Устройство для исправления угласреза кристаллографически ориенти-рованных пластин

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ИЗЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву(22) Заявлено 29. 06. 79 (21) 2789947/25-08

Союз Советских

Социалистических,Республик (nI812539 (Я)м кл

В 24 В 37/04 с присоединением заявки Нов (23) Приоритет—

Государственный комитет

СССР по делам. иэобретений и открытий

Опубликовано 15.03.81,Бюллетень }ч9 10

Дата опубликования описания 17. 03. 81 (53) УДК 621. .923.7(088.8) (72) Авторы изобретения. A.B. Балыков, A.À. Цесарский, Ю.В. П

Л.I1. Сатонкин и А.П. Артамонов

}} r.; : „", "1

}г,:: " л, вИЬЛ}} т»;; ": (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПРАВЛЕНИЯ УГЛА СРЕЗА

КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКИ ОРИЕНТИРОВАННЫХ

ПЛАСТИН

1 о

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано в радиоэлектронной технике при обработке пластин из монокристаллов кремния, германия, ниобата, лития, граната и др.

Известно устройство для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин, содержащее корпус с размещенными в нем рабочими секциями, выполненными в виде установленных с возможностью поворота столов, несущих пластины и связанных с механизмом регулирования их положения. Это устройство l5 позволяет исправлять одновременно угол среза нескольких партий пьезокварцевых пластин с разными значениями поправки по углу среза каждой партии (1). 20

Недостатком этого устройства является необходимость иметь набор,мерных плиток, соответствующих - возможным отклонениям партий пластин от крнсталлографических осей. Сравнительно невысока точность исправления угла среза нэ-за небольшого передаточного отношения движения регулирования к движению установки угла наклона пластин, зависящего от рас- 30 стояния между осями линеек-столов н опорных валиков. Применение устройства возможно только на плоскощлифовальных станках с прямоугольным столом.

Цель изобретения — повышение точности ориентации пластин и расширение технологических возможностей.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для исправления угла среза пьезокварцевых пластин, содержащем корпус и рабочие секции, выполненные в виде поворотных линеек, служащие для размещения на них пластин, корпус состоит из двух дисков, концентрично установленных на вертикальном валу с возможностью поворота одного иэ дисков относительно другого, причем в верхнем диске выполнены сквозные отверстия, в которых установлены толкатели, оси которых параллельны оси общего вала, à s нижнем диске — пазы, в которых установлены регулировочные элементы, выполненные в виде поворотных рычагов и установочных винтов, прн этом рабочие секции установлены на верхнем диске с воэможностью взаимодействия

812539 с поверхностями рычагов посредством . толкателей.

На фиг. 1 схематично изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3 - разрез Б-Б на Фиг. 2; на фиг. 4 - схема для расчета передаточного отношения движения регулирования к движению установки угла наклона пластин.

Корпус устройства состоит из двух дисков, верхнего 1 и нижнего 2,установленных на общем валу 3 с возможностью поворота верхнего диска относительно нижнего и фиксирования его положения. Вращение верхнего диска относительно нижнего может осуществлиться любым механизмом, например с помощью червячной передачи.

В верхнем диске размещены рабочие секции 4 и установлены толкатели 5 (фиг. 3),передающие движение регулиРования. Каждая из рабочих секций включает в себя стол б, подвижно закрепленный на оси 7, и пружину 8, обеспечивающую постоянный контакт стола с толкателем. В нижнем диске соответственно рабочим секциям размещены механизмы регулирования положения столов. Механизм регулирования состоит из поворотного рычага 9, постоянно контактирующего с толкателем и установленного на оси

10 под некоторым углом А к плоскости дисков, пружины 11 и установочного винта 12 °

Установка рычага под разными уг- . лами с(,предусмотрена для получения возможности исправления на одном и том же приспособлении пластин, углы поправки р которых выходят за диапазон выбранной настройки, или пластин с разными поправками по углу среза одновременно.

