Устройство для химической и электрохимической обработки

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ лj73246

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.03.78 (21) 2584966 22-02 (51) М. Кл,2

С 25D 17/06 с присоединением заявки М

Государственный комитет

СССР (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.01.80. Бюллетень М 4 (45) Дата оп у бликования онисания 30.01.80 (53) УДК 621.357.77. .002.52 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения В. А. Лабунов, В. В. Белько, И. Л. Баранов и В. М. Кравченко

Минский радиотехнический институт (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ

И ЭЛ ЕКТРОХИМИ Ч ЕСКОИ ОБРАБОТКИ

Устройство относится к обласги электрохимии и может быть использовано для анодного окисления изделий.

Известно устройство для электролитического анодирования, состоящее из вакуумной присоски для крепления обрабатываемои детали, токоподвода, электролитической ванны и катода, в котором благодаря закреплению детали вакуумной присоскои можно получать окисные пленки на одной стороне детали без дополнительной защиты другой (11.

Недостаток устройства заключается в том, что пары электролита взаимодействуют с необрабатываемой стороной детали.

Кроме того, электролит под действием электростатических сил при больших напряженностях поля затягивается на обратную сторону детали. Это приводит к ее окислению, а при попадании электролита на токопод- ® вод — к пробою и прекращению роста окисла. Все это ограничивает качество анодного покрытия обрабатываемой детали.

Известно также устройство для химической и электрохимической обработки, содержащее анод, выполненный в виде штока с вакуумным присосом для крепления обрабатываемой детали, окружающий его корпус в виде стакана, систему трубопроводов, соединяющих шток с вакуумным присосом и корпус с вакуумной и нагнетательной установками, емкость для электролита и катод (2).

Ы этом устройстве в стакане с центральным отверстием, через которое сжатый воздух подают на обрабатываемый образец, по периферии преду.смотрены отверстия для отвода сжатого воздуха от детали. В результате деталь поддерживают в подвешенном положении на некотором расстоянии or стакана. Струя сжатого воздуха, обдувая необрабатываемую сторону детали, предотвращает попадание на нее электролита.

Данное устройство по своей технической сущности и достигаемому эффекту является наиболее близким к изобретению.

Однако в случае термостабилизации при температуре образца ниже точки росы окружающего воздуха на внешней поверхности стакана конденсируется влага, которая, стекая по внешней поверхности стакана, попадает на необрабатываемую сторону детали. Это приводит к затягиванию электролита на необрабатываемую сторону детали и ее повреждению.

Целью изобретения является улучшение качества обработки путем термостабилизации и предотвращения конденсации влаги.

Это достигается тем, что устройство снабжено цилиндром, установленным коакси712467 ально корпусу и соединенным с нагнетательной установкой.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Устройство содержит цилиндр 1, установленный коаксиально корпусу 2, выполненному в виде стакана, шток 3 с вакуумным присосом для крепления обрабатываемой детали 4, подъемное устройство 5, катод 6, электролитическую ячейку 7; ввод 8 термо- 10 стабилизирующего газа и ввод 9 осушенного воздуха.

Работа устройства заключается в следующем.

Анодируемую деталь 4 нерабочей сторо- 15 ной притягивают к штоку 3 с вакуумным присосом и удерживают с помощью вакуума. Через ввод 9 подают осушенный воздух и с помощью подъемного устройства 5 деталь 4 рабочей стороной приводят в сопри- 20 косновение с электролитом, находящимся в электролитической ячейке 7. После соприкосновения с электролитом деталь 4 несколько поднимают вверх, чтобы образовался мениск, Через ввод 8 подают термо- 25 стабилизирующий газ. Путем подачи напряжения на деталь 4 и катод 6 производят анодирование.

При химическом травлении детали операции те же, за исключением подачи на- 30 пряжения на обрабатываемую деталь 4 и катод 6.

Устройство обеспечивает поддержание температуры образца в процессе анодирования равной — 20 С при рассеиваемой 35 мощности на образце 45 Вт/см, что позволяет получить анодную пленку на обра ;с пз алюминия за 15 мпн толщиной в 30 мкм.

В качестве термостабилизирующего газа используют азот, испаряющийся из жидко- 40 го состояния. В качестве экранирующего газа — осушенный воздух с точкой росы — 40 С.

Без дополнительного цилиндра и экранирующего газа при условиях процесса, описанных выше, уже через три минуты после начала анодирования на корпусе устройства конденсируется влага, которая, стекая, попадает на необрабатываемую сторону детали, затем попадает на токоподвод и приводит к замыканию электролит — токоподвод анода, минуя обрабатываемую деталь, а следовательно, к прекращению процесса анодирования. Необрабатываемая сторона детали покрывается окисной пленкой, что приводит к браку детали.

Использование изобретения позволяет увеличить качество и толщину анодного покрытия, а также повысить процент выхода годных деталей.

Формула изобретения

Устройство для химической и электрохимической обработки, содержащее анод, выполненный в виде штока с вакуумным присосом для крепления обрабатываемой детали, окружающий его корпус в виде стакана, систему трубопроводов, соединяющих шток с вакуумным присосом и корпус с вакуумной и нагнетательной установками. емкость для электролита и катод, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения качества обработки деталей путем термостабилизации и предотвращения конденсации влаги, оно снабжено цилиндром, установленным коаксиально корпусу и соединенным с нагнетательной установкой.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Тсай. Неглубокие диффузионные слои фосфора в кремнии. ТИИЭР, т. 57, № 9, 1969, с. 38 — 45.

2. Патент США № 3466079, кл. 294 — 64, 1969.

712467

Составитель В. Трегубов

Техред А. Камышникова

Редактор Д. Павлова

Корректор В. Петрова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2792/18 Изд. № 120 Тираж 698 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5