Устройство для обработки плоских поверхностей деталей

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 27.07.78 (21) 2б50351/25-08 (51)М. Кл.з с присоединением заявки ¹вЂ”

В 24 В 37/04

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 3gp98p, Бюллетень HP 36

Дата опубликования описания 30.09.80 (5Ý) УДН 621.923. .5(088.8) (72) Авторы изобретения

В. И. Ситников и А. М. Копытин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИМИ

ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для полирования полупроводниковых, пластин, сапфира, рубина. и т.п. твердых и хрупких материалов.

Известны устройства для обработки плоских поверхностей, содержащие верхний и нижний доводочные диски и механизм нагружения (1) .

Недостатками известных устройств являются наличие пневмо- или гидроцилиндров, используемых в качестве механизма нагружения, имеющих сложную в изготовлении и эксплуатации конструкции, отличающихся громоэдкостью,в связи с наличием пневмоблоков или гидроблоков, необходимых для управления цилиндрами и бвльших нагрузок на нижний доводочный диск, что приводит к увеличению .веса и повышению жесткости нижнего

ДЬводочного диска, его привода и станины.

Цель изобретения — упрощение конструкции и снижение ее металлоемкости.

Цель достигается тем, что механизм нагружения содержит дискретные идентичные магнитные элементы, встроенные внутрь верхнего и нижнего дис» ков и расположенные по окружностям, симметричным относительно оси вращения дисков. В одном иэ дисков упомянутые элементы предствляют собой постоянные магниты, а в другом электромагниты, магнитные полюса которых направлены перпендикулярно рабочим поверхностям доводочных дисков °

На фиг. 1 изображено устройство для обработки плоских поверхностей деталей, продольный разрезу на фиг.2вид A на фиг. 1.

Устройство для обработки плоских поверхностей деталей содержит доводоч ные диски, верхний 1 и нижний 2, выполненные иэ немагнитного материала. Внутрь верхнего доводочного диска 1 встроены дискретные идентичные.элементы 3, выполненные, например, в виде стержней прямоугольной формы и представляющие собой постоянные магниты. Внутрь нижнего дово дочного диска 1 встроены магнитные элементы 4 (прямоугольные стержни), дредставляющие собой электромагниты.

В верхний диск 1 и нижний диск 2 могут быть встроены соответственно электромагниты и постоянные магниты, 766842

Магнитные полюса элементов 3 и 4 должны быть перйендикулярны к рабочим поверхностям соответствующих доводочных дисков 1 и 2, при этом как стержни 3, расположенные в верхнем доводочном диске 1, так и стержни 4., расположенные в нижнем доводочном диске 2, размещены по окружности

4 симметричной относительно оси вращения упомянутых дисков. Между доводочными дисками 1 и 2 устанавливаются обрабатываемые изделия 5 (например полупроводниковые пластины), которые во время обработки помещаются в сепаратор (на чертеже условно не показано).

Устройство работает следующим образом.

На электромагниты 4 подается постоянный ток заданной величины такой полярности, при которой на полюсах магнитных стержней 3 и 4, расположенных на рабочих поверхностях доводочных дисков 1 и 2, создаются одноименные полюса. Диски 1„и 2 отталкиваются друг от друга, создавая нулевую нагрузку на обрабатываемые пластины

5. В процессе обработки с помощью электромагнитов 4, размещенных внутри нижнего доводочного диска 2, содается плавное нагружение (от нуля до заданной величины).

Это происходит следующим о6разом. Вначале понижается, план- но (до нуля) напряжение определенной полярности полюсов электромагнитов 4, а затем производится плавное повышение напряжения по обратной полярности тока. В результате этого меняются полюса электромагнитов 4 на противоположные и доводочные диски 1 и 2 начинают притягиваться друг к другу, что обеспечивает создание заданного усилия нагружения (прижима ).

Процесс разгрузки осуществляется, в обратном порядке.

Такое исполнение механизма нагружения позволяет избежать наличия сложных прецизионных элементов, в том числе узлов, содержащих трущиеся прецизионные пары, что упрощает конструкцию устройства в целом. Кроме того, в процессе работы усилие нагружения не передается на нижний доводоч ный диск, а следовательно, на опорный подшипник и станину. Это обусловлено замыканием сил, возникающих при нагружении непосредственно между поводочными дисками. На станину станка в этом случае передается только вес доводочного диска, что позволяет

15 уменьшить жесткость станины и металлоемкость устройства в целом.

При этом повышается долговечность опорных подшипников и приводного узла.

Формула изобретения

Устройство для обработки плоских поверхностей деталей, содержащее верхний и нижний доводочные диски и механизм нагружения, о т л и ч а— ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции и уменьшения ее металлоемкости, механизм нагружения выполнен в виде встроенных внутрь верхнего.и нижнего дисков дискретных идентичных магнитных элементов, расположенных по симметричным относитель но оси вращения дисков окружностям, при этом в одном из дисков упомянутые элементы выполнены в виде постоянных магнитов, а в другом — электромагнитов, магнитные полюса которых направлены перпендикулярно рабочим поверх.ностям доводочных дисков.

Источники информации, 40 принятые во внимание при экспертизе

1. Проспект фирмы "Peter Volters"

"Krafzenfabrik und l1a schinenfabrik", G.m.В.Н., Со, ФРГ, 1970, с.5.