Устройство для шлифования и поли-рования деталей

 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ШЛИФОВАНИЯ И ПОЛИРОВАНИЯ

ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано, например, в электронной промышленностМ для шлифования и полирования, в том числе химико-механического, полупроводниковых пластин.

Известны устройства для шлифрвания и полирования деталей между двумя дисками, верхний из которых связан с механизмом нагружения и разгрузки„раэме— щенным в корпусе (1).

f0

Существенным недостатком станков, известных конструкций с механическим нагруженнем является невозможность плавного нагружения и разгрузки по заданной многоступенчатой программе непосредственно в процессе работы в, автоматическом режиме, что снижает «ачество обработки и производительность. He»» обходнмость замены грузов в процессе нагружения вручную делает работу sa известных станках трудоемкой. Кроме того, при обработке пластин большого диаметра на полировальниках большого диаметра

2 на нижнем доводочном диске возникают большие нагрузки, что ведет к увеличению жесткости нижнего диска, его привода и станинь|.

Цель изобретения-повышение производительности и качества обработки.

Поставленная цель достигается тем, что механизм нагружения и разгрузки выполнен в виде двух шарнирно закрепленных на корпусе одними концами рычагов, другие концы которых соединены соответственно с грузом и через серьгу и верти«альную штангу с верхним диском, при этом рычаги кинематически связаны между собой посредством поворотной относительно горизонтальной оси планки и опты с тремя роликами, установленной с возможностью возвратно-поступательного движения вдоль планки на ходовом винте, соединенном с приводом.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид, на фиг. 2-разрез

А-А на фиг. 1.

868381

Устройство содержит верхний 1 и ниж ний 2 диски, смонтированные на станине

3. Верхний диск 1 взаимодействует с механизмом нагружения и разгрузки, по- мещенным в корпусе 4. Этот механизм имеет планку 5, установленную с воэможностью поворота вокруг процольной оси 6, расположенной в отверстиях корпуса 4, Планка 5 опирается на подвижную опору 7, имеющую три ролика 8 и .образующую в сечении равнобедренный треуголь.ник, обращенный вершиной вниз. Ролик 8, размещенный в вершине, опирается на качающийся рычаг 9, шарнирно закрепленный s корпусе 4. Подвижная опора 7 установлена с возможностью возвратно-поступательного движения вдоль качающегося рычага 9.

Нац планкой 5 размещен рычаг 10, к которому шарнирно прикреплен постоянный груз 11. Второй конец рычага 10 закрепленпри помощи оси в, корпусе 4 и через ролик 12 цввит íà планку 5. Возвратнопоступательное движение поцвижной опоры

7 вдоль качающегося рычага 9 осуществляется при помощи электромеханического привоца 13 или ручного привода от маховичка вращением ходового винта 14, ко торый взаимоцействует с подвижной гайкой 15» смонтированной в нвправляющем пазу корпуса,4. Эта гайка перемещает параллельно оси ходового винта 14 сферический ролик 16, установленный в окне поцвижной опоры 7 на оси 17, Механизм нагружения и разгрузки взаимодействует с верхним диском 1 шарнирно посрецством вертикальной штанги

18, верхняя часть которой снабжена серьгой 19, и рычага 9.

Устройство цля шлифования и полирования цетвлей работает следующим образом.

С омощью привоца 20 верхний циск

1 опускается к нижнему диску 2 и, не походя цо него на 5-10 мм, останавливается, при этом предварительно в рабочую зону загружены обрабатываемые детали (на чертеже не показаны). После этого включается электромеханический ппивод 13, с помощью которого осуществляется перемещение поцвшкной опоры

7 и остановка ее в заданном положении (соответствуюшем необхоцимой величинь нагрузки ) °

Максимальная величина нвгружения устанавливается исходя из веса постоянного груза 11 и соотношения плеч рычага 1Î между осью ролика 12 и грузом

11 и осью крепления рычага .10 к корпусу 4. Заданная нагрузка определяется из функциональной зависимости расстояния положения оси рааика 8, размещенного в вершине треугольной поцвижной опоры

7, от оси качания 21 рычага 9.

Усилие от ролика 12 перецается нв. планку 5» которая, качаясь вокругr продольной оси 6, толкает поцвижную опору 7.

Последняя, в свою очередь, нижним (цент1о ральным)роликом 8 давит на рычаг 9 и опускает его в нижнее положение. При атом, ввиду того, что рычаг 9 через серьгу 19 взаимоцействует со штангой 18, послецняя . тоже опускается, перемещаясь

15 в направляющей расточке корпуса 4 и, следовательно, через шарнирную опору штанги опускается верхний циск 1 цо соприкосновения с обрабатываемыми цеталями, нахоцящнмиса на нижнем диске 2.

?e После окончания перемещения штанги

18 увеличивающаяся или уменьшающаяся нагрузка ырецвется на верхний диск и осуществляется плавное нагружение или рвзгруэк в »

25 Звцанный технологический режим рабо.ты устройства определяется перемещением иоцвижной опоры 7, регулируемым соот - ветственно коне выми выключателями и реле времени работы электромехвническозэ го призова 13, После окончания рабочего цикла обработки цеталей через реле времени поцае ся комвнца на привоц 1Э, который возвращает ноцвижную опору 7 в исходное (первоначальное ) положение. За35 тем включается электромеханический цривоц 20, устанавливающий верхний циск 1 в положение разгрузки. Затем цикл повторяетсяя» йрецлагаемое конструктивное выполне40 ние устройся ва цля полирования и шлифования цеталей позволяет исключить нецостатки устройств вналоливого назначения и пэвыситыроизвоцительиость и качество обработки, Формула изобретения

Устройство @ля шлифования и полирования нетвлей. межцу цвумя цисквми, верхний иэ которых связан с механизмом нагружения и разгрузки, размещенным в корпусе, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, е @елью повышения производительности и качества обработки, -механизм иагружения и разгрузки выполнен в вице двух шарнирно закрепленных на корпусе одними концами рычагов, другие концы которых ооецинены соответственно с грузом и через серьгу и вертикальную штангу с верхним циском, при этом рычаги кинематически связаны между собой посрецством поворот80638 1 ной относительно горизонтальной оси планки и опоры с тремя роликами, установленной с возможностью возвратно-поступательного движения вдоль планки на ходовом винте, соединенном с приводом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l. Бочкин О. И. и др. Механическая обработка полупроводниковых материалов.

М., Высшая школа," 1977, с. 103-106.

806 381

Составитель А. Козлова

Репекаор И. Нккопаачук Текреп Ж.Кастепеееч Корректор П1. Йеиеак

Заказ 131/24 Тираж 926 Поддисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4