Кассета для гальванической обработки плоских изделий

 

патвн ис ть, on и с и м изОБРетен ия

<|||740870

Совоз Соаетскнн

Соцмапнстмческик

Реепубэтмет

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. свил-ву— (22) Заявлено 09.0 1.79 (2l )2712313/22-02 с присоединением заявки J% (23) Приоритет—

Опубликоваио15.06.80. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 20.06.80 (5 l l M. Кл.

С 25 З 17/06

Гесударстввннв|й ка|внтет ио делает нэобретеннй н вткрытнй (5З) Д К621.8..03 5.227. (088.8) Ю. А. Коногоров, B. М. Терещенко и К. В. Гавриш (72) Авторы изобретения (7l ) Заявитель (54) КАССЕТА стЛЯ ГАЛЬВАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

rtaCeKVX ИЗДЕЛИЙ ков PjИзобретение относится к области электрохимической обработки, преимущественно к оборудованию для гальванической обработки плоских деталей,: оно может быть использовано в радиоэлектронной промышленности при изготовлении коммутационных плат микросхем.

Известна подвеска дпя гапьванической обработки деталей, содержашая раму с опорными элементами и основание с закрепленными в нем подпружиненными электропроводными стержнями с заостренными концами, которые установлены с возможностью контактирования с де-. талью по торцовой поверхности, а опорные элементы выполнены в виде ропиОднако известная подвеска не обеспечивает равномерного осаждения нарашиваемого слоя металла на обрабатываемые детали с диаметром свыше 100 мм в связи с наличием токоподвода к одной торцовой поверхности заго овки.

Торцовыи токоподвод ограничивает

|технологические возможности подвески (невозможность обработки заготовок на основе полиимидной пленки). Наличие большого количества деталей в извест5 ной подвеске приводит к увеличению ее нерабочей поверхности (пружины, прижимной шток, откидная планка и т.д), затрудняет процесс промывки и приводит к дополнительному расходу деионизованной воды и уменьшению-числа одновременно обрабатываемых заготовок в галь-; ванической ванне.

Известна также кассета для обработки плоских заготовок, основание которой выполнено в виде кольца с подпружиненными элементами крепления заготовки (2).

Эта конструкция является наиболее близкой к описываемому изобретению по технической сушности и достигаемому р езультату.

Однако в указанной кассете элементь крепления не обеспечивают обработку плоских заготовок на гибкой основе, а

74 стальные подпружиненные элементы подвергаются коррозии в агрессивных средах, что снижает срок службы кассеты.

Кроме того, сложность конструкции кассеты затрудйяет удаление остатков рабочих жидкостей.

Целью изобретения является упрошение конструкции и повышение ее надежности.

Бль достигается тем, что токоподвод выполнен в виде полукольца, контактные элементы которого расположены с двух противоположных сторон по периметру основания, при этом элементы фиксации изделия сделаны в виде зажимов Т-образной формы, установленных на основании.

Кроме того, для повышения коррозионной стойкости токоподвод выполнен из титанового сплава.

На фиг. 1 изображена предлагаемая кассета; на фиг. 2 — то же,сечение А-А на фиг. 1 на фиг. 3 — сечение Е-Б на t фиг. 1.

Кассета содержит основание 1, например, из фторопласта, выполненное в виде кольца с круговым пазом, в который установлен токоподвод, включающий в себя полукольцо 2, контактные элементы

3 и крючок 4. Полукольцо 2 токоподвода закрыто крышкой 5, которая прикреплена к основанию 1 винтами 6. В отверстиях основания 1 установлены элементы фиксации 7 и 8. На резьбовом конце каждого элемента фиксации имеются гайки 9 с насечкой.

Кассета работает следуюшим образом.

В исходном положении гайки 9 элементов фиксации 7 и 8 отпушены и weменты фиксации находятся в пазах основания 1. Заготовку устанавливают на поверхность крышки 5, после чего поворачивают зажимы на 90 (до упора).

О

Гайками 9 осушествляют закрепление заготовки в кассете. Затем кассету с установленной заготовкой с помошью крючка

4 помещают в гальваническую ванну, завешивая на токоподводяшую штангу, где осушествляют процесс наращивания.

После электролитической обработки сня- тие заготовки с кассеты выполняют в обратном порядке.

Использование кассеты для электроли тической обработки позволяет уменьшить величину коробления заготовки (при об0870 ф >аботке полиимидных пленок толщина пленки порядка 0,04 мм) за счет равномерного расположения зажимов по периметру заготовки. Применение токоподвода в форме полукольца, контактные элементы которого расположены с двух противоположных сторон по периметру основания, обеспечивает равномерность нарашиваемого слоя в процессе гальва10 нической обработки.

Совмещение функции элементов фиксации и токоподводяшего контакта в одном устройстве упрощает конструкцию кассеты и сокрашает ее нерабочую поверх15 ность. Используемые в конструкции кассеты материалы (фтороппаст и сплав титана) обеспечивают ее эксплуатацию в особо агрессивных средах. Применение кассеты позволяет уменьшить расход ра20 бочей жидкости, что способствует уменьшению загрязнений рабочей среды по .ходу технологического цикла, и увеличить процент выхода годных микросхем до 5%.

Формула изобретения

1. Кассета для гальванической обработки плоских изделий, содержашая осноЗ0 ванне, выполненное в форме кольца, токоподвод с контактными эпементами и элементы фиксации изделий, о т л и ч а юш а,я с я тем, что, с целью упрошения конструкции и повышения ее надежности, токоподвод выполнен в виде полукольца, контактные элементы которого расположены с двух противоположных сторон по периметру основания. "

2. Кассета поп. 1, отли ча ю40 ш а я с я тем, что элементы фиксации изделия выполнены в виде зажимов Т-образной формы, установленных на основании.

3. Кассета по пп. 1 и 2, о т л и4> ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости, токоподвод выполнен из титанового сплава. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

)4 600216, кл. С 25 D 17/06, 1977.

2, Авторское свидетельство СССР

M 557437, кл. С 25 Х) 17/06, 1975.