Длина толкателя выбирается таким образом, что при нахождении его оси над осью 10 рычага установочные новерхности рабочих столов находятся в горизонтальной плоскости (исходном положении).

Внутренние полости, имеющиеся в каждом из столов, сообщаются через .шланги с системой откачки воздуха, обеспечивающей разряжение порядка

1 10 мм рт.ст. С атмосферой внутренние полости связаны отверстиями малого диаметра, выходящими на ра бочую поверхность стола, служащую установочной базой для исправляемых пластин 13.

Устройство работает следующим образом.

Верхний диск 1 поворачивают, например, по лимбу червячной передачи относительно нижнего диска 2 на требуемый угол V, соответствующий поправке угла среза. Совместно с верхним диском перемещается, толкатель 5, постоянно контактируя под действием пружины 8 с рычагом 9, закрепленном на нижней диске.

При этом толкатель смещается в осевом направлении вниз, за счет чего под действием также пружины

8 стол б поворачивается на заданный угол поправки угла среза. Пластины 13 устанавливаются на стол, в полости которого создается разряжение, и фиксируются в соответствии с выбранной ориентировкой. © Для ориентировки стола, равной поправке угла среза о, угол поворота верхнего диска относительно нижнего по лимбу в общем случае может Выть определен по формуле где р

- угол поправки угла плоскости среза пластин;

„- яах угол поправки угла плоскости среза партии пластин

- угол наклона рычага щ и д - радиус окружности, касательно которой расположены средние линии рычаговр

 — длина базы столау

30 3 - длина горизонтальной проФ екции .линии контакта толкателя с рычагом.

Максимальный угол поправки р,„ „ устанавливается в зависимости от точности пластин, получаемых íà операциях резки. Например, для пьезоэлементов из кварца Р,„с, =бО

Исходя из этого рассчитывают передаточное отношение движения регулирования рычага и движения установ40 ки стола.

По схеме (фиг. 4) видно, что

В tgp „ E tgd-h. Выбирают конструктивно К - "25 мм, В, = 50 мм, тогда при Р,з„= бО 4 = 30 а щ ; При этом передаточное число и можно определить как отношение длины горизонтальной проекции линии контакта толкателя с рычагом (движение регулирования) к ходу толкателя h (движение установки стола). и = - - ctg д-= 125 °

Это отношение, даже без учета передаточного числа червячной передачи, обеспечивает значительное повышение точности ориентировки исправляемых пластин.

Кроме того, конструкция предлагаемого устройства имеет широкие технологические возможности. На одном устройстве за счет изменения

40 угла d. наклона рычага можно обрабатывать пластины без применения мерных плиток с разными поправками по углу среза. Использование устройства возможно на шлифовальных и доЯ водочных станках различных типов.

812539 фие t формула изобретения устройство,для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин, содержащее корйуа с размещенными в нем рабочими секциями, выполненными в виде .установленных с возможностью поворота сто. лов, несущих пластины и связанных с механизмом регулирования их положения, о т л и ч а ю щ е е .с я

:тем, что, с целью повыаения точности ориентации пластин и расширения технологических воэможнЬстей устройства, корпус выполнен в виде двух концентрично установленных на вертикальном валу с воэможностью относительного поворота дисков, в верхнем из которых расположены рабочие секции, а в нижнем выполнены па» эы для размещения механизмов регулирования положения столов, в виде кинематически связанных между собой установочных винтов, рычагов и установленных в верхнем диске с воэможностью осевых перемещений толкателей, оси которых параллельны.оси вертикального вала.

Источника инФормации, принятые во внимание при экспертизе

1. авторское свидетельство СССР

Ф 296371, кл. В 24 В 41/60, 1969 °

812539 фиг.З

Составитель A Козлова

Тех е Н. Бабурка Ко кто Е Роз ко

Редакто С. Тимохина

Заказ 63 7

Тираж 91 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР о делам изобретений и открытий

113035, Москва Ж-35 Раушская наб. .4 5 филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4