сушку и нагрев до 1100-1500 С в газовой смеси водорода и кислорода, после чего осушествляется дополнительный нагрев до температуры 1900-2200" С (2).

Вслед =-а пламенем горелки перемешают водоохлаждаемые графитовые ролики.

Срок службы кварцевых труб после указанной обработки составляет 300 часов.

11елью изобретения является повышенис срока Члужбы кварцевых труб. Это достигается тем, что кварцевые трубы травят, промывают и нагревают при температуре 1700-1800 С до расплавления поверхностного сло» на глубину 0,2-0,6 толшины стенки трубы, выдерживают в расплавленном состоянии в течение 50300 сек., после чего охлаждают со скоростью изменения температуры 50о

200 С/сек.

Расплавление наружного слоя трубы и выдержка в расплавленном состоянии позволяют устранить имеюшиеся в наружном слое микротрешины и, кроме того, 3 73 в расплавленную зону вытягиваются примеси из нерасплавленных внутренних областей трубы за счет явления сегрегации.

Это позволяет провести дополнительно очистку внутреннего объема трубы от загрязнений.

При охлаждении поверхности со скоростью 50-200оC/cex KpoMe y o BeHHB поверхностного слоя в нем фиксируются загрязнения, вытян ут ые пр и рас пла вле ни и из внутреннего объема трубы. Кроме того, способ позволяет очистить внутреннюю область кварцевой трубы, из которой примеси сегрегируются в расплавленную зону. формула изобретения

Способ обработки кварцевых труб,, включающий травление, промывку и тер9017 ф мообработку, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью увеличения срока службы, термообработку ведут при температуо ре 1700-1800 С до расплавления поверхностного слоя на глубину 0,2-0,6 тог.— шины стенки трубы, выдерживают в расплавленном состоянии 50-300 сек, посФ ле чего охлаждают со скоростью -ЪОо

200 C/ñåê.

lO

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Маслов А. А. Технология и конструкция полупроводниковых приборов", изд«во Энергия, M., 1970, с. 53-54

2. Авторское свидетельство СССР по заявке ¹ 2480018/33, кл. С 03 С

23/00, 1977.

Составитель О. Самохина

Редактор И, Квачадзе Техред М. Кузьма Корректор М ° Коста

Заказ 27б9/22 Тираж Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ПП П Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4