Предметный столик микроперемещений

 

Союз Советских

Социалистических .Респубпик

739660

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) За" влево 25.03.77 (2! ) 246 8319/18-21 с присоединением заявки № (23) П риоритет—

Опубликовано 05.06.80. Бюллетень ¹ 21

Дата опубликования описания 09.06 80 (51) M. Кл.

С 12 В 1/00

G 12 В 11/04

Н 05 К 3/00

Государственный камнтет (53) УДК 621.382. .77.039 (088.8) по делам нэабретеннй н открытий

1 !

Ф (?2) Авторы изобретения

А. H. Петрухин и В. Н. Шилин (?1) Заявитель (54) ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИК МИКРОПЕРЕМЕШЕНИЙ

Изобретение относится к конструктивным элементам приборов.

Известно устройство микроперемешений, содержащее неподвижное основание и подвижнуто площадку ())

Однако это устройство трудоемко в эксплуатации и не обеспечивает высокой точности и надежности ориентации подложек.

Известен также предметный столик дпя микроперемещений, содержащий неподвиж10 ное основание и подвижную плошадку, соединенные упругими элементами, и механизм микроперемешения j2)

Однако этот столик сложен и не об15 падает достаточной точностью перемещения.

Uenb изобретения — повышение точности перемещения и упрощение конструкции.

Это достигается тем, что в предмет20 ном столике микроперемещений, содержащем неподвижное основание и подвижную плошадку, соединенные упругими элементами, и механизм микроперемешений, уп2 ругие элементы выполнены в виде кольцевых перемычек, а подвижная плошадкас возможностью фиксации перемещения в вертикальной плоскости.

На фиг. 1 изображен предпагаемый столик, общий вид; на фиг. 2 - разрез

А-А фиг. 1.

Предметный столик микроперемешений содержит подвижную плошадку 1, на ко- торой может быть установлен измерительный датчик ипи исследуемый предмет, неподвижное основание 2, направляющие в виде четырех кольцевых перемычек 3, монтажно связывающих подвижную плошадку с неподвижным основанием, и два механизм а 4 ми к ропо чачи.

Механизм 4 микроподачи содержит дифференциапьный винт 5, ввернутый во втупку 6, и цилиндрическую втулку 7, шарик 8, размещенный одновременно B конической поверхности 9, выпопненной в торце подвижной площадки 1, и в призматическом пазу 10, выполненном в цилиндрической втулке 7, штифт 11, вхо3 73966 пящий в паз 12 цилиндрической втулки 7 и фиксирующий последнюю от проворота.

М икроперемещения предметного стол яка Осуществляются следующим образом.

Измерительный датчик или исследуемый предмет устанавливаются на подвижную площадку 1 устройства. Перемещение площадки 1 с исследуемым предметом во взаимно перпендикулярных направлениях осуществляется путем вращения винта 5, причем резьба Во втулке 6 имеет шаг больше, чем в цилиндрической втулке 7, Вращая винт 5 во втулке 6, придают поступательное движение цилиндрической втулке 7, которая через шарик 8, контак- 15 тирующий с пОдВижнОЙ площадкОЙ 1, сОЗдает ее линейное перемещение за счет упругой деформации кольцевых перемычек 3. фиксация выставленного положения не 20 требуется, так как столик находится в упруго-замкнутом состоянии.

Подвижная площадка 1 удерживается от перемещения в вертикальном направлении относительно плоскости перемещения ша- 25 риками 8, которые также снижают трение при перемещении подвижной площадки 1.

4, Такое выполнение столика значительно упрощает конструкцию, повышает точность регулирования и обеспечивает при перемещении сохранение положения площадки в направлении, перпендикулярном плоскости перемещения. формула изобретения

Предметный столик микроперемещений, содержащий неподвижное Основание и подвижную площадку, соединенные упругими эле,ментами, и механизм микроперемещений, отличающийся тем, что, с целью повышения точности перемещений и упрощения конструкции, упругие элементы выполнены в виде кольцевых перемычек, а подвижная площадка — с воэможностью фиксации перемещвния в вертикальной плоско сти, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

М 379065, кл. Н 05 К 3/00, 1970.

2. Авторское. свидетельство СССР

No. 541305, кл. Н 05 К 3/00, 1975.

73966 О

У 8 /1 юг. 2

Составитель О. Кудрявцева

Редактор И. Гохфельд Техред Ж. Кастелевич Корректор F.. Папи

Заказ 2952/48 Тираж 665 Подпис ное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4