Способ обезгаживания электродов электровакуумных приборов

 

СПОСОБ ОБЕЗГАЖИВАНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРО*' на откачном посту, включающий повышение температуры электродов до температуры обезгаживания и вьдержку электродов при этой температуре, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества обезгаживания и повышения долговечности прибора за счет-уменьшения времени нахождения электродов при высокой температуре, обезгаживание электродов осуществляют при циклическом изменении температуры, причем минимальная температура составляет 20-40% от максимальной темйературы обезгаживания.

ССВОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (!9) (()) 15 А

4 (51)

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

fl0 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2831384/18-25 (22) 23. 10.79 (46) 28.02 ° .85. Бюл. У 8 (72) А.Я.Фискис и В.И;Некрасов (53) 621.387(088.8) (56) 1. "Электронная техника", сер.1, Электроника СВЧ, В 5, 1973, с. 11, Черепнин Н.В. Оптимизация процессов обезгаживания малошумящих приборов СВЧ. 2. Черепнин Н.В.Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике. И., "Советское радио", 1967, с. 285 (прототип). (54) (57) СПОСОБ ОБКЗГАЖИВАНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ ЭЛЕКТРОВАКУУИНЫХ ПРИБОРОР на откачном посту, включающий повышение температуры электродов до температуры обезгаживания и выдержку электродов при этой температуре, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения качества обезгаживания и повышения долговечности прибора за счет уменьшения времени нахождения электродов при высокой температуре, обезгаживание электродов осуществляют при циклическом изменении температуры, причем минимальная температура составляет 20-40Х от максимальной темйературы обезгаживания.

816315,2

Цель изобретения - улучшение ка- электродов (изменени чества обезгаживания и повышение дол- проходит через точки говечнасти прибора за счет уменьше- О . дов pro материалов).

Редактор С.Титова Техред Т.Маточка

Корректор ОеБилак

Заказ 564/4 Тираж 679 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

° е е еь

Филиал ППП "Патент", r.Óærîðoä, ул.Проектная, 4 е

Изобретение относится к технологическому процессу производства электровакуумных приборов (ЭВП), в частности к процессу обезгаживания электродов ЭВП при обработке на откачном посту.

Известен способ обезгаживания катодно-подогревательных узлов ЭВП,по которому обезгаживанйе электродов производят постепенным подъемом на- 10 пряжения канала до рабочей величины или несколько большей (на 10-15 ) и выдержке при этой температуре катода н течение нескольких часов (1) . Пон этом для более качественного обезга- 15 живания электродов увеличивают температуру обезгаживания или длительноеть выдержки электродов при высокой тем- о пературе.

Недостаток известного способа 20 обезгаживания состоит в уменьшении, запаса активного вещества и снижении долговечности катода.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ 25 обезгаживания электродов ЭВП на откачном посту, включающий подъем температуры электродов до температуры обезгаживания и выдержки электродов при этой температуре j2) . 30

Недостатком известного способа является появление межэлектродной проводимости в результате напы ения металлических пленок на,поверхность диэлектриков в ЭВП при увеличении тем- З пературыобеэгаживаиия и длительности, высокотемпературной выдержки электродов в высоком вакууме.

В случае катодно-подогревательных -40 узлов увеличение температуры обезгаживания и длительности высокотемпературной выдержки при обезгаживании при водит к снижению надежности и долговечности катодно-подогревательного узла и прибора в целом. ния времени нахождения электродов при высокой температуре.

Цель достигается тем, что в способе обезгаживания электродов ЭВП на откачном посту, включающем подъем температуры электродов до температу. ры обезгаживания и выдержку электродов при этой температуре, обезгажнвание .элеКтродов осуществляют при циклическом изменении температуры, причем минимальная температура сос" тавляет 20-40 от максимальной температуры обезгаживания.

Обезгаживание электродов ЭВП по способу согласно данному изобретению проводят следующим образом.

Вначале нагревают электроды до температуры обезгаживания, на 5-10 превышающей температуру обезгаживания материалов электродов, затем электроды остывают до температуры, которая на 60:-80% ниже температуры обезгаживания. Привод цикла (время, необходимое для нагрева и остывания электродов до указанных значений температуры) устанавливают, исходя из особенности конструкции. электродов и физических свойств их материалов (теплоемкости, теплопроводности, термопрочности и др). Интервал циклического изменения температуры устанавливают по максимальному уровню газоотдачи.

Увеличение газоотдачи материалов электродов обусловлено в основном изменением структуры материалов электродов и их внутреннего напряжения при циклическом режиме.

Циклическое изменение температуры электродов в указанном интервале температур сопровождается увеличением внутреннего напряжения в материалах электродов (за счет больших градиентов температур при нагревах и остываниях из-за различия в.коэффициентах теплового расширения кон струкционных материалов электродов), и изменением структуры материалов е температуры фазовых перехо