Позитивный фоторезист
и 11 Sl I I 95
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 24.07.78 (21) 2648496/23-04 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано 07.03.81. Бюллетень № 9 (45) Дата опубликования описания 07.03.81 (51) М. К .
G ОЗС 1/68
Государственный комитет (53) УДК 771.5 (088.8) по делам изобретений и открытий (54) ПОЗИТИВНЪ|Й ФОТОРЕЗИСТ
0 0
С-R-3H С
Н2 0Изобретение относится к позитивным фоторезистам, используемым в фотолитографическом процессе изготовления микросхем и фотошаблонов.
Известен позитивный фоторезист, вклю- 5 чающий светочувствительный продукт на основе нафтохинондиазида, фенолформальдегидную смолу и растворитель — диоксан (1).
Недостатками известного фоторезиста 10 являются неудовлетворительно низкая щелочестойкость, низкие адгезионные свойства фоторезистивной пленки и наличие в ней дефектов в виде трещин и проколов.
Целью изобретения является повышение 15 щелочестойкости, адгезионных свойств фоторезистивной пленки и уменьшение плотности дефектов.
Поставленная цель достигается тем, что позитивный фоторезист, включающий свето- 20 чувствительный продукт на основе нафтохинондиазида, фенолформальдегидную смолу и диоксан, дополнительно содержит пластификатор-уретановый эластомер общей формулы 1 25 где R — полиокситетраметиленгликоль — „Π— (— (СН,),— Π— J-; т=2 — 5, при следующем соотношении компонентов, вес. %: (.веточувствительный продукт на основе нафтохинондиазида 6,5 — 7,5
Фенолформальдегидная смола 10,5 — 12,5
Уретановый эластомер формулы 1 2 — 5
Диоксан Остальное
В качестве светочувствительного продукта на основе нефтохинондиазида используют 1,2-нафтохинондиазид (2) -5-сульфоэфир новолака.
В качестве уретанового эластомера формулы 1 используют синтетический каучук уретановый полифуритный литьевой ТУ
38103 — 137 — 72 (СКУ вЂ” ПФП) — продукт взаимодействия диизоцианата с простым или сложным олигоэфиром.
Пример. Для получения фоторезиста смешивают фенолформальдегидную смолу, светочувствительный продукт — 1,2-нафтохинондиазид(2) — 5-сульфоэфир новолака, уретановый эластомер и диоксан. Смесь выдерживают 12 ч в месте, защищенном от актиничного излучения.
811195
Перед применением фоторезист отфильтровывают.
Показатели полученных фоторез истов приведены в таблице.
Содержание компонента, вес. О
Время стойкости фоторезистивных пленок в 10 »-ном растворе
КОН, сек
Величина разрешающей способности, л/мм
1,2-нафтохинон-диазид (2)-5сульфоэфир новолака
Адгезионные свойства, гс/мм
Плотность дефектов, мм
Номер примера фенол формал ьдегиная смола уретановый эластомер диоксан
10,5
10,5
10,5
12,5
12,5
12,5
6,5
6,5
6,5
7,5
7,5
7,5
81
78
78
77
75 где R — полиокситетраметиленгликоль — О -(- (СН,), — О -I-.; т = 2 — 5, Использование в предлагаемом фоторезисте пластификатора — уретанового эластомера — позволяет повысить адгезионные 5 свойства, щелочестойкость фоторезистивных пленок и снизить плотность дефектов. при следующем соотношении компонентов, в вес, %..
Светочувствительный продукт на основе нафтохинондиазида 6,5 — 7,5
Фенолформальдегидная смола 10,5 — 12,5
Уретановый эластомер формулы 1 2 — 5
Диоксан Остальное
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Справочник «Химические материалы», Технические условия, т. III, Соли и основания, светосоставы, НПО, 002.008, МЭП, 1974 г.
Формула изобретения
Позитивный фоторезист, включающий 10 светочувствительный продукт на основе нафтохинондиазида, фенолформальдегидную смолу и диоксан, отличающийся тем, что, с целью повышения щелочестойкости, адгезионных свойств фоторезистив- 15 ной пленки и уменьшения плотности дефектов, он дополнительно содержит пластификатор — уретановый эластомер общей формулы 1
О 0
«»
С вЂ” NH — R-С г
-0 1111 2
0 Ю
С вЂ” R — Ь11- С г
12N ОСоставитель Т. Пономарева
Техред А. Камышникова Корректор P. Беркович
Редактор 3. Бородкина
Заказ 635/3 Изд, Ко 259 Тираж 530 Подписное
НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
2
4
6
Прототип
400
0,1
0,1
0,1
0,09
0,12
0,10
0,5
180 †2
240 †2
280 †3
180 †2
220 †2
280 †3
10 — 15